本发明涉及一种浸液供给回收装置。本发明朝向衬底的一面具有弯液面约束体，弯液面约束体限制弯液面的移动从而限制浸没流场的流场边界的形状和径向位置；流场边界在对衬底上的一个曝光靶区的曝光过程中包括以最大扫描速度直线地进行扫描运动；流场边界在垂...

本发明涉及一种光刻方法。本发明提供携带集成电路图案信息的激光束，使激光束穿过投影物镜后投射在具有多个曝光靶区的衬底上，激光束投射的目标区域为投影区；提供折射率大于空气的浸没液体，完全填充投影物镜与衬底之间的激光束经过的空间，形成浸没流场...

本发明涉及一种抑制气液两相流压力脉动和振动的浸液供给回收装置。本发明密封抽排腔连通密封抽排口，密封抽排腔还与密封抽排流路连通，密封抽排系统与密封抽排流路连通并向密封抽排流路提供真空源，密封抽排口从第三间隙中抽取浸没液体，同时抽取浸没液体...

本发明涉及一种浸液供给回收装置。本发明包括内基体和外基体，内基体环绕于末端物镜的径向外侧，外基体环绕于内基体的径向外侧；内基体和外基体之间具有间隙或隔离物；外基体位于衬底上方，与衬底形成第三间隙；内基体向末端物镜与衬底之间的间隙提供浸液...

本发明涉及一种浸液供给回收系统及其控制方法。本发明在控制器中设置动作设置模块和参数设置模块，动作设置模块根据动作配置文件设置对流控器件的操作方法，参数设置模块根据参数配置文件设置流控器件的操作参数范围；控制器根据受控流控部件的状态，结合...

本发明涉及一种浸液供给装置。本发明包括环绕末端物镜的环绕面；环绕面上具有主注液口，顺次经过主进液接口、主供液流路和主注液口向浸没流场提供浸液；主供液流路包括顺次连通的引流流路和出流流路，引流流路连通主进液接口连通，出流流路连通主注液口；...

本发明公开了一种具有传感器标定流路的供液系统及其标定方法，包括液体排放模块、具有检测供给流路中的温度和/或流量用传感器的液体流路、第一标定流路和第二标定流路，第一标定流路用于标定液体流路中具有的传感器，第一标定流路为第一高精度检测流路，...

本发明公开了一种浸液供给系统及其浸没流场撤除方法，包括浸液供给源、供液阀和浸没液体吸引组件，供液阀通过末端供液流路连接至浸液供给装置的主注液口，浸没液体吸引组件与末端供液流路形成流体连接；在关闭供液阀后，浸液吸引组件对末端供液流路中的残...

本发明公开了一种铂电阻温度传感器封装结构及其测温使用方法，铂电阻左端设连接块，铂电阻通过连接块与外部电路相连，连接块外侧设密封铂电阻和连接块的密封壳体，铂电阻被测温外壳包覆，测温外壳靠左外侧密封设密封压紧头，密封压紧头外侧和密封壳体密封...

本发明公开了一种具有双层隔离封环的洁净流体管式加热器，包括设于加热器两侧处的隔离封环，所述隔离封环为双层分体式结构，隔离封环包括封环外环和封环内衬，封环外环用于在高承压状态下封环外环形变小，避免出现变形失效引起加热器损坏，封环外环同轴线...

本发明公开了一种具有两级密封结构的洁净流体管式加热器及密封方法，包括石英加热管和两个左右两侧对称设置的隔离封环，隔离封环通过内螺纹向外连接设接口端头，接口端头内设端口流路，所述隔离封环内侧设有呈环形的限位凹槽，石英加热管左右两端设于限位...

本发明公开了一种热缓冲罐、采用此罐的液体供给装置及热缓冲方法，包括罐体及其罐内腔体，罐体顶部设有若干个用于引导液体流入罐内腔体空腔内的进液端口，且不同位置处的进液端口的引入液流流路延长线相互间形成倾斜的倾斜夹角分布结构；罐体顶部设有用于...

本发明公开了一种流体系统元器件力学性能检测装置、检测系统及检测方法，包括检测台机架,检测台机架顶部设有上行扰动检测机构，上行扰动检测机构下方设有浸没单元主体机构和下行扰动检测机构，检测台机架底部安装有用于强化支撑和减少外界扰动上述机构的...

本发明公开了一种发热膜式液体加热器及其均温加热方法，筒体两端设端头固定板，热管设筒体内，两端头固定板上分别贯穿设管道口，管道口内设连接管，两连接管内端均设密封连接组件，热管外侧涂覆发热膜层，发热膜层左右两侧连接设电极层，电极层与外接电源...

本发明公开了一种浸液回收系统及采用该系统的浸液回收方法，包括回收腔、密封抽排口、回收流路、气液分离器和孔板；密封抽排口和回收腔设于末端物镜并位于衬底上方浸液供给回收装置中；密封抽排口位于浸液供给回收装置中且朝向衬底，密封抽排口从浸液供给...

本发明公开了一种浸没流场的初始建立方法及用此建立方法的光刻方法，关闭浸液供给系统，关闭密封抽排系统，开启主抽排系统，经主抽排口抽排气体；开启气体供给系统，经气密封口向第三间隙供给高溶解度气体；持续经主抽排口抽排气体，引导并替代末端物镜与...

本发明公开了一种气液分离组件、用此组件的气液分离装置及气液分离方法，内设有一级、二级和三级气液分离，一级气液分离对来自于浸没单元中气液二相流进行初步气液分离，第二级气液分离实现第一级分离结构中的气液二相流的流量分流，将分流后的流量进行快...

本发明公开了一种利于散热的封闭机柜及其散热方法，在箱体机柜内部的左右两侧分别设有与箱体机柜的顶部柜壁和底部柜壁相连接的第一和第二内侧立板，相互配合在箱体机柜内形成散热工作腔，发热元器件设于散热工作腔内，第一内侧立板左侧面与箱体机柜左侧壁...

本发明公开了一种具有气液隔离抽排功能的浸液供给回收装置，包括基体，基体内部设置密封抽排流路，密封抽排流路包括抽排开口、抽排腔以及密封抽排口，抽排腔连通抽排开口与密封抽排口，密封抽排流路还包括设于抽排腔中的隔离板，隔离板使抽排腔内的浸没液...

本发明公开了一种红外辐射加湿装置及其加湿方法，包括红外波装置、蒸发腔室、液相水供给装置和载气流道。其中主腔体为蒸发腔室；红外波装置由螺旋线形状的异形红外发生器和红外控制器组成，用于提供一定波谱及功率的红外波；液相水供给装置由供液控制隔膜...