兆默半导体设备上海有限公司专利技术

兆默半导体设备上海有限公司共有7项专利

  • 本技术属于真空炉技术领域,具体的说是一种对流搅拌真空炉,包括真空炉本体;所述真空炉本体上固定连接有送料仓;所述送料仓上固定连接有搅拌仓;所述搅拌仓内设置有搅拌组件;所述搅拌组件包括搅拌轴等;所述搅拌轴上固定连接有清理组件;所述清理组件包...
  • 本实用新型涉及搅拌焊接技术领域,尤其涉及一种摩擦搅拌焊装置。其技术方案包括:传动机构、连接罩、传动轴、连接环和连接架,所述传动机构下端外壁一侧设置有传动轴,所述传动轴一侧外壁安装有连接罩,所述连接罩两侧外壁均安装有轴承,所述轴承外壁转动...
  • 本实用新型涉及半导体技术领域,尤其涉及一种半导体用可调背板。其技术方案包括靶材主体、密封板、背板主体和PLC控制主机,所述密封板上表面固定安装有靶材主体,所述背板主体上表面设有安装槽,且密封板位于安装槽内部,所述背板主体内部设有螺旋形流...
  • 本实用新型公开了一种底装料多工位气相沉积炉,包括炉体、沉积仓、底板、限位板、中空管、螺纹套和传动轴,所述炉体内部设置有中空管,所述中空管外壁焊接有隔板,所述隔板将炉体内部分隔出沉积仓,所述炉体底端设置有底板,所述中空管上端内壁焊接有固定...
  • 本实用新型公开了一种多工位低压气相沉积炉,包括炉体、沉积仓、混气罐、输送管、中空管和混气仓,所述炉体底端设置有混气罐,所述炉体与混气罐内部均设置有中空管,所述中空管外壁分别焊接有第一隔板和第二隔板,所述第一隔板将炉体内部分隔出沉积仓,所...
  • 本实用新型涉及镀膜技术领域,尤其涉及一种真空蒸镀设备。其技术方案包括:外壳、连接罩、观察窗、蓄液仓和储液仓,所述外壳内壁上端一侧设置有基材本体,所述外壳一侧外壁转动安装有门板,所述门板内部嵌入安装有观察窗,所述门板两侧外壁均对称安装有丝...
  • 本发明公开了一种物理气象沉积真空蒸镀器,包括固定罩、活动罩和转盘,所述固定罩的前端活动安装有活动罩,所述固定罩内壁的底部固定安装有固定环,所述固定环的内侧固定连接有齿轮环,所述固定环的顶部转动安装有转盘,所述固定环内侧的转盘底部固定安装...
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