本实用新型公开了一种真空式氦检设备，包括罩壳、抽真空单元、喷氦单元、检测单元、控制单元以及阀门，该罩壳为铝合金框架构成的密封结构，且抽真空单元设置有真空泵机组，检测单元包括相互连通的气体分析仪和抽检真空泵；阀门包括第一流道口、第二流道口...

本发明公开了一种真空式氦检设备，包括罩壳、抽真空单元、喷氦单元、检测单元、控制单元以及阀门，该罩壳为铝合金框架构成的密封结构，且抽真空单元设置有真空泵机组，检测单元包括相互连通的气体分析仪和抽检真空泵；阀门包括第一流道口、第二流道口以及...