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云南中科鑫圆晶体材料有限公司云南临沧鑫圆锗业股份有限公司专利技术
云南中科鑫圆晶体材料有限公司云南临沧鑫圆锗业股份有限公司共有2项专利
一种大尺寸制造技术
一种大尺寸
磷化铟多晶料VGF或VB法生长单晶的装料方法技术
磷化铟多晶料VGF或VB法生长单晶的装料方法,涉及半导体材料单晶生长技术领域,具体涉及一种VGF法磷化铟单晶生长所需的多晶料及辅料的装料方法。本发明通过合理分配磷化铟多晶料的装料配比和不同尺寸料块的装料位置,以及红磷、掺杂剂和液封剂的用...
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