一种用探针测量样品的方法，所述探针包括悬臂安装部、从所述悬臂安装部向自由端延伸的悬臂、以及由所述悬臂的自由端承载的探针尖端，所述方法包括：用所述探针对所述样品的侧壁进行一系列侧壁测量；以及分析所述一系列侧壁测量以确定所述侧壁的特性。所述...

探针显微镜包括探针阵列，该探针阵列具有呈阵列的探针，每个探针包括悬臂和探针针尖。照明系统包括多个光源。每个光源被配置为输出各自的光束。透镜阵列包括呈阵列的透镜。每个源透镜被定位成接收来自照明系统的光束中的对应的光束。聚光透镜被配置为收集...

一种用扫描探针系统扫描样品的方法，扫描探针系统包括探针，探针具有从基部延伸到自由端的悬臂的探针，以及由悬臂的自由端承载的探针尖端。该方法包括：使用探针测量样品和探针之间的静电相互作用；并且在静电相互作用之后，在向扫描探针系统施加偏置电压...

一种使用扫描探针显微镜的表面成像方法，该扫描探针显微镜包括具有从基部支持物(2)延伸到自由端的悬臂的探针、由悬臂的自由端承载的探针尖端以及转向镜(13)；所述方法包括：跨表面横向扫描探针，使得探针进行跨表面的扫描运动；经转向镜将检测光束...

一种用探针扫描特征的方法，探针包括悬臂支架、从悬臂支架延伸到自由端的悬臂以及由悬臂的自由端承载的探针尖端。测量探针相对于参考表面的定向以生成探针定向测量结果；参考表面限定垂直于参考表面的参考表面轴线，探针尖端相对于参考表面轴线具有参考倾...

一种包括机械响应于驱动力的探针的扫描探针显微镜。信号产生器向产生驱动力的致动器提供驱动信号，该驱动信号例如用于促使致动器重复地朝向和远离样品移动探针。检测系统布置为输出指示从探针反射的光和高度参考束之间的路径差异的高度信号。图像处理装置...