本发明公开了一种微电子机械系统陀螺仪，属于传感器技术领域。陀螺仪包括：基底、质量块组、驱动组件、检测组件、反馈组件和调频组件；质量块组包括多个第一质量块和多个第二质量块，驱动组件用于为多个第一质量块提供驱动力，多个第一质量块带动与其相连...

本发明公开了一种微电子机械系统陀螺仪，属于传感器技术领域。陀螺仪包括依次键合的第一晶圆层、第二晶圆层和第三晶圆层；第一晶圆层上具有垂直于第一晶圆层的多个功能电极，相邻的功能电极之间具有垂直于第一晶圆层的隔离通孔，多个功能电极之间通过隔离...

本发明公开了一种微电子机械系统陀螺仪，属于传感器技术领域。陀螺仪包括：基底、质量块组、驱动组件和检测组件；质量块组包括四个驱动质量块、锚点结构、耦合弹性梁和多个Z轴检测质量块，四个驱动质量块以中心对称的方式通过锚点结构悬挂于基底上，且四...