本实用新型涉及高纯气体充装技术领域，公开的一种高纯气体自动充装设备，包括：过滤式低温储罐、隔膜压缩机、汇流排、转子流量计、电磁阀、移动称重装置、PLC和触摸屏，所述过滤式低温储罐通过管道与隔膜压缩机输入端连通，隔膜压缩机输出端通过管道与...

本实用新型涉及气体纯化技术领域，公开的一种高纯度半导体行业用丙烯纯化处理装置，包括：干燥吸附系统、过滤系统、复合精馏系统、冷冻分离系统，所述复合精馏系统由一级精馏罐和二级精馏罐连通组成，一级精馏罐输入端通过管道与过滤系统输出端连通，过滤...

本实用新型涉及气体灌装技术领域，公开的一种移动式三氟甲烷电子气体的灌装装置，包括：移动车、灌装装置、称重装置，移动车的上部设置有用于气体罐称重的称重装置，移动车的头部设置有用于气体罐灌装的灌装装置，灌装装置输出端通过管道与气体罐罐口联通...

本实用新型涉及气体检测技术领域，公开的一种电子气体的自动检测装置，包括：气体检测传感器、摄像头、微处理器、执行机构、终端发送器，所述气体检测传感器与微处理器信号输入端连接，用于将检测信号对比处理；微处理器控制端通过执行机构与摄像头连接，...

本实用新型涉及气体纯度分析技术领域，公开的一种电子气体纯度分析检测控制装置，包括：气源接口、气体冷凝调压器，气体分析控制仪，所述气源接口通过气体冷凝调压器与气体分析控制仪连通；气体分析控制仪第一控制端分别与气体冷凝调压器输出端管道连接的...

本实用新型涉及气体安全防护技术领域，公开的一种生产C4F6气体的安全防护罩，包括：防护罩，所述防护罩顶部设置有排气机，排气机通过管道与过滤装置联通，过滤装置通过排气管与大气连通；防护罩内底部一周均布有向下送风的风机出口，构成安全防护风墙...

本实用新型涉及电子气除氧技术领域，公开的一种电子气体除氧杂质系统，包括：聚酰胺氮膜系统、液化系统、分子筛除氧塔，所述聚酰胺氮膜输入端连接电子气的源管道，聚酰胺氮膜输出端通过管道与液化系统联通，液化系统通过管道与分子筛除氧塔的输入接口联通...

本实用新型涉及电子气除氧技术领域，公开的一种降低八氟环丁烷含氧杂质处理的充装装置，包括：吸附器、吸附器、过滤器、膜压装置，所述吸附器与吸附器分别通过上管道、下管道并联联通，并联联通的上管道通过过滤器与膜压装置第一输出口联通，并联联通的上...

本实用新型涉及气体提纯技术领域，公开的一种电子气体提纯生产系统，包括吸附装置、分子筛设备、精馏设备，凝压缩装置，所述吸附装置通过分子筛设备与精馏设备联通，精馏设备通过联通阀门第一输出端与凝压缩装置联通；联通阀门第二输出端与吸附装置联通；...

本实用新型采用介绍了一种含氟C4F8电子气体纯化设备，包括分子筛装置、多级吸附装置、精馏装置，分子筛装置输入端与含氟C4F8电子气体联通，分子筛装置输出端通过管路与多级吸附装置输入端联通，多级吸附装置输出端通过管路与精馏装置联通；分子筛...