本技术涉及半导体制造加工技术领域，且公开了一种具有收集结构的清洗设备，包括清洗箱，清洗箱内部设置有滤网，清洗箱侧壁铰接有箱门，清洗箱内部设置有清洗结构，清洗结构包括：中空轴、清洗架、喷头、单向阀、水箱、通液管、电机、主动轮、从动轮，然后...

本技术涉及半导体加工技术领域，且公开了一种晶圆清洗装置，包括清洗箱，清洗箱内部设置有滤网，清洗箱上端两侧均固定安装有固定架，是固定架内部设置有清理机构，清理机构包括：装置腔、螺杆、套筒、连接杆、清洗架、支撑板、电机、喷头，同时使用者可以...

本技术涉及光刻设备技术领域，且公开了一种便于上料的半导体热板光刻设备，包括底座，底座上端固定安装有机架，底座上端固定安装有旋转电机，换料盒内部设置有固定结构，固定结构包括：底板、移动杆、连接板、夹紧板、滑块、连接杆、L型杆，使用者可以将...

本技术涉及半导体加工技术领域，且公开了一种烘烤设备，包括安装台，烘烤箱正面铰接有箱门，转盘内部设置有翻料结构，翻料结构包括：转杆、烘烤筒、固定板、转动杆、蜗杆、蜗轮、隔板、往复丝杆、套筒、固定杆、翻涌板，然后使用者再将箱门进行关闭，然后...

本发明公开了一种半导体用检测装置，涉及半导体检测技术领域，该半导体用检测装置，包括工作台，还包括检测装置；其中，所述工作台的上方固定安装有支撑架，所述支撑架的上方固定安装有直线电机，所述直线电机的输出端固定安装有传动轴，所述工作台的表面...

本实用新型涉及芯片输送技术领域，且公开了一种半导体激光芯片加工用上料装置，包括固定架和输送装置，输送装置的侧面等距开设有调节槽，在调节槽的内部等距活动安装有调节块，在调节槽的内部对应调节块上方位置设置有限位块，在调节块的内部开设有安装槽...

本实用新型涉及金属薄膜与结合力检测领域，尤其涉及一种金属膜间结合力检测仪，包括数控电机与拉力传感器，所述数控电机安装固定在电机固定座的内部，数控电机的一侧设置有电机控制器，数控电机的下端固定连接传动链轮，传动链轮的下方啮合连接传动轴，且...

本实用新型涉及传感器的标定靶标领域，提供了一种投影扫描数据采集扫描靶，所述扫描靶包括扫描基板和底座，所述扫描基板四周外侧设置有扫描基板框，所述扫描基板框的顶端面设置有水平仪，所述扫描基板的正面设置有标志点，所述扫描基板的背面设置有便携凹...

本实用新型涉及芯片表面处理技术领域，尤其涉及一种湿法化学腐蚀液处理装置，包括固定板和清洗槽，所述固定板的两侧对称螺合设置有螺栓，固定板通过螺栓和墙体连接，所述固定板的下部两侧对称设置有连杆，所述连杆的下部固定设置有连接板，所述连接板上固...

本实用新型提供了一种光刻机照度补偿装置，包括：光源组件，平行布置的复眼透镜与复眼聚光镜，均匀补偿器，以及耦合镜组，所述光源组件发射出的光量依次通过所述复眼透镜与所述复眼聚光镜并到达均匀补偿器，所述均匀补偿器由对向分隔设置的两个补偿单元组...

本实用新型涉及喷嘴结构领域，尤其涉及一种涂胶显影设备的喷嘴结构，包括涂胶显影设备本体，进胶口，搅拌器，隔热件，加热环和出胶口，所述涂胶显影设备本体下端固定连接有喷嘴外壳，所述喷嘴外壳上端设置有进胶口，所述进胶口中间固定设置有芯杆，所述芯...

本实用新型公开了一种用于半导体致冷片成品的清洗篮，包括水箱；所述水箱底端内壁的中部固定安装有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的顶端与支撑板底侧的中部固定连接，所述支撑板的上方设置有清洗篮，所述支撑板上表面的左右两侧对称安装有振动电机，所述振动...

本实用新型涉及半导体元件技术领域，具体公开了一种用于半导体元件加工的清洗架，包括固定架，固定架顶部固定安装有支撑轴，支撑轴外部固定安装有固定杆，固定杆外部固定安装有环架，环架内壁固定安装有第一凹槽座，环架内壁贯穿安装有滑杆，滑杆底部固定...

本实用新型适用于半导体清洗用辅助技术领域，公开了一种半导体清洗快排清洗治具，包括清洗框和放置板，所述清洗框内侧顶部左右两端均转动安装有转动杆。本实用新型电推杆在运转带动推动板进行竖向抬升时，可以带动推动杆对升降框提供相应的抬升力，使得升...

本实用新型涉及晶圆技术领域，公开了一种半导体生产用晶圆清洗装置，包括清洗箱和弧板，所述弧板设置有两个，两个弧板置于清洗箱内部的两侧，且弧板通过连杆固定在清洗箱的内部，所述清洗箱的底部中间位置安装有电动推杆，电动推杆的上方贯穿至清洗箱的内...

本实用新型涉及半导体清洗技术领域，公开了一种半导体生产加工用清洗装置，包括清洗室，所述清洗室外侧开设有六组等距分布的放置仓口，所述清洗室内部安装有六组等距分布的固定座，六组所述固定座分别与所述六组所述放置仓口相互对应，每组所述固定座上侧...

本实用新型涉及清洗装置技术领域，公开了一种半导体光刻板快速清洗装置，其结构包括主操控箱体，所述主操控箱体上设置有连接板、轴承座和驱动电机，所述连接板通过铆钉与所述主操控箱体的内壁对称连接，所述轴承座通过铆钉与所述主操控箱体的内壁相连接，...

本实用新型涉及半导体元件镀膜技术领域，公开了一种旋转局部加热式半导体元件镀膜装置，包括镀膜箱，所述镀膜箱顶部中间位置竖直向下固定连接有气缸，气缸的活塞杆下端面通过轴承固定连接有夹板，位于所述镀膜箱底部中间位置竖直向上固定连接有伺服电机，...

本实用新型涉及半导体元件技术领域，具体为一种半导体元件蒸发镀膜装置，包括柜体，所述柜体内底部开凿有蒸发室，所述蒸发室上端均匀开凿有圆柱中空状蒸发管，所述蒸发室上方中部通过螺栓固定有电机，所述电机上端连接有转动轴，所述转动轴外壁等距焊接有...

本实用新型公开了一种便于维护保养型半导体制造用刀片夹具，包括电机，所述电机顶部设置有夹持机构；所述夹持机构包括电机轴、第一固定板、刀片、第二固定板、第一固定螺栓、第二固定螺栓、螺纹孔、阻尼块、斜支撑杆和第三固定螺栓；所述电机顶部转动连接...