能够以避免附着于暴露在外部空气中的外部容器处的污染物质将内部容器污染的方式对二者进行清洗，实现清洗精度的提高。在未设置基板的状态下对基板盒(C)进行清洗，所述基板盒(C)具备：内部容器(N)，其内部容纳基板；和外部容器(M)，其内部容纳...

能够防止在基板盒被清洗后污染物质从把持柄转移而污染基板盒的情况。在未设置基板的状态下对容纳基板的基板盒(C)进行清洗，具备室(10)，所述室(10)形成洁净的空间，在室(10)内具备清洗槽(40、50)，所述清洗槽(40、50)在将基板...

能够使基板盒的各部件在槽主体内分离地进行清洗，并能够使清洗液均匀地遍布而可靠地进行清洗。在未设置基板的状态下清洗基板盒(C)，所述基板盒(C)具备底座(Mb)和壳(Ms)，并且在内部容纳基板，具备清洗槽(40)，所述清洗槽(40)在将基...

使从载置台到支承台的移载简易而不会变得复杂，而且，向支承台的定位也能够容易进行。在室(10)内具备清洗槽(40、50)，所述清洗槽(40、50)在将基板盒(C)的各部件分离的状态下容纳并清洗这些部件，设置在室(10)内对基板盒(C)进行...

本发明提供一种气体净化装置，包括密封鼓风源（100），其具有：具有从外部被隔开的内部空间的密封壳体（101）、经由气体流入口（104）将惰性气体从外部导入内部空间的开放放出部（105）、冷却该密封壳体（101）的内部空间的冷却管（103...

一种气体净化装置，具有密闭送风源（100），该密闭送风源（100）具有：从外部提供通过过滤器净化后的惰性气体的密闭箱（101）、收纳于该密闭箱（101）中用于向密闭箱（101）的内部空间释放气体的送风机（102）、冷却密闭箱（101）的...

一种电荷平板监视器，即使是在因液晶显示器基板等的除电对象物的大型化而离子产生器成为长尺寸的情况下，也能够通过一台电荷平板监视器来评价离子产生器的性能。在通过测定平板来检测由离子产生器生成的正负的离子，并评价离子产生器的除电性能和正负的离...

提供一种能够适当地维持离子平衡的离子浓度测量电路，和在该离子浓度测量电路中使用的优选的离子电流传感器。在离子浓度测量电路中，通过离子电流传感器采集由电晕放电而在放电电极(101)周围产生的离子以测量其浓度，包括离子电流传感器(S)，其由...

本发明涉及一种除尘装置，该除尘装置仅在除尘对象的一侧除尘，通过增加与除尘头相对的、结构简单的接受部，改变通过邻接的除尘对象间的间隙的来自喷射室的清洁气体的流动方向后由吸入室吸入来减低不必要的尘埃飞散。该除尘装置（１）具有与除尘头（１００...

提供一种离子产生器，其可以对位于任意的距离的除电对象物在短时间内有效地进行除电而不需要人为地输入距离等的烦杂的步骤，同时有助于节省能量。在对放电电极施加高电压来产生电晕放电，根据在放电电极的周围产生的离子对除电对象物进行除电的离子产生器...

提供一种直流方式气体喷射型的静电消除装置，不会产生逆带电，将大型的静电消除对象快速且高效率的消除静电。在静电消除装置（１）中，气体喷口（６０）配置于正电极（２０）和负电极（３０）之间，使得正电极（２０）和负电极（３０）向来自气体喷口（６...

本发明提供一种离子送风器（１），若将安装在送风器主体（１０）上的开闭门（１３）向下侧打开约９０°，则开闭门（１３）上设有的放电针（１６）朝向上侧。此时，由于放电针（１６）的朝向为不与送风器主体（１０）交叉的方向，故在维修时将拔出放电针（...

一种手提式离子发生器，其有效率地喷射产生的离子，并且，实现结构小型化。以使放电电极（１０９）中心轴与喷嘴体（１０２）旋转体中心轴成具有交叉角α的锐角状倾斜的方式配置放电电极（１０９），而且，放电电极（１０９）前端是位于自喷射体（１１０）...

提供一种可在长时间内将离子发生量维持为大致一定的直流式离子发生器。一种直流式离子发生器，其通过风扇将包含正负离子的离子化空气送风至被除电物体，其包括检测正负离子的离子平衡的离子平衡传感器（１４）、检测负离子量的离子量传感器（１５）、根据...

一种送风型离子发生器，即使拆卸离子发生器本体后，也能保持、记忆安装至安装件的安装角度，以和拆卸离子发生器本体之前相同的角度再度进行安装，大量减少调整安装角度的麻烦。使放电针的清理、更换和风扇的清理变得容易，而使操作性提高。该发生器对放电...

提供一种通过简单结构的控制电路而可适当地控制离子平衡的除电装置。包括：正侧高压产生电路（５０Ｐ），产生正极性的高压脉冲；负侧高压产生电路（５０Ｎ），产生负极性的直流偏置电压；放电针（９），经由电阻（８）被施加将所述高压脉冲和所述直流偏置...

本发明提供一种电离器用接续连接器，通过使所有的电极成为等间隔地进行两个电离器的定位，有助于设置操作的简易化和除静电能力的提高。且提供一种连结型电离器，由这种电离器用接续连接器所连结，能均匀地进行大型除静电对象的除静电。电离器用接续连接器...

本发明提供一种电极单元和具有该电极单元的离子发生器，该电极单元通过结构简单化以及降低成本来提高价格性能比，并且通过提高喷射速度来防止再结合，以提高除静电能力。电极单元（２０）具有：针状电极（２１），其具有大致圆锥状的尖锐前端（２１０）；...

一种交流式离子生成器用的放电单元，其把对放电针施加交流高电压并进行电晕放电而产生的正离子和负离子通过空气向被除电物方向供给。电容器（Ｃ）具有：连接到放电针（３）的电极片（１２）、包围该电极片（１２）的电介体部（１１ａ）及包围该电介体部（...

本发明涉及一种直流式离子发生器，其包括：正电极（１３Ｐ）及负电极（１３Ｎ）；交流电源（１０）、整流平滑电路（１１）及高压产生电路（１２Ｐ、１２Ｎ），其施加正极性且高压的直流恒定电压到正电极（１３Ｐ），并且，施加负极性且高压的直流恒定电压...