一种能量检测机构，应用于LDI曝光机的光学镜头的检测中，包括：检测模组，其包括：检测相机，用于对光学镜头的灰度值进行检测；能量探头，用于对光学镜头的功率进行检测；两个对射光栅，其最高高度不低于检测相机和能量探头的最高高度，通过感应两个对...

本发明涉及一种双台面曝光机及曝光方法，包括基座、左运动平台、右运动平台、对位系统和曝光系统，左运动平台包括第一Y轴组件、第一Z轴组件和第一吸盘组件，第一吸盘组件上设置有第一夹板组件和第一感光标尺，右运动平台具有第二Y轴组件、第二Z轴组件...

一种标定装置，包括标定组件，其包括：基底；感光结构，其涂覆在基底表面，感光结构包括周期性设置的感光变色材料结构和光稳定剂结构；其中，感光结构的一个周期包括一个感光变色材料结构和一个光稳定剂结构；基底表面光滑平整，基底为矩形或者椭圆形；基...

一种MARK点光阑对准装置，包括光纤光源、对准镜筒、准直镜片、承载板和掩膜板，掩膜板包括：石英玻璃；第一金属铬层，其设置在石英玻璃一面；第二金属铬层，其设置在石英玻璃另一面；其中，第一金属铬层上设置有第一透光孔，第二金属铬层在第一透光孔...

一种含NIR的多波段光源，包括光源本体，其从外向内设有出光与水平面夹角递增的多排灯珠，每排灯珠均包括多个波段不同的：NIR灯珠；第二灯珠；第三灯珠；其中三个NIR灯珠设置在一个等边三角形的三个顶点上，其中三个第二灯珠设置在一个等边三角形...

本发明涉及一种激光直写光刻机曝光图形直线度补偿方法及系统，包括运动系统，其包括运动平台和运动控制器，运动平台包括X轴运动机构、Y轴运动机构和Z轴运动机构，运动平台上设置有吸盘，PCB工件放置在吸盘上；曝光系统，其用于对PCB工件进行曝光...