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肖友华专利技术
肖友华共有1项专利
一种半导体加工用静电消除设备制造技术
本发明公开了一种半导体加工用静电消除设备,其结构包括机箱、检视窗、散热窗、反应箱、封闭门,所述的机箱正面位置设有检视窗且二者相互连通,所述的检视窗侧面设有散热窗且机箱底部连接反应箱,本发明具有的效果:利用离子风扇工作达到消除静电的目的,...
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