本发明属于半导体技术领域，涉及一种使用中长波红外辐射测温系统的超低温快速热处理炉，包括：加热腔、真空工艺腔，加热腔与真空工艺腔为采用石英保护玻璃相互隔离；加热腔内设有卤素加热灯、温度控制系统；真空工艺腔内待测晶圆的前晶面正对石英保护玻璃...

本技术涉及直线运动结构，具体涉及一种基于石墨自润滑特性的直线运动结构，解决现有直线运动结构中用于减少直线运动部件磨损的直线轴承、直线导轨以及无油衬套均存在金属部件，金属部件易氧化、腐蚀、生锈，导致运动性能降低的问题，本技术的一种基于石墨...

本技术提供一种基于光学镜头的大动态范围辐射测温系统及测温方法，用于解决现有的辐射测温仪无法满足大动态范围测温需求的技术问题。该测温系统包括光学镜头、分光单元、采集单元及计算单元；光学镜头用于接收目标物辐射的光信号；分光单元位于光学镜头的...

本发明提供一种基于光学镜头的大动态范围辐射测温系统及测温方法，用于解决现有的辐射测温仪无法满足大动态范围测温需求的技术问题。该测温系统包括光学镜头、分光单元、采集单元及计算单元；光学镜头用于接收目标物辐射的光信号；分光单元位于光学镜头的...

本发明公开了一种透过玻璃热壁进行测温的半导体设备及测温方法，以解决现有测温方案中，由于石英玻璃为不良导体，导致测量的温度精度较低的问题，该设备包括石英玻璃腔、套装在石英玻璃腔的外壁上的加热器及设置于加热器外的测温仪；加热器上设有测温孔；...

本发明涉及红外高温计，尤其涉及一种可输出热电偶信号的红外高温计及温度测量方法，解决换装光电传感设备测量温度，也必须更换对应的电气仪表，原来为热电偶测量元件配套设置的电气仪表将不能再使用，而电气仪表的换装的成本很大，并且换装耗费时间长的问...

本发明涉及协议转换方法及协议转接板，具体涉及一种可自定义扩充协议的协议转换方法及协议转接板，解决了现有协议转换方法数据利用率较低、兼容性较差，以及转接板结构较为复杂的技术问题。本发明基于可配置协议转换技术，自动加载协议库，将电力设备输出...

本发明公开了一种辐射衰减率监控功能的比色辐射测温方法及装置，解决现有的比色辐射测温仪存在信噪比下降导致比色温度读数失准而影响闭环控制反馈的工艺进程的问题，具体包括：步骤1、通过λ1波长采集模块和λ2波长采集模块采集被测辐射源在波长λ1处...

本发明涉及一种光纤微压力传感器，为解决现有“硅片+玻璃基板”型结构的光纤微压力传感器存在的耦合距离远、信噪比低、成品率低，或是加工难度大的问题，而提供一种基于硅基刻蚀的光纤微压力传感器及其制备方法。本发明包括光纤、具有检测端和尾端的基片...

本发明涉及光纤传感器，具体涉及同步多通道光纤传感器，用于解决基于光谱仪解调的多通道光纤传感器无法满足多点同步测量和高响应速度的应用要求的不足之处。该同步多通道光纤传感器将多个光纤传感头的出射光转换为面阵图像传感器上互不干涉的多个光谱像，...

本发明涉及光纤防入侵系统，具体涉及一种基于低频光纤振动检波器的防入侵系统，用于解决现有光纤防入侵系统存在感知灵敏度较低、预警范围小、预警时间短、可靠性低的不足之处。该基于低频光纤振动检波器的防入侵系统，包括依次相互连接的中心控制与信息处...

本发明为解决现有的基于荧光衰减信号解调荧光寿命方法使得荧光寿命计算误差大，进而使荧光测量温度的解调精度低的问题，而提供了一种基于荧光衰减信号的荧光寿命解调方法

本发明提供一种基于机器人的光学模块精确装配系统及方法，解决现有光学模块装配是采用人工+半自动设备组装，一致性较差，效率低的问题。该系统包括工作平台以及设置在工作平台上的机械臂A部分、机械臂B部分、机械臂C部分、分度盘组装工位、固定块定位...

本实用新型具体涉及一种光纤测温系统，解决现有的光纤传感系统采用一整根细长的光纤作为测温光纤，使得静电卡盘和支撑结构在组装和拆卸过程中，容易降低测量精度、造成测温光纤损坏，导致硬件设备成本提高的问题。该光纤测温系统，包括变送器、至少一个测...

本发明为解决现有分布式光纤声波传感系统信号处理过程中采用固定且较低的数据传输速率导致系统响应速度慢，以及信号处理信噪比低、解调精度差等问题，在不改变传统分布式光纤声波传感系统相干探测结构的基础上，提供了一种应用于分布式光纤声波传感系统的...

本发明为解决现有的变压器荧光测温设备在监测温度时存在测温不准确、温度标定繁琐以及光纤损坏更换后需要停电和重新标定温度的问题，而提供了一种获取高精度、易更换的变压器荧光测温设备的方法。包括以下步骤：将变压器荧光测温设备拆解为测温探头、贯通...

本实用新型涉及光学元件的夹持装置，具体涉及一种光纤阵列的封装夹持装置，用于解决现有光纤阵列的封装夹持装置存在难于微型化、仅满足单一规格V型槽阵列封装、不能实现阵列的自适应调整，以及仅对光纤包层段进行夹持的不足之处。该光纤阵列的封装夹持装...

本发明涉及变压器监测系统，具体涉及一种基于分布式光纤传感的变压器多参量监测系统，用于解决现有基于分布式光纤测温测振的变压器监测系统存在系统结构复杂、稳定性差、灵敏度不高及不能定量测量的不足之处。该基于分布式光纤传感的变压器多参量监测系统...

本实用新型涉及光纤阵列的耦合装置，具体涉及一种光纤阵列的耦合对准夹具，用于解决现有光纤阵列的耦合对准夹具无法实现光纤阵列的精确、稳定夹持，导致光纤耦合过程中或耦合后耦合效率急剧降低的不足之处。该光纤阵列的耦合对准夹具包括主体、夹板、固定...

本实用新型涉具体涉及一种光纤温度