本实用新型公开了一种磁控溅射靶枪，所述磁控溅射靶枪为圆柱形磁控溅射靶枪，包括基座、磁靶和靶材，所述磁靶固定于基座之上，所述靶材通过旋转轴固定在磁靶上；所述磁靶包括磁芯和环状磁铁座，所述环状磁铁座上设有均匀排列的磁铁块，形成中心-外环的环...

本发明公开了一种基于石墨烯传感器检测蛋白质的方法，包括如下：(1)制作石墨烯传感器：在一基板上面设有石墨烯薄膜，所述石墨烯薄膜两端设有电极；(2)待检测样品的预处理：在待检测的样品中添加荧光染料，用于标记样品中的蛋白质，得到荧光染料-蛋...

本实用新型公开了一种用于制备二硫化钼薄膜的分子束外延生长装置，其特征在于，所述装置包括超高真空反应腔、控制器、衬底加热器、衬底托板架和分子束源炉，所述控制器通过操纵杆透过超高真空反应腔上部连接衬底加热器，所述衬底加热器位于超高真空反应腔...

本实用新型公开了一种石墨烯清洗装置，包括机架、位于机架上工作槽、安装在工作槽内的滚动轴阵列、以及覆盖在工作槽上方的多个清洗室；所述滚动轴阵列通过链条连接滚动电机；所述滚动轴阵列两头均长出清洗室，其中一端为输入端，另一端为输出端；所述机架...

本实用新型公开了一种石墨烯水洗装置，包括机架、设置在机架上传输辊、以及盖在传输辊上方的箱罩，所述机架一侧安装有水泵、过滤池；所述箱罩内部设置有喷洗管，所述喷洗管呈U型，平行设置于传输辊上方，所述喷洗管具有多个喷水口；所述传输辊下方设有收...

本实用新型公开了一种石墨烯酸洗装置，包括机架、位于机架上的传输带，在传输带上方覆盖有酸洗室，所述酸洗室由喷洗单元和浸泡单元构成，其中所述喷洗单元顶部设置喷洗管，所述喷洗管间隔设有多个向下的喷洗口，并在喷洗口上装有喷嘴；所述浸泡单元则在顶...

本实用新型涉及一种带滑轨的用于制备石墨烯的化学气相沉积装置，包括一石英管，石英管输入端通过第一法兰连接有充气系统，石英管输出端通过法兰分别连接有气压调节器和真空系统，石英管外包围有分段加热装置，分段加热装置包括第一加热装置和第二加热装置...

本实用新型公开一种用于石墨烯化学气相沉积设备的杂质气体吸附装置，包括一气流通道，该通道一端为石墨烯化学气相沉积中的混合气体入口，在气流通道外侧装有若干组半导体致冷片，各致冷片通电联接形成电学低温气流冷阱并吸附杂质气体，气流通道另一端为纯...

本发明公开了一种高导电性氟化石墨烯薄膜的制备方法，包括如下步骤：将石墨烯薄膜放入真空管式炉，并保持真空管式炉温度为200℃；向所述真空管式炉通入氩气，氩气流量为2000sccm；通入1至10sccm预处理的氟化氙蒸汽1至10min；通入...

本发明公开了一种金属纳米颗粒掺杂石墨烯的制备方法，包括如下步骤：将带金属衬底的石墨烯薄膜放置于真空镀膜机中，并抽真空至0.001Pa；加热石墨烯薄膜至100℃，并保持30min；将石墨烯薄膜降温至常温，加热放置在坩埚中的金属靶材对石墨烯...

本实用新型涉及一种气相沉积设备。本实用新型的一种用于制备石墨烯薄膜的化学气相沉积装置，所述装置包括一石英管，所述石英管输入端通过法兰连接有充气系统，所述石英管输出端通过法兰分别连接有气压调节器和真空系统，所述石英管外包围有加热炉膛。本实...