本实用新型公开了一种硅片抛光机，属于硅片抛光领域，一种硅片抛光机，包括机台、以及设置于机台的滑台、定位件和真空吸盘，滑台的滑动端固定有安装架，安装架上固定有抛光件，真空吸盘的四周设置有若干定位件，定位件位于抛光件的一侧，真空吸盘与真空发...

本实用新型涉及切割机领域，公开了一种晶圆片切割机，包括机架以及设置于机架上的激光切割组件、操作平台、取物器、控制系统。操作平台上可拆卸地设置有晶圆定位圈，晶圆定位圈所在的操作平台上设置有若干气孔，气孔下方连接有真空发生器，激光切割组件设...

本实用新型涉及倒角设备领域，公开了一种晶圆片倒角设备，包括机架、控制系统以及与控制系统连接的打磨机构、自动进料定位装置、平面坐标移动平台。打磨机构设置于机架的前侧面上，平面坐标移动平台设置于机架底面。自动进料定位装置包括用于运输晶圆片的...

本实用新型公开了一种晶圆片研磨装置，包括机架、位于机架顶部的下研磨盘与支撑架、位于下研磨盘正上方并活动安装在支撑架底部的上研磨盘、固设在支撑架顶部并用于带动上研磨盘升降的液压缸以及用于存储抛光液的储液罐，所述下研磨盘的顶部开设有供所述上...

本实用新型公开了一种晶圆片抛光夹具，包括圆形的盘体，所述盘体的外侧面上设置有轮齿，盘体上沿其圆周方向均匀开设有若干个用于放置晶圆片的放置孔以及若干个可供抛光液流通的排液孔，所述的放置孔与排液孔均贯通盘体的上下表面，所述放置孔的内侧套设有...

本实用新型涉及定位装置领域，公开了一种晶圆片切割定位装置，包括用于放置晶圆料片的支撑盘，支撑盘上可拆卸地设置有至少两个用于限制晶圆料片位置的定位圈。若干个定位圈通过连接块连为一体，且沿支撑盘的中心等间距设置。定位圈内的支撑盘上设置有若干...

本实用新型涉及机械领域，公开了一种研磨液自动调控装置，其包括过滤池、混合桶、添加液桶和控制器。混合桶上设置有加热器。混合桶底部设置有温度传感器和PH值检测器。混合桶上设置有用于过滤和缓冲水冲击的缓冲过滤组件。缓冲过滤组件包括缓冲主体，缓...

本实用新型涉及机械领域，公开了一种晶圆片研磨设备，包括设备主体和磨削液循环系统。设备主体上设置有回流管和出液管。磨削液循环系统包括过滤池、混合桶、添加液桶和控制器。添加液桶内设置有用于调节磨削液PH值的添加液。混合桶上设置有用于过滤和缓...

本实用新型涉及一种激光切割机夹具，包括设置在激光切割机下方并用于放置晶圆的放置板以及设置在放置板下方用于将晶圆吸附固定在放置板上的抽气机构，所述放置板上设有密集分布的若干通气孔。本实用新型的放置板上设有密分布的通气孔，晶圆放置在放置板上...

本实用新型涉及切割设备领域，公开了一种高效率晶圆片切割设备，其包括切割机主体和定位旋转装置。切割机主体包括机架以及设置于机架上的激光切刀组件、操作平台、控制系统。定位旋转装置包括支撑盘，支撑盘上可拆卸地设置有至少两个用于限制晶圆料片位置...

本实用新型公开了一种晶圆片尺寸检测仪器，包括基座、设置在基座顶部用于放置晶圆片的载物盘以及用于测量晶圆片尺寸的直径检测结构与厚度检测结构，所述的直径检测结构包括若干个第一测距装置以及环绕载物盘设置在基座顶端面的两横向导轨与两纵向导轨，若...

本实用新型涉及工装治具领域，公开了一种适用于晶圆片倒角的自动进料定位装置，包括：用于运输晶圆片的流水线、用于放置晶圆片的旋转组件、用于将流水线中的晶圆片推入旋转组件中的推料机构、以及用于限制晶圆片位置的定位组件。本实用新型通过流水线和推...

本实用新型公开了一种晶圆片抛光垫，包括抛光垫基板，所述抛光垫基板的上表面为用于抛光晶圆片的抛光面，所述抛光面的中心区域处开设有第一内沟槽，所述第一内沟槽内均匀设置有若干磨料凸起，任意相邻的两个磨料凸起相互间隔设置，所述抛光面的中心区域外...

本实用新型涉及一种晶圆抛光装置，其包括旋转底座、设置在旋转底座上方的抛光盘、与抛光盘连接并用于升降抛光盘的升降机构以及分别与抛光盘连接的进水管和进液管，所述抛光盘上设有分别与进水管和进液管连接的若干通道，所述通道的出口位于抛光盘的底面；...

本实用新型涉及一种晶圆倒角机，其包括机架、打磨机构、用于放置晶圆的旋转固定机构、三坐标移动平台、用于将晶圆在旋转固定机构上定位的若干定位部件和若干吸尘机构，打磨机构、三坐标移动平台、定位部件和吸尘机构设置在机架上，旋转固定机构设置在三坐...

本实用新型公开了一种用于加工薄硅片的加工件，涉及硅片加工领域，包括辅助片和用于加工成薄硅片的第一硅片，第一硅片的第一端面通过双面胶或蜡层可拆卸地固定贴合于辅助片。作为优选，辅助片为第二硅片。本实用新型的有益效果：该加工件包括相互贴合的辅...

本实用新型公开了一种硅片抛光机台的加工座，涉及硅片加工领域，包括游星轮、第一载板、第二载板以及胶层，游星轮设有第一安装槽，一载板可分离地装嵌于第一安装槽；第一载板设有第二安装槽，并在第二安装槽的内部设有若干限位通孔，第二载板设有若干限位...

本发明公开了一种薄硅片的制作方法，涉及硅片加工领域，包括以下步骤：用抛光机台对硅片的第一面先进行抛光；对硅片进行清洗检查；在硅片的第一面贴上保护膜；对硅片的第二面进行研磨减薄；清除硅片上的保护膜；用贴蜡机将硅片的第一面贴至辅助硅片上，形...