本实用新型涉及一种用于镀膜装置的镀膜夹具，特征是：包括夹具体和夹具底座，所述夹具底座为上端开口的框架，框架的两侧板的前后端面分别设置凸脊；所述夹具体的两端分别设置槽体，该槽体与夹具底座两侧板相配合，以保证夹具体卡设在夹具底座的两侧板之间...

本实用新型涉及一种研磨抛光盘静压支撑装置，包括机架底座，特征是：在机架底座上安装机架座套，机架座套上安装静压支撑座，机架座套和静压支撑座的中心安装主轴，静压支撑座和主轴上端设置研磨抛光盘，研磨抛光盘与主轴固定；在所述机架座套上分别设置第...

本实用新型涉及一种研磨抛光头支撑装置，包括抛光机机架，抛光机机架上安装立柱，立柱的上部安装机顶；特征是：在所述机顶的底面上设置凸台，凸台中间设置通孔，凸台与连接板螺接，连接板与设置在凸台中间通孔的导套螺接，导套与研磨抛光头套接。在所述立...

本发明涉及一种研磨机研磨盘修整装置，在机架上设置有滑块底座，在滑块底座上放置有具有内螺纹的滑块，在滑块的内外两侧以及顶部设有滑块盖板，所述滑块滑动安装在由滑块底座与滑块盖板组成的轨道内，在滑块盖板上固定有丝杆连接板，在丝杆连接板内转动安...

本实用新型涉及研磨抛光装置技术领域，具体说是一种温度可控的研磨抛光盘，机架面板内转动架设有主轴，沿主轴的回转中心开设有进水管道安装孔，在进水管道安装孔端面上固定设置连接板，连接板伸出主轴外侧部分上卡装有水冷盘，所述水冷盘与主轴间通过螺栓...

本实用新型涉及一种研磨机部件，具体的说是一种研磨机强驱加压装置，属于机械设备技术领域。其包括调速电机，连接法兰下端通过多个气缸立柱连接齿轮箱，齿轮箱上端固定减速电机。减速电机的输出端上安装位于齿轮箱中的主动齿轮，主动齿轮下端通过主动齿轮...

本实用新型公开了一种超精密化学机械抛光机，在机架上转动安装有转轴，在转轴的顶端部固定有抛光台，在抛光台的上表面固定有水晶抛光垫，在水晶抛光垫上方设有磨料供给机构；在机械臂上通过胶轮安装有固定环，在固定环内设有衬底固定盘，在衬底固定盘上方...