本实用新型涉及一种有毒有害气体侦测系统，PC机与PLC通过Ethneter相连，PC机上设有键盘接口和远程网络浏览器接口，PLC与LED显示连接为一体结构，气体侦测系统控制箱上设置有报警信号灯、报警发声器，气体侦测系统控制箱内部设有继电...

本实用新型涉及一种高纯气体输送设备，由气瓶柜、VMB组成；主进气管路A与钢瓶连接，主进气管路A在进气方向上依次设置有高压侧压力传感器、高压侧主管路气动阀、主管路调压阀、低压侧压力传感器、主管路过滤器、低压侧主管路气动阀、主进气管路A手动...

本实用新型涉及一种大流量NH3供应系统，储气瓶外表包覆电加热膜，储气瓶放置于磅秤上；主进气管与储气瓶上设有的气象出口连接；在高压侧气动阀与高压侧压力表间的主进气管设置于汽化器内，汽化器由隔热层、电加热器、加热介质组成，电加热器设置于隔热...

本实用新型涉及一种气体管路输送系统，由可燃气体室、不可燃气体室、VMB气体分配室、CVD?Area、Etch?Area、输送管道组成；可燃气体室与不可燃气体室内的气体通过由SS316L?EP制成的输送管道输送到VMB气体分配室内相应的V...