本实用新型提供了一种强流低能团簇离子束导向装置，包括一对间隔分布的电极和一对设置于电极周围的磁铁，电极通过一对绝缘体固定并且与磁铁相互隔离，两个电极之间区域构成离子束通道；磁铁和绝缘体通过位于磁铁两端的一对极靴固定，两个磁铁均为永磁铁或...

本发明提供了一种气体团簇离子源产生方法，利用脉冲控制阀控制喷出脉冲式气流束，脉冲式气流束经过分束器，中性团簇粒子和部分单原子通过分束器，脉冲式气流束经过电离器进行离化，脉冲式气流束继续经过吸极，在吸极内获得初始加速度并汇聚形成收敛的圆锥...