本发明公开了一种纳米超晶格结构的超硬复合膜刀具及其沉积方法，涉及新材料技术领域中一种超硬复合膜刀具及其沉积方法，具体地说，涉及工作靶的设置及靶材成分。本发明在真空室４中共设置有内靶１、中靶３、外靶２；沉积步骤有：①沉积过渡层；②沉积纳米...

本发明公开了一种高耐氧化纳米晶－非晶结构的超硬复合膜刀具及其沉积方法，涉及新材料技术领域中的超硬复合膜刀具及其沉积方法，特别是涉及一种纳米晶－非晶结构超硬膜和复合氧化物膜。本刀具是在刀具８上的复合膜依次为起粘附作用的过渡层Ａ、纳米晶－非...

本发明公开了太阳能电池纳米晶硅薄膜的物理气相沉积装置及其方法，涉及能源新材料领域中太阳能电池纳米晶硅薄膜的制作方法；本发明是基于真空镀膜机采用物理气相沉积（ＰＶＤ）方法沉积纳米晶硅薄膜。其目的是这样实现的：一是设计沉积硅薄膜的真空镀膜机...

本发明公开了一种具有高附着力的纳米超硬复合膜刀具及其沉积方法；涉及新材料领域中表面复合强化方法。本刀具是在刀具９上依次沉积有渗氮层Ａ、基础膜Ｂ、超硬膜Ｃ、自润滑膜Ｄ；本方法是在真空室４的中央，设置一套圆柱形电弧靶１，垂直于底盘；在真空室...