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MEMS扩音器制造技术

本发明涉及MEMS扩音器。提供了一种由于减小的DC漏电流而具有改善的噪声性能的MEMS扩音器。为此，保持MEMS扩音器的信号线与其它传导结构之间的最小距离。此外，提供了将信号线的至少一部分围起来的DC保护结构。

最后更新日期：2012-09-09 19:28 访问量：197