本发明公开了一种高精度高洁净度的半导体Stocker设备行走轴和操作方法，包括导轨、滑台机构，所述导轨固定设置于底板机构上表面，所述底板机构包括第一底板和第二底板，该底板机构通过将若干个第一底板和第二底板进行拼接形成，所述底板机构下方设...

一种密闭存储的半导体仓库，用于存储货物，仓库包括库体、货架和搬运装置，库体内充有氮气，库体一侧设有过渡仓，过渡仓和库体之间设有导轨，搬运装置在导轨上水平运动，该过渡仓内设有对接仓室，对接仓室底部设有旋转组件，旋转组件上方设有拆分组件，该...

本发明涉及设备气密性领域，尤其半导体Stocker设备洁净度气密性的提高方法，其技术方案包括通过透视变换后的矩形圆角玻璃板图像将玻璃板的圆角构建成贝塞尔曲线模型、通过透视变换后的矩形圆角玻璃板图像与安装处的凹槽图像构建另一个透视变换模型...

本发明涉及一种带有防坠落机构的半导体堆垛机，包括堆垛机机架，所述堆垛机机架上设有同步带，同步带一端固定连接有配重块，另一端固定连接有上位响应板；上位响应板下方两侧贯穿滑动连接有响应传动组件，响应传动组件下方连接有下位响应板；下位响应板前...

本发明涉及的一种新型导流结构及高洁净晶圆光罩存储库，包括设置在存储库一侧的过渡板结构，存储库具有存储腔，过渡板结构包括第一板体、第二板体和第三板体，第一板体和第三板体相互平行，第二板体连接在第一板体和第三板体之间，第二板体向存储腔的内侧...

本发明涉及的一种堆垛机粉尘清理机构及高洁净晶圆存储库，包括堆垛机，堆垛机包括移动板和连接在移动板上方的堆垛机本体，移动板的两端连接有滑块，滑块沿设置在导向槽内的滑轨滑动，导向槽的侧面开设有第一净化通道，第一净化通道的出风口连接有第一抽风...

本技术公开一种半导体晶圆用存储机构，包括至少两排存储架，存储架包括横向支架、纵向支架和支撑架，横向相邻的支撑架之间通过横向支架相互连接，纵向相邻的支撑架之间通过纵向支架相互连接，横向相邻的支撑架之间形成有存储区间；在存储区间内设置有用于...

本实用新型涉及的晶圆加工用快速流转系统，包括边缘抛光机、贴附前清洗机、贴附机和剥离机，边缘抛光机的出料口设置有用于将抛光完成的晶圆输送至贴附前清洗机的第一输送装置，贴附前清洗机连接有将清洗完成的晶圆转移至氮气存储库中的第一转移机械手，氮...

本实用新型涉及的一种晶圆料盒智能存储柜，包括存储柜本体，存储柜本体内具有储物腔，所述储物腔内设置有储物架，所述储物架上具有若干个用于存储晶圆料盒的存储区间，所述储物腔的侧面连接有氮气进气组件、换气组件和氮气出气组件。本实用新型的有益效果...

本实用新型公开了一种探测器治具用上盖自动安装装置，包括治具，所述治具上连接有上盖，所述上盖上设有定位孔，所述治具的上端面固定有定位销，所述治具的上端面还设有弹性搭扣，所述弹性搭扣搭在所述上盖的上端面上，所述治具的一侧设有上盖翻转机构，所...

本实用新型涉及的一种阀杆多功能检测装置包括第一检测机构、第二检测机构、阀杆定位机构和用于对阀杆的位置进行移动的移载单元，阀杆定位结构包括第一支撑台和连接在第一支撑台上的支撑板，支撑板上连接有定位轮组件和下压机构且下压机构连接在定位轮组件...

本实用新型涉及的一种阀杆直径检测机构，包括底座、阀杆定位组件、直径检测组件和支撑台，支撑台通过连接杆与底座连接，阀杆定位组件包括固定板、顶针组件、用于驱动顶针组件转动的转动组件和用于推动转动组件运动的第一直线驱动装置，顶针组件与转动组件...

本实用新型涉及的晶圆加工用高洁净度输送装置，包括AGV小车、支撑台以及设置在支撑台上的储料容器，支撑台的底部与AGV小车接触，储料容器内放置有一个或多个储料盒，在每个储料盒内均设置有支撑板，每个储料盒中的支撑板的数量为2个，2个支撑板沿...

本实用新型涉及的一种晶圆存储柜用料盒用输送设备，包括设置在货架一侧或两个货架之间的导轨组件，导轨组件包括至少两根输送导轨，输送导轨上可移动的连接有移动滑块，移动滑块上连接有移动架，移动架上连接有用于夹持晶圆料盒的夹持结构，在两根输送导轨...

本发明涉及的一种晶圆磨片机用自动上下料系统，包括支撑台、磨片机、中转搬运机器人和磨片搬运机器人，支撑台设置在磨片机的一侧，中转搬运机器人和磨片搬运机器人均连接在支撑台的上表面；支撑台的上表面连接有未磨晶圆载具、已磨晶圆载具、假片放置载具...

本实用新型公开了一种探测器自动上下料装置，包括框架，所述框架的台面上分别设有上料取放机构和下料取放机构，所述上料取放机构和下料取放机构之间设有高低温黑体测试区，所述上料取放机构和所述下料取放机构均包括XYZ轴移动模组，所述XYZ轴移动模...

本实用新型涉及的一种阀杆检测机，包括料盘上下料组件、检测机构、移载机构、上料机构和下料机构，所述料盘上下料组件用于将料盘输送到上料机构的上料位置或下料机构的下料位置，所述上料机构用于将阀杆从料盘转移至所述移载机构，所述移载机构用于将阀杆...

本实用新型涉及的一种晶圆料盒存储柜用上料装置，包括上料小车和垂直上料组件，上料小车设置在垂直上料组件的一侧，垂直上料组件包括输送支架、驱动轴、输送电机、第一屏蔽门、第二屏蔽门和安装框架，驱动轴的数量为2个，2个驱动轴设置在输送支架的两侧...

本实用新型涉及的防晶圆坠落的存储系统，包括储物架，储物架包括至少两排立柱，同排的相邻的立柱之间连接有横杆，两排立柱之间通过斜杆相互连接，立柱的侧面连接有L形支撑板，相邻的L形支撑板之间形成用于容纳晶圆盒的容纳空间；L形支撑板包括第一板体...

本实用新型公开一种传感器组装用转盘机构，包括工作台，工作台上连接有移载转盘和呈环形阵列式连接在移载转盘上的若干个组装治具和压紧机构，组装治具包括矩形本体，在矩形本体相对的两角开设有向下凹陷的台阶机构，压紧机构包括2个用于对矩形本体进行压...