本发明公开了一种检测宽禁带半导体器件的装置，包括加热光组件，探测光入射组件，光路引导组件，探测反射光采集组件和样品表面监测组件，加热光组件产生脉冲加热激光；探测光入射组件包含第一探测激光和第二探测激光，产生不同波长段的连续激光，第一探测...

本发明对热反射测量技术实现一种多光束信号采集方法，对热反射测量技术中的探测光入射光路组件和探测反射光采集组件进行一定的光路设计，在仅设置一个公用的平衡放大探测器的情形下，实现对两种不同波长段的热反射信号进行采集，平衡放大探测器对信号噪声...