天津微科光电科技有限公司专利技术

天津微科光电科技有限公司共有9项专利

  • 本实用新型涉及晶片吸附垫技术领域,且公开了一种新型的晶片吸附垫,所述吸附垫本体为双层结构,外层为吸附垫本体,且内层为吸附发泡层,内层与外层之间贴设紧密连接,所述吸附垫本体的顶端开设有取放槽口,所述取放槽口的加设有盖板,所述取放槽口与盖板...
  • 本实用新型涉及加工吸附垫技术领域,且公开了一种用于晶片加工工艺的吸附垫,所述加工转盘的底部装设有吸附垫主体,所述吸附垫主体的上层装设有粘附层,所述粘附层的顶部与加工转盘的底部相连接,所述粘附层的底部连接有磁力吸附层,所述磁力吸附层的底部...
  • 本实用新型涉及玻璃基板生产技术领域,且公开了一种玻璃基板薄化加工用抛光垫,包括安装板,安装板的底端固定连接有橡胶套环,橡胶套环的内部套设有抛光垫本体,抛光垫本体由缓冲层、粘接层和聚氨酯层组成,橡胶套环和抛光垫本体之间设置有固定机构;固定...
  • 本实用新型涉及抛光垫技术领域,且公开了一种用于砷化镓抛光工艺的抛光垫,高密度聚乙烯的下表面固定安装有聚丙烯热塑性塑料,聚丙烯热塑性塑料的下部装设有下表皮抛光磨层,下表皮抛光磨层的下表面紧贴安装有无磨料抛光层;抛光垫本体的中部贯穿开设有安...
  • 本实用新型涉及抛光垫技术领域,且公开了一种用于砷化镓快速剪薄工艺的抛光垫,固定板与滑块对应位置开设有滑槽,滑块嵌入于滑的内部,固定板的内部底部中间位置固定安装有液压油缸,液压油缸的上部固定连接有液压伸缩杆,固定板的底部两侧均固定有卡接板...
  • 本实用新型涉及抛光片技术领域,且公开了一种用于芯片制造的蓝宝石双面抛光片,包括定位框,所述定位框的顶部固定有上锁紧座,所述上锁紧座的外部套装有上层抛光片,所述定位框的底部固定有下锁紧座,所述下锁紧座的外部套装有下层抛光片,所述定位框的内...
  • 本实用新型涉及抛光布技术领域,且公开了一种新型的高效抛光布,所述抛光布的上表面固定安装有抛光颗粒,所述抛光布的上表面开设有流液槽,所述流液槽将抛光布的上表面分成12
  • 本实用新型涉及抛光模板技术领域,且公开了一种用于晶片加工的无蜡抛光模板,抛光垫的中间位置贯穿开设有固定孔,固定孔套接于固定柱的外周,底座的两侧均固定安装有支撑板,位于左侧的支撑板的上表面安装有水槽,水槽的上表面中间位置相通连接有按压槽,...
  • 本实用新型涉及抛光垫技术领域,且公开了一种CMP抛光设备用抛光垫,包括安装板,安装板的顶端固定连接有橡胶套环,橡胶套环的顶端套接有抛光垫本体,橡胶套环与抛光垫本体之间设置有四个固定机构;四个固定机构均包括插槽、固定杆和固定螺丝,四个插槽...
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