本发明提供了一种等离子体去胶机及点火方法，包括法拉第筒、石英筒、电感线圈以及点火装置，法拉第筒的顶壁接地；石英筒设于法拉第筒内并形成等离子腔体；电感线圈缠绕于法拉第筒的外周并用于接收高压高频信号；点火装置连接于电感线圈并与电感线圈和/或...

本发明涉及半导体制造技术领域，提供一种基于变压器耦合的射频等离子体发生器，包括功放单元、谐振变压器、气体源、谐振电容、点火变压器和点火开关；第一绕组的一端和功放单元的第一接入点、谐振电容的一端以及点火开关的一端连接，第一绕组的另一端和功...

本发明提供一种静电卡盘电源及控制方法。该方法包括检测模块和控制模块，检测模块与控制模块连接；检测模块用于与静电卡盘连接，向静电卡盘发送检测信号，并采集检测信号经过静电卡盘后返回的响应信号，将响应信号发送至控制模块；控制模块用于基于检测信...

本申请提供的一种调节离子源均匀性的方法，具体步骤如下：步骤1，安装离子源进行测试；步骤2，根据伞面接收端的传感器所采集到离子束强度，观察离子束均匀度是否满意；步骤3，若离子束均匀度满意度为否，反推强离子束对应栅网的径向位置；步骤4，拆下...

本申请提供一种离子源，离子源安装有包含多孔陶瓷分配板的气体分配装置。本装置利用多孔陶瓷的材料特性作为分配装置，均匀分配，多孔陶瓷可以将气体更加均匀的扩散到石英杯中，而不是喷射。避免由于气体集中喷射造成气体分布不均匀，再慢速扩散开，从而在...

本申请提供了一种半导体器件加工方法、系统及电子设备，涉及半导体器件制造技术领域。包括：在进入半导体蚀刻阶段之前，基于各反应腔室中半导体器件附近的指定位置处的等离子体密度，获取目标等离子体密度；将反应腔室的第一射频电源的输出功率调整至基于...

本申请公开了一种用于微波远程等离子体源自动点火装置，属于半导体生产加工技术领域，其技术方案要点是包括连接座和点火组件，连接座与炬管连接，点火组件与连接座连接，炬管、连接座和点火组件配合形成点火腔室，炬管上开设有连通点火腔室与炬管内的通孔...

本实用新型涉及气体隔离器技术领域，且公开了一种气体陶瓷隔离气嘴，包括陶瓷壳体，所述陶瓷壳体的顶部固定安装有出气管，所述陶瓷壳体的内部填充有多孔陶瓷，所述陶瓷壳体的底部固定安装有封盖，所述封盖的底部固定安装有进气管，所述封盖的底部固定安装...

本发明公开了一种均匀性调节装置及磁控溅射真空镀膜机，包括主体（8）和均匀性调节装置（6），主体（8）包括射频电源（1）、射频匹配器（2）、真空屏蔽罩（3）和旋转阴极柱状靶（4）；均匀性调节装置（6）中包括谐振电路，该谐振电路由多档位调节...

本申请提供的一种离子源气体分配装置及离子源，离子源气体分配装置包含多孔陶瓷分配板。离子源安装有包含多孔陶瓷分配板的气体分配装置。本装置利用多孔陶瓷的材料特性作为分配装置，均匀分配，多孔陶瓷可以将气体更加均匀的扩散到石英杯中，而不是喷射。...

本发明公开了一种具有内置真空电容的射频离子源，包括离子源本体(6)、真空电容(4)和射频天线(8)；在所述离子源本体(6)内部形成真空腔体(5)，所述真空电容(4)和所述射频天线(8)设置于所述真空腔体中，所述真空电容(4)设置于所述射...

本实用新型涉及电子枪电源技术领域，且公开了一种电子枪电源设备，机柜和手操器，所述机柜的内部安装有扫描电源、电子枪控制器、灯丝电源、抗打火电源、高压电源和系统控制终端组成。所述手操器通过RS232与扫描电源双向电性连接，所述扫描电源通过R...

本实用新型公开了一种射频电源可靠性检测装置，属于射频电源检测技术领域，包括振动仪、高低温箱、负载和功率计；其特征在于，还包括接收功率计输出数据并进行数据存储的计算机；其中：所述计算机上安装有PCI多路串口卡，所述功率计依次通过485光电...

本实用新型公开了一种射频电源双频滤波器，属于射频电源技术领域，包括两个带通滤波通路和机壳；两个带通滤波通路分别为：对第一高频电源进行带通滤波的第一通路；第一通路包括与第一高频电源连接的CL1电容、与所述CL1电容连接的CL2电容、与CL...

本实用新型涉及悬浮灯丝技术领域，且公开了一种悬浮灯丝的调压机构，包括固定座，所述固定座的内壁开设有安装槽，所述安装槽的内壁开设有位于固定座内壁的电阻槽，所述电阻槽的内壁固定安装有三个串联电阻。通过转钮转动，导电针因为与串联电阻滑动连接，...

本实用新型提供了一种方便维修的半导体AC加热用高频滤波器，尤其涉及半导体AC加热领域。以解决方便维修的半导体AC加热用高频滤波器封盖与主体之间密封性不佳，灰尘容易进入主体内部对部件造成污染，主体在底板处不能进行一定的位置调节，在对主体位...

本实用新型提供了一种高速扫频射频电源快速安装机构，尤其涉及射频电源领域。以解决高速扫频射频电源快速安装机构需要用力将射频电源推入到安装机构内安装，增加了人员对射频电源安装的工作的消耗力，且射频电源推到安装机构内后，射频电源容易在安装机构...

本实用新型涉及传感器的生产与制造技术领域，且公开了具有脉冲功能的射频电流传感器，包括传感器，所述传感器的右侧设置有进线端，从进线端通入导线，出线端通出导线，此时传感器可以检测出电流的信息，脉冲头能够发出脉冲，使射频电流传感器具有脉冲功能...

本实用新型涉及射频离子源技术领域，且公开了射频离子源高压控制装置，包括射频等离子发生器，所述射频等离子发生器的输入端与电压电流串口模块的输出端电性连接，所述电压电流串口模块的输入端与电源的输出端电性连接。使低电压进入升压升流器中进行升压...

本发明提供一种小型射频等离子体喷枪，其特征在于，包括：等离子喷头、屏蔽手柄、固定射频匹配器、气路、同轴电缆以及调频射频电源；等离子喷头包括针式内电极、介质毛细管和外导体；射频固定匹配器包括电容、电感、射频输入接头、射频输出端和电路板；射...