本发明涉及一种应用于光罩检查机的载台机构，其至少包含有一工作平台及一移动载座，其中该工作平台具有一长导孔，而该移动载座是设于前述工作平台的长导孔、且可沿着该长导孔的长轴线选择性移动，又该载板上具有一放置面，且该放置面具有复数相对围绕该可...

本发明公开一种光罩表面检查装置，其于一机柜体上设有一移动载台、一第一线性影像扫描器、一第二线性影像扫描器、一细缝光源模块、一区域图像扫描器及一运算控制单元，供对一收纳于一透视型光罩容器内部的一光罩进行检测，以能在不打开光罩容器下，直接检...

本发明公开一种用于薄化基板的预对准装置及方法，其中该预对准装置具有一机座，且该机座上设有被允许选择性相对位移的一驱动单元及一传感器单元，其该驱动单元具有延伸通过该机座、且被旋转的一输出轴，而该输出轴上设有一被用于放置该薄化基板的基板平台...

本发明公开一种用于200微米以下薄化基板的载入机构及载入方法，其适于在一处理薄化基板的处理设备中进行，该载入机构至少包含有设于处理设备上的一预对准装置及一搬运装置，其中预对准装置至少具有一供被选择性放置薄化基板的基板平台，且基板平台可以...

本实用新型涉及一种应用于光罩检查机的载台机构，其至少包含有一工作平台及一移动载座，其中该工作平台具有一长导孔，而该移动载座是设于前述工作平台的长导孔、且可沿着该长导孔的长轴线选择性移动，又该载板上具有一放置面，且该放置面具有复数相对围绕...

本实用新型公开一种光罩表面检查装置，其于一机柜体上设有一移动载台、一第一线性影像扫描器、一第二线性影像扫描器、一细缝光源模块、一区域图像扫描器及一运算控制单元，供对一收纳于一透视型光罩容器内部的一光罩进行检测，以能在不打开光罩容器下，直...

本实用新型公开一种用于200微米以下薄化基板的载入机构，其适于在一处理薄化基板的处理设备中进行，该载入机构至少包含有设于处理设备上的一预对准装置及一搬运装置，其中预对准装置至少具有一供被选择性放置该薄化基板的基板平台，且基板平台可以被选...

本实用新型公开一种用于薄化基板的预对准装置，其中该预对准装置具有一机座，且该机座上设有被允许选择性相对位移的一驱动单元及一传感器单元，其该驱动单元具有延伸通过该机座、且被旋转的一输出轴，而该输出轴上设有一被用于放置该薄化基板的基板平台，...

本发明涉及一种自动粘脱设备，该粘脱设备包含有一供吸附一无线静电载盘的载板静电生成组，以及一供吸附一薄化基板的基板移载组，而该基板移载组可相对该载板静电生成组线性位移，使得该基板移载组可带动薄化基板压合于该载板静电生成组的无线静电载盘表面...

本发明涉及一种用于无线静电吸盘的粘脱设备、自动粘脱系统及粘脱方法，用于使一无线静电载盘与一薄化基板的自动粘合与粘合后的自动解离，该系统包含有一机体、至少一个传输装置、至少一个烘烤装置、至少一个预对位装置及至少一个粘脱设备所组成，其中粘脱...

本实用新型涉及一种自动粘脱设备，该粘脱设备包含有一供吸附一无线静电载盘的载板静电生成组，以及一供吸附一薄化基板的基板移载组，而该基板移载组可相对该载板静电生成组线性位移，使得该基板移载组可带动薄化基板压合于该载板静电生成组的无线静电载盘...

本创作涉及一种用于无线静电吸盘的粘脱设备及自动粘脱系统，用于一无线静电载盘与一薄化基板的粘合或解离，其该无线静电载盘底面具有导电生成或释放静电电力场的导极，该粘脱设备包含有一框架，一载板静电生成组，一基板移载组，由此，该基板移载组能带动...

本发明涉及一种侧盖式盒体掀盖设备以及侧盖式盒体掀盖方法，用以开启一盒体，上述盒体包含一侧边开口及一选择性启闭侧边开口的侧盖，而该侧盖式盒体掀盖设备包含有一机座、一导引定位装置、一压掣限位装置及一掀盖装置，如此，利用导引定位装置来将盒体定...

本发明涉及一种弹扣式盒体开盒设备以及弹扣式盒体开盒方法，用以开启一盒体，上述盒体包括以侧边相对枢设、且可相对盖合的一第一壳盖及一第二壳盖，又第一、二壳盖异于枢接侧边利用至少一弹扣部选择性扣住，各该弹扣部包括有分别形成于第一、二壳盖的弹扣...

本发明公开了一种应用于检测一同侧具有不同边界的表面的透光基板的光源寻边机构、一种光学检测设备及一种可供检测一同侧具有不同边界的表面的透光基板的光学检测设备，其中，光源寻边机构由一光源组、一遮蔽组及一调光组所组成，该光源组可产生射向该基板...

本发明公开了一种基板清洗设备以及基板清洗方法，该基板清洗设备包含有一机座、一传输装置、一湿式清洁组及一干式清洁组，其中湿式清洁组与干式清洁组分别具有连续性无尘布条，利用传输装置夹掣与移动一基板，令基板可相对湿式清洁组与干式清洁组的擦拭组...

本实用新型公开了一种应用于检测一同侧具有不同边界的表面的透光基板的光源寻边机构、一种光学检测设备及一种可供检测一同侧具有不同边界的表面的透光基板的光学检测设备，其中，光源寻边机构由一光源组、一遮蔽组及一调光组所组成，该光源组可产生射向该...

本实用新型公开了一种基板清洗设备，该基板清洗设备包含有一机座、一传输装置、一湿式清洁组及一干式清洁组，其中湿式清洁组与干式清洁组分别具有连续性无尘布条，利用传输装置夹掣与移动一基板，令基板可相对湿式清洁组与干式清洁组的擦拭组，供分别以无...

本实用新型涉及一种侧盖式盒体掀盖设备，用以开启一盒体，上述盒体包含一侧边开口及一选择性启闭侧边开口的侧盖，而该侧盖式盒体掀盖设备包含有一机座、一导引定位装置、一压掣限位装置及一掀盖装置，如此，利用导引定位装置来将盒体定位于掀盖位置，并进...

本实用新型涉及一种弹扣式盒体开盒设备，用以开启一盒体，上述盒体包括以侧边相对枢设、且可相对盖合的一第一壳盖及一第二壳盖，又第一、二壳盖异于枢接侧边利用至少一弹扣部选择性扣住，各该弹扣部包括有分别形成于第一、二壳盖的弹扣片及相对扣缘，其包...