本发明涉及浸泡去膜槽技术领域，具体的说是垂直浸泡去膜槽，包括槽体，所述槽体上固定安装有固定架，所述固定架上设置有两个伺服电机，且伺服电机的输出端通过轴承贯穿所述槽体，每个所述伺服电机的输出端上固定安装有传动轴，且传动轴贯穿所述槽体，每个...

本技术涉及晶圆加工设备领域，尤其是晶圆清洁甩干机。该清洁甩干机包括清洗槽、护罩、护罩开关机构、晶圆支撑定位座、晶圆旋转机构、喷水机构、喷气机构，所述清洗槽上方设有用于封闭清洗槽的护罩，护罩安装在护罩开关机构上，清洗槽内转动连接有晶圆支撑...

本发明涉及PCB板及晶圆制造技术领域，公开了一种多级膜渣过滤收集装置，包括一级喷淋装置、二级喷淋装置、浸泡装置和过滤装置，设置的过滤装置能够对剥膜药液内部的杂质进行过滤，设置的一级喷淋装置和二级喷淋装置联动，能够实现根据PCB板或晶圆表...

本技术涉及晶圆加工设备领域，尤其是晶圆温润槽。该温润槽包括槽体、喷淋块、喷淋块升降机构、接水槽、导向块，所述槽体内滑配连接有喷淋块，喷淋块与喷淋块升降机构相连，槽体底部设有接水槽，槽体开口处固定有两个相互对称的导向块。本技术将晶圆挂具放...

本发明公开了一种晶片载具上下料机构，涉及晶片载具上下料技术领域，包括防脱机构，防脱机构由调整组件和检测组件组成，调整组件包括：转动基板，转动基板设置在定位安装板的上表面，且可进行转动，转动基板的上表面设置有两个从动支撑杆，转动基板的上表...

本发明公开了一种晶片组合载具，涉及半导体制造技术领域，包括：载具上底板和载具下底板，所述载具下底板内壁固定安装有密封条，所述载具上底板的顶面固定内嵌有多个磁铁，所述载具下底板的顶面与内嵌的磁铁吸附，所述载具下底板的内部设置有片状产品，所...

本发明涉及湿法制程技术领域，具体的说是一种具有筛分功能的摇摆喷淋主槽总成，包括主槽体，所述主槽体的正面和背面各安装有一个喷盘机构，两个所述喷盘机构之间设置有摇摆保持架，所述主槽体的一侧设置有摇摆动力机构，且摇摆动力机构与所述摇摆保持架相...

本发明公开了方形载板解键合设备，涉及方形载板技术领域，包括箱体，箱体的顶面固定安装有基板，基板的顶面固定安装有支撑架一，箱体的顶面设置有两个挡板；若干个立柱分别安装在两个挡板的底面，通过设置的电动推杆二、限位板、气动夹爪、盖板、进气管、...

本发明涉及半导体搬运加工设备技术领域，公开了一种晶圆自动搬运车，包括驱动机构、第一升降机构联动和第二升降机构联动，设置的驱动机构与第一升降机构联动，使得吊车能够在移动时位于导轨的上方，当吊车停止时位于导轨的下方，从而能够实现移动的吊车从...

本发明公开了高压水洗单片机，属于晶圆加工技术领域，包括机体，机体的内部固定安装有两个支撑板，调节脚的一侧与机体内部一侧均固定安装有电动滑轨，通过设置的机械臂、清洗仓、卡盘和清洗仓相互配合，即可将多片晶圆依次移动至四个清洗仓的内部，从而一...

本发明涉及晶圆电镀技术领域，具体是一种新型快装式晶圆级电镀挂具，包括支板，所述支板上设置有定位组件，所述定位组件包括定位板和卡槽，支板上设置有吸附组件，所述吸附组件包括滑动座、滑管、吸盘、壳体、电机和连接管，所述壳体的内部设置有调压组件...

本发明涉及一种晶圆电镀上料抓取装置领域，公开了一种晶圆电镀上料抓取装置，包括电镀机构、监测调试机构和抓取机构，通过设置的监测调试机构能够对晶圆的位置进行实时监测和调节，使电流密度、温度、电解液流量和成分的均匀分布，从而得到高质量的电镀层...

本发明公开了一种新型晶圆级单面电镀挂具，涉及晶圆加工技术领域，包括挂板，挂板上开设有贯穿挂板侧壁的圆形孔，挂板的一侧上方开设有两个导电板安装槽，两个导电板安装槽的内部均活动安装有导电板，挂板的内部活动安装有导电环，挂板的内部中间位置设置...

本发明涉及晶片装卸技术领域，具体是一种晶片及载具取放机械手，包括机架，所述机架的顶部内壁安装有载具上下料机构，所述载具上下料机构的内部放置有循环使用的组合载具，所述机架底部的一侧外壁固定连接有底座，所述底座顶端的一侧外壁固定连接有安装架...

本发明公开了一种Ring环清洁设备上下料设备，涉及Ring环加工技术领域，包括底座，底座上活动安装有活动座，活动座的顶部壁面一次竖直向上固定安装有上料架，上料架上活动安装有定位座，底座和活动座上均固定安装有滑轨，活动座通过滑轨滑动安装在...

本发明涉及片状产品夹具技术领域，具体是一种片状产品加工用自动夹具，包括底板，所述底板上开设有滑槽，滑槽上滑动连接有安装板，所述安装板上设置有夹持组件，所述夹持组件包括环形架、滑孔、滑杆和圆片，所述环形架固定连接于安装板上，安装板上设置有...

本发明涉及电镀挂具技术领域，具体是一种先进板级封装用双面电镀挂具，包括挂具底板和产品，所述挂具底板的一侧外壁设置有底框，所述底框的一侧外壁设置有一体式密封胶垫，所述一体式密封胶垫的一侧外壁分段式导电环，所述分段式导电环的一侧外壁设置有双...

本发明涉及夹具解锁技术领域，具体是一种夹具轨迹解锁装置，包括安装架，所述安装架的内壁开设有夹具定位槽，所述夹具定位槽的内壁滑动连接有夹具组件，所述安装架的内壁设置有解锁组件，所述解锁组件包括有有底板、解锁滑板、解锁气缸、解锁板、解锁滚轮...

本发明涉及电镀夹挂具技术领域，具体是一种阴极双面电镀双边夹挂具，包括机箱，机箱的底部设置有夹持组件，夹持组件包括弧形孔、弧形块、滑杆、竖筒和转杆，弧形孔开设于机箱的底部，两个弧形块滑动连接于弧形孔的内部，两个滑杆分别转动连接于两个弧形块...

本发明公开了一种半导体原料水洗搅拌装置，涉及半导体原料水洗技术领域，包括水洗罐，所述水洗罐的底部固定安装有托架座，还包括投料组件、搅拌组件以及下料组件；所述投料组件设置在水洗罐的顶部位置；所述搅拌组件包括转动安装于水洗罐顶部的腔轴杆，且...