本实用新型涉及微纳观测表征技术领域，提供了一种多格滴样观测窗口，其包括：衬底，衬底包括第一表面和第二表面，第一表面设置有第一薄膜且第二表面设置有第二薄膜，第一表面或第二表面上阵列形成多个方形凹槽；在每个凹槽的中间位置设置多个观测凹槽，观...

本实用新型提出了一种用于微观原位观察的MEMS加热芯片，包括：硅基衬底，依次设置于硅基衬底上的支撑层与钝化层；设置于钝化层的上表面的加热电极和测量电极，加热电极和测量电极同层绝缘设置且均位于钝化层上，加热电极和测量电极围绕形成用于微观原...

本实用新型提供一种贴片式药液注射器，包括具有刚性壁外壳的第一容器(1)，具有刚性壁液体容器外壳的第二容器(2)，弹性膜(3)，抽吸装置(4)和一次性使用即抛弃的元件；其中，弹性膜将第一容器分成第一腔室(5)和第二腔室(6)；所述第一容器...

本实用新型提供了一种流量测试辅助设备，所述流量测试辅助设备包括固定板座、载置于该固定板座的测量通道、固定于该固定板座的保护壳，其中，所述固定板座上设有管道支承部，所述测量通道载置于所述管道支承部；所述保护壳的下部设有与所述管道支承部相对...

本发明提出了一种用于微观原位观察的MEMS加热芯片及其制备方法，包括：硅基衬底，依次设置于硅基衬底上的支撑层与钝化层；设置于钝化层的上表面的加热电极和测量电极，加热电极和测量电极同层绝缘设置且均位于钝化层上，加热电极和测量电极围绕形成用...

本实用新型提出一种用于体液检测的MEMS芯片及设备，所述MEMS芯片包括衬底，设置在所述衬底上的检测区域和参比区域，所述检测区域包括检测电极、包围所述检测电极的敏感膜，所述敏感膜附着有体液检测材料；所述参比区域包括参比电极。本实用新型提...

本实用新型提供了一种隔膜泵系统，该隔膜泵系统包括隔膜泵、与该隔膜泵可拆卸连接的流量传感器、与所述隔膜泵和所述流量传感器相连接的微控制器，其中隔膜泵用于泵送流体，流量传感器用于检测隔膜泵的功能异常并输出正常信号或异常信号；微控制器根据流量...

本实用新型提供了一种用于测量液体粘度的MEMS芯片，所述MEMS芯片包括衬底，该衬底上设有储液池、位于该储液池上方的悬臂梁、设置在该储液池一侧的液体流道以及与液体流道相连通的滴液口，其中，在该悬臂梁上设有用于静电驱动的第一驱动电极；所述...

本实用新型公开了一种多孔薄膜观测窗口，包括：衬底，其包括相对设置的第一表面和第二表面；预定厚度的薄膜，其设置在所述第一表面和所述第二表面上，所述薄膜的形状和尺寸与所述衬底的形状和尺寸一致；所述衬底上还设置有贯穿所述第一表面和所述第二表面...

本实用新型公开了一种观测薄膜窗口，包括：衬底，其包括相对设置的第一表面和第二表面；预定厚度的薄膜，其设置在第一表面和第二表面上，薄膜的形状和尺寸与衬底的形状和尺寸一致；衬底上还设置有贯穿第一表面和第二表面的观测凹槽；并且，观测凹槽还贯穿...

本实用新型公开了一种流量传感器，包括：衬底；加热元件，形成在所述衬底上；至少一个感温元件，形成在所述衬底上，且所述感温元件与所述加热元件之间具有预定的间隔，以通过测量所述感温元件的温度变化获取流经所述流量传感器的流体的流量；亲水层，所述...

本发明公开了一种观测薄膜窗口，包括：衬底，其包括相对设置的第一表面和第二表面；预定厚度的薄膜，其设置在第一表面和第二表面上，薄膜的形状和尺寸与衬底的形状和尺寸一致；衬底上还设置有贯穿第一表面和第二表面的观测凹槽；并且，观测凹槽还贯穿位于...

本发明公开了一种流量传感器，包括：衬底；加热元件，形成在所述衬底上；至少一个感温元件，形成在所述衬底上，且所述感温元件与所述加热元件之间具有预定的间隔，以通过测量所述感温元件的温度变化获取流经所述流量传感器的流体的流量；亲水层，所述亲水...

本发明提供了一种用于测量液体粘度的MEMS芯片，所述MEMS芯片包括衬底，该衬底上设有储液池、位于该储液池上方的悬臂梁、设置在该储液池一侧的液体流道以及与液体流道相连通的滴液口，其中，在该悬臂梁上设有用于静电驱动的第一驱动电极；所述衬底...

本发明提供了一种隔膜泵系统，该隔膜泵系统包括隔膜泵、与该隔膜泵可拆卸连接的流量传感器、与所述隔膜泵和所述流量传感器相连接的微控制器，其中隔膜泵用于泵送流体，流量传感器用于检测隔膜泵的功能异常并输出正常信号或异常信号；微控制器根据流量传感...

本发明公开了一种多孔薄膜观测窗口，包括：衬底，其包括相对设置的第一表面和第二表面；预定厚度的薄膜，其设置在所述第一表面和所述第二表面上，所述薄膜的形状和尺寸与所述衬底的形状和尺寸一致；所述衬底上还设置有贯穿所述第一表面和所述第二表面的观...

一种基于MEMS的流速传感器、流速测量电路，所述流速传感器包括芯片基底层、第一保护层、第二保护层、测流元件和感温元件，其中：所述芯片基底层、第二保护层和第一保护层依次堆叠，所述测流元件和所述感温元件均设置于所述第一保护层或第二保护层中，...

本实用新型公开了一种负压式介质腔芯片系统，所述系统包括芯片组件，所述芯片组件包括芯片膜层，所述芯片膜层上设置有入口、出口以及与所述入口和所述出口连通的介质腔，所述入口用于向所述介质腔内送入待检测介质，所述介质腔用于容纳所述待检测介质；抽...

一种基于MEMS的流速传感器、流速测量电路及流速测量方法，所述流速传感器包括芯片基底层、第一保护层、第二保护层、测流元件和感温元件，其中：所述芯片基底层、第二保护层和第一保护层依次堆叠，所述测流元件和所述感温元件均设置于所述第一保护层或...

本发明公开了一种负压式介质腔芯片系统，所述系统包括芯片组件，所述芯片组件包括芯片膜层，所述芯片膜层上设置有入口、出口以及与所述入口和所述出口连通的介质腔，所述入口用于向所述介质腔内送入待检测介质，所述介质腔用于容纳所述待检测介质；抽气装...