本技术公开了一种晶圆旋转装置，包括底座，所述底座上端连接有立柱，所述立柱上端连接有加工台，所述加工台内壁设有活动槽，所述加工台上端面对称设有与活动槽连通的连接槽，所述加工台右侧外壁安装有第一电机，所述第一电机输出端连接有双向丝杆，所述加...

本技术公开了一种晶圆处理设备，包括箱体，所述箱体前侧外壁连接有箱门和控制器，所述箱体内部连接有导水箱，所述导水箱上端对称连接有横截面呈凹字形布置的第一防护板和第二防护板，所述第一防护板与第二防护板内部分别连接有电机和电动伸缩杆，所述电机...

本技术公开了一种集成电路半导体加工用的冷却装置，包括运输箱、加工箱、制冷箱，所述加工箱安装在所述运输箱的上端面，所述制冷箱安装在是加工箱的上端面；所述加工箱内设有制冷仓，所述加工箱内部设有主横管，所述主横管的右侧设有竖管，所述竖管的上端...

本技术公开了一种半导体加工用清洁装置，包括箱体，所述箱体下端连接有水箱，所述箱体下端连接有阀门，所述阀门伸入水箱内部，所述箱体前侧外壁安装有水泵，所述水泵两端均连接有导水管，所述导水管远离水泵的一端分别延伸至箱体和水箱内部，所述箱体内部...

本技术公开了一种带有风道切换的清洗机，包括机体、喷洒装置、风干装置，所述机体内分别设有水仓和机仓，所述喷洒装置包括喷洒软管、喷洒头、水泵、抽水管和出水管，所述水仓内壁设有机壳，所述水泵安装在所述机壳内部，所述水泵的输入端设有抽水管，所述...

本技术公开了一种推移式芯片转换器，包括晶舟和可拆卸安装在所述晶下端的晶圆转换组件，所述晶舟的上端面设有向内凹进的收纳仓，所述收纳仓的内壁设有多个隔挡板，所述晶舟的下端面对称设有条形座；所述晶圆转换组件包括安装块，所述安装块的上端面设有向...

本实用新型公开了一种半导体加工用定位器，包括底板，两个所述定位压板上均开设有螺纹孔，两个所述定位压板均与两个所述螺纹杆螺纹连接，通过两个底板上设置的伺服电机，伺服电机带动螺纹杆进行转动，依靠螺纹杆与定位压板螺纹连接，可以使得定位压板进行...

本实用新型公开了一种晶圆倒角设备，其技术要点是：包括壳体，所述壳体的表面上分别安装有L型支架和第一铰接块，所述L型支架上安装有第一伺服电机，所述第一伺服电机的输出轴上焊接有转动板，所述转动板上安装有旋转组件，所述旋转组件上固定安装有支撑...

本实用新型公开了一种晶圆加工用抛光设备，包括工作台，所述工作台的内侧表面焊接有背板，所述背板上设置有压紧驱动机构，所述压紧驱动机构的两侧均连接有移动板，其中一组所述移动板的下表面焊接有支杆，所述支杆的另一端转动连接有第一压紧板，另一组所...

本实用新型公开了一种晶圆激光刻蚀烟雾净化装置，包括底座和水箱，所述底座的上表面固定安装有吸风机，所述吸风机的输入端连通设置有进烟管，所述进烟管的另一端设置有吸烟罩，所述吸风机的输出端连通设置有排烟管，所述排烟管的另一端设置在所述水箱内，...

本实用新型公开了一种半导体加工用定位装置，包括底座，所述底座的上表面中间位置固定设置有放置台，所述底座的上表面四周均设置有四组定位板，四组所述定位板的外表面均通过固定机构连接有推杆，所述推杆的另一端焊接有滑块，所述底座的上表面固定安装有...

本实用新型公开了一种晶圆贴膜装置，其技术要点是：包括箱体，所述箱体的上表面上安装有安装座，所述安装座上安装有第一伺服电机，所述第一伺服电机的输出端上安装有电缸组件，所述电缸组件上安装有导向杆，所述导向杆与所述电缸组件之间安装有弹簧，且下...

本实用新型公开了一种半导体加工用冷却装置，包括底板，所述安装板的底部固定安装有若干个风机，所述底板的侧面固定连接有斜板，通过水箱底部设置的若干个喷头，依靠喷头喷洒冷却水对板形硅片半导体材料进行冷却，依靠收集箱对冷却水进行收集，通过抽水机...

本实用新型公开了一种晶圆烘干装置，包括箱体，所述箱体的一侧开设有出料口，所述出料口的外侧设置有箱门，所述箱体的顶部一侧固定安装有第一伺服电机，所述第一伺服电机的输出端传动连接有丝杆，所述丝杆的两端转动连接在所述箱体内。本实用新型通过将晶...

本实用新型公开了一种晶圆表面处理设备，包括加工箱，所述加工箱内腔固定安装有收集箱，所述加工箱两侧固定安装有夹持机构，所述收集箱上端固定安装有水箱，所述水箱下端设有出水管，所述出水管另一端连接有喷头，所述加工箱上端固定安装有烘干风机，所述...

本实用新型公开了一种晶圆加工用传送装置，其技术要点是：包括传送台，所述传送台的表面上开设有第一安装槽，所述第一安装槽内安装有输送带，所述传送台的一侧表面上开设有两个对称的第二安装槽，所述第二安装槽内安装有移动机构，所述移动机构上安装有两...

本实用新型公开了一种晶圆清洗装置，包括箱体和用于放置晶圆本体的清洗槽，所述箱体的外表面开设有清洗口，所述清洗槽设置在所述清洗口的内侧，所述清洗槽的两侧对称焊接有两组滑块，所述箱体的底部开设有安装槽，所述安装槽内部安装有第一伺服电机，所述...

本实用新型公开了一种晶圆打磨除尘设备，包括打磨箱与集尘箱，所述打磨箱内腔固定安装有伺服电缸，所述伺服电缸输出端固定连接有连接板，所述连接板下端固定安装有伺服电机，所述伺服电机输出端通过联轴器连接有打磨盘，所述打磨箱内腔下端固定安装有支撑...

本实用新型公开了一种晶圆激光划片固定装置,包括固定底座，所述固定底座上固定设置有驱动机构，所述固定底座的上表面设置有滑动机构，所述滑动机构设置有两组，两组所述滑动机构对称设置在所述固定底座的两侧，所述驱动机构与两组所述滑动机构连接，两组...

本实用新型公开了一种晶圆激光打磨调节机构，包括底座，所述底座的一侧安装有第一伺服电机，所述第一伺服电机的输出端连接有第一丝杆，所述第一丝杆上安装有第二伺服电机，所述第二伺服电机的输出端连接有第二丝杆，所述第二丝杆上连接有移动板；所述移动...