本发明提供了一种基于云边协同的汽车零部件智能产线系统及方法，包括多组边缘终端组件及智能云端，每组边缘终端组件均包括多个边缘终端设备及一个边缘端服务器，所述边缘端服务器对应于多个所述边缘终端设备设置，并用于收集多个边缘终端设备的数据、分析...

本技术提供了一种多自由度调平的物料输送装置及非接触式曝光设备，属于光伏行业中电池镀铜的图形化领域，一种多自由度调平的物料输送装置，物料输送装置包括自下而上布置的X向驱动模组、顶升模组、平面内调整模组、调平模组和物料载台；物料载台用于承载...

本技术提供了一种气吸物料载台和多自由度敏捷检测装置，属于高精承载机构和光学检测领域，气吸物料载台包括载台底板、调平组件、吸料板、吸嘴组件和仿形定位组件；吸嘴组件和仿形定位组件设置在吸料板上，用于对物料的吸附及定位，仿形定位组件矩形定位块...

本技术提供了一种非接触式曝光设备，属于光伏行业中电池镀铜的图形化领域，曝光设备包括安装于底架上的掩膜支撑模组、上料模组、曝光光学模组、定位相机模组、测厚模组和控制模组；上料模组用于将产品相对于掩膜支撑模组的调平、传输、定位和调高；定位相...

本发明提供了一种套刻误差量测装置和量测方法，属于半导体检测及加工制造领域，量测装置包括与测控模块电讯连接的运动调整载台、对准单元和光学量测单元；运动调整载台用于支撑和定位设有多个对准标记的晶圆以及对晶圆位置及姿态进行调整；对准单元用于采...

本发明提供了一种基于霍夫变换的套刻误差量测装置和量测方法，属于半导体检测及加工制造领域，测量装备包括粗对准单元、精对准单元、运动调整载台、光学量测单元和测控模块；运动调整载台用于支撑和定位设有多个对准标记的晶圆以及对晶圆姿态进行调整；粗...

本发明提供了一种套刻误差量测装置及套刻误差量测方法，属于半导体检测领域，套刻误差量测装置的光栅干涉测量系统采用不同波长照射对准光栅并优化套刻误测量结果，辅助测量系统基于埋藏在晶圆内对准光栅对脉冲激发的声场或热场进行套刻误差测量；量测方法...

本发明提供了一种掩模版和载物台的兼容检测装置和兼容检测方法，属于半导体检测加工领域，兼容检测装置包括相机组件、掩模版吸附框、掩模版和载物台；相机组件设置在掩模版吸附框上方，掩模版设置在掩模版吸附框处。本申请的相机组件上下占用空间小，景深...

本技术提供了一种能级拓展的下料分选设备，属于硅片分选下料领域，下料分选设备包括安装于下料机架上的多级分片装置、多级料盒模组、下料中轴皮带流线和尾料盒；位于下料中轴皮带流线同侧的多组多级料盒模组中的不同模组的料盒交替接料，同模组多级料盒模...

本发明提供了一种背光载台和激光设备，背光载台包括载台主体和载台顶板，所述背光载台还包括背光组件，背光组件的出射光至少部分的透过所述载台顶板，以此向背光载台上的承载物料提供光照。真空组件用于向载台主体的载台腔抽真空；激光设备，包括升降Z轴...

本发明提供了一种套刻误差的量测装备和套刻误差量测方法，属于半导体检测及加工制造领域，测量装备包括粗对准单元、精对准单元、运动载台、测量单元和控制模块；晶圆设有多个对准标记，粗对准单元和精对准单元对晶圆进行粗对准和精对准，运动载台和/或测...

本发明提供了一种基于光学成像的对准系统和套刻误差量测设备，属于半导体检测及加工制造领域，对准系统包括对准光源、匀光镜组、照明反射镜、半透半反镜、成像反射镜、成像镜组和图像采集单元；套刻误差量测设备包括采用前述对准系统的粗对准单元和精对准...

本技术提供了一种自带圆周定位的载台装置，属于半导体晶圆用载物台领域，载台装置包括载台底座、载台底脚、载台上座、载台主轴和晶圆载盘，载台装置还包括一个圆周定位模块；其中，载台底脚采用气浮地脚；载台底座通过多个载台底脚被浮动地支撑；载台上座...

本发明提供了一种曝光标定板和曝光机，属于标定领域，一种曝光标定板，包括左侧的标定mark部和右侧的透明曝光mark部，标定mark部包括第一空白缓冲区、标定组合mark区和第二空白缓冲区，透明曝光mark部包括板边区、曝光mark预留区...

本技术提供了一种硅片整叠检测系统，属于硅片检测领域，系统包括主流线、端面相机模块、倒角相机、顶升旋转机构、顶升分流机构、分料流线和暂存站；申请根据工业相机采集整叠硅片的四个端面、四个倒角图像，视觉判定结果可控制整叠料是否流入塑封机进行塑...

本发明提供了一种尺寸自适应的板材双面曝光设备及双面曝光方法，属于板材曝光领域，板材双面曝光设备包括第一上下料站、第一搬运模组、曝光站、第二搬运模组、第二上下料站；在所述第一搬运模组和第二搬运模组之间设置翻转模组和翻转对接模组；在第一搬运...

本发明提供了一种叠片位自动单独排废的切叠一体机，属于电池叠片领域，切叠一体机包括极片运输线一、机械手模组、极片运输线二、负极纠偏台、正极纠偏台、排废盒、叠片台、压刀、监测相机和控制器；控制器基于实际位置和管控值判定极片质量，临近负极纠偏...

本发明提供了一种照明成像定位装置，属于视觉定位领域，装置包括条光组件、相机镜头组件、条光安装顶板、条光旋转转接立板、转接横轨、相机转接横梁和相机安装立板；通过本装置，可以提供一种与下方料仓相匹配的照明光源，保证了下方取放料时视觉辅助定位...

本发明提供了一种基于Transformer的电极双面缺陷检测方法和检测装置，属于动力电池的图像检测领域，电极双面缺陷检测方法包括：图像采集并预处理，定义缺陷类别并对图像标注、图像划分、构建Transformer缺陷分割网络模型、模型训练...

本发明提供了一种曝光装置及标定方法,属于光刻及标定领域，曝光装置的曝光站包括移动载台、曝光头、多个标定板、上相机组件、下相机组件；标定板设置在移动载台的外周处；曝光头和上相机组件设置在移动载台的上方，下相机组件设置在移动载台的下方并可在...