本发明提供了一种硬板转运机构和曝光机，属于PCB上下料及加工领域，硬板转运机构，包括顶置的空间移载机构和底部的输送辊筒流线，空间移载机构的拾取面积可调，输送辊筒流线包括多组从上料侧向另一侧滚动的辊筒输送模组。本申请实现自动线左进/右进通...

本发明提供了一种硅片花篮翻转转运装置，属于硅片加工领域，包括翻转机构、传输机构和阻挡机构；翻转机构设置在传输机构的一端，用于翻转花篮；传输机构水平布置，用于水平传送花篮；阻挡机构设置在传输机构的传输线上，用于花篮传输的阻挡控制。本申请采...

本发明公开了基于行业大数据模型驱动智能化制造的工业平台和方法，包括系统配置单元、采集存储单元、业务监控单元、行业大数据单元和决策分析单元；所述系统配置单元用于完成工厂建模、工艺流程建模、产品建模，并为采集存储单元、业务监控单元、行业大数...

本发明公开了一种可拆卸的螺杆防脱结构及其装拆方法，包括螺杆，其端部设置球头，球头配装至气垫顶面的内凹球形结构中；位于内凹球形结构周向外部的气垫顶面内凹形成凹槽，凹槽内嵌装防脱环，防脱环从周向将螺杆箍住；防脱环上开设内外贯穿的开口，位于开...

本发明提供了一种基于云边协同的汽车零部件智能产线系统及方法，包括多组边缘终端组件及智能云端，每组边缘终端组件均包括多个边缘终端设备及一个边缘端服务器，所述边缘端服务器对应于多个所述边缘终端设备设置，并用于收集多个边缘终端设备的数据、分析...

本技术提供了一种多自由度调平的物料输送装置及非接触式曝光设备，属于光伏行业中电池镀铜的图形化领域，一种多自由度调平的物料输送装置，物料输送装置包括自下而上布置的X向驱动模组、顶升模组、平面内调整模组、调平模组和物料载台；物料载台用于承载...

本技术提供了一种气吸物料载台和多自由度敏捷检测装置，属于高精承载机构和光学检测领域，气吸物料载台包括载台底板、调平组件、吸料板、吸嘴组件和仿形定位组件；吸嘴组件和仿形定位组件设置在吸料板上，用于对物料的吸附及定位，仿形定位组件矩形定位块...

本技术提供了一种非接触式曝光设备，属于光伏行业中电池镀铜的图形化领域，曝光设备包括安装于底架上的掩膜支撑模组、上料模组、曝光光学模组、定位相机模组、测厚模组和控制模组；上料模组用于将产品相对于掩膜支撑模组的调平、传输、定位和调高；定位相...

本发明提供了一种套刻误差量测装置和量测方法，属于半导体检测及加工制造领域，量测装置包括与测控模块电讯连接的运动调整载台、对准单元和光学量测单元；运动调整载台用于支撑和定位设有多个对准标记的晶圆以及对晶圆位置及姿态进行调整；对准单元用于采...

本发明提供了一种基于霍夫变换的套刻误差量测装置和量测方法，属于半导体检测及加工制造领域，测量装备包括粗对准单元、精对准单元、运动调整载台、光学量测单元和测控模块；运动调整载台用于支撑和定位设有多个对准标记的晶圆以及对晶圆姿态进行调整；粗...

本发明提供了一种套刻误差量测装置及套刻误差量测方法，属于半导体检测领域，套刻误差量测装置的光栅干涉测量系统采用不同波长照射对准光栅并优化套刻误测量结果，辅助测量系统基于埋藏在晶圆内对准光栅对脉冲激发的声场或热场进行套刻误差测量；量测方法...

本发明提供了一种掩模版和载物台的兼容检测装置和兼容检测方法，属于半导体检测加工领域，兼容检测装置包括相机组件、掩模版吸附框、掩模版和载物台；相机组件设置在掩模版吸附框上方，掩模版设置在掩模版吸附框处。本申请的相机组件上下占用空间小，景深...

本技术提供了一种能级拓展的下料分选设备，属于硅片分选下料领域，下料分选设备包括安装于下料机架上的多级分片装置、多级料盒模组、下料中轴皮带流线和尾料盒；位于下料中轴皮带流线同侧的多组多级料盒模组中的不同模组的料盒交替接料，同模组多级料盒模...

本发明提供了一种背光载台和激光设备，背光载台包括载台主体和载台顶板，所述背光载台还包括背光组件，背光组件的出射光至少部分的透过所述载台顶板，以此向背光载台上的承载物料提供光照。真空组件用于向载台主体的载台腔抽真空；激光设备，包括升降Z轴...

本发明提供了一种套刻误差的量测装备和套刻误差量测方法，属于半导体检测及加工制造领域，测量装备包括粗对准单元、精对准单元、运动载台、测量单元和控制模块；晶圆设有多个对准标记，粗对准单元和精对准单元对晶圆进行粗对准和精对准，运动载台和/或测...

本发明提供了一种基于光学成像的对准系统和套刻误差量测设备，属于半导体检测及加工制造领域，对准系统包括对准光源、匀光镜组、照明反射镜、半透半反镜、成像反射镜、成像镜组和图像采集单元；套刻误差量测设备包括采用前述对准系统的粗对准单元和精对准...

本技术提供了一种自带圆周定位的载台装置，属于半导体晶圆用载物台领域，载台装置包括载台底座、载台底脚、载台上座、载台主轴和晶圆载盘，载台装置还包括一个圆周定位模块；其中，载台底脚采用气浮地脚；载台底座通过多个载台底脚被浮动地支撑；载台上座...

本发明提供了一种曝光标定板和曝光机，属于标定领域，一种曝光标定板，包括左侧的标定mark部和右侧的透明曝光mark部，标定mark部包括第一空白缓冲区、标定组合mark区和第二空白缓冲区，透明曝光mark部包括板边区、曝光mark预留区...

本技术提供了一种硅片整叠检测系统，属于硅片检测领域，系统包括主流线、端面相机模块、倒角相机、顶升旋转机构、顶升分流机构、分料流线和暂存站；申请根据工业相机采集整叠硅片的四个端面、四个倒角图像，视觉判定结果可控制整叠料是否流入塑封机进行塑...

本发明提供了一种尺寸自适应的板材双面曝光设备及双面曝光方法，属于板材曝光领域，板材双面曝光设备包括第一上下料站、第一搬运模组、曝光站、第二搬运模组、第二上下料站；在所述第一搬运模组和第二搬运模组之间设置翻转模组和翻转对接模组；在第一搬运...