本发明公开了一种晶元化学干燥设备，涉及半导体器件制造技术领域，包括处理箱和提篮，所述处理箱的顶部安装有升降组件，所述提篮固定安装于所述升降组件，所述处理箱的底部固定安装有加热机构，所述加热机构的上方固定安装有干燥箱，所述干燥箱内固定安装...

本实用新型公开了一种用于液体的石英在线加热装置，包括箱体，所述箱体内设有间隙储存液体的石英罐，所述箱体的顶部设有连接于石英罐的出水管道，所述箱体的底部设有连接于所述石英罐的进水管道；所述石英罐的一侧设有多个独立的贯穿槽，所述贯穿槽内卡接...

本实用新型公开了一种用于晶圆搬运的自动倒片机，包括工作台和连接于工作台的升降组件，升降组件设有三组且包括一号组件、二号组件和三号组件，一号组件、二号组件和三号组件阵列式连接于工作台；工作台上连接有配合一号组件、二号组件或三号组件使用且用...

本实用新型公开了一种用于花篮搬运的夹持机构，包括底座，底座的端部对称式连接有两旋转轴组件，两旋转轴组件之间设有连接于底座的连接组件和驱动件，驱动件连接于连接组件，连接组件连接于两旋转轴组件之间；旋转轴组件包括传动轴和连接于传动轴表面的套...

本实用新型公开了一种用于清洗半导体圆晶的清洗槽，包括清洗槽本体，所述清洗槽本体的内部由矩形溢流板分隔成内清洗槽和外清洗槽；所述外清洗槽设有循环水出水口，所述循环水出水口与所述循环管连通；所述内清洗槽设有循环水进水口、废液排出口以及喷淋管...

本实用新型公开了一种半导体圆晶清洗设备，包括机架，所述机架由干湿隔断门分隔成湿式清洗区和干式清洗区；所述湿式清洗区包括化学试剂清洗室、纯水清洗室、用于运输花篮的湿式机械手和用于清洗湿式机械手的机械手清洗室；所述干式清洗区包括圆晶甩干室、...

本实用新型公开了一种半导体圆晶清洗机的自动翻盖机构，包括清洗槽、盖板以及驱动所述盖板开合的驱动结构；所述驱动结构包括注水壳体、活塞杆、传动轴和连杆，所述注水壳体的一端与所述清洗槽固定连接，所述活塞杆的一端从所述注水壳体的另一端穿设于所述...

本实用新型公开了一种半导体元件用干冰清洗设备，包括设备架体，安装在所述设备架体上的干冰发生机构、干冰喷射机构、干冰净化机构和清洗室；所述干冰发生机构包括液态二氧化碳存储罐和干冰发生器；所述干冰喷射机构包括用于安装干冰喷嘴的干冰喷头座和驱...

本实用新型公开了一种高低浓度废液排放装置，包括第一侧壳体、第二侧壳体和中心壳体；所述中心壳体开设有进液口、第一出液口和第二出液口，所述中心壳体的内部具有三通切换结构，所述进液口通过所述三通切换结构与所述第一出液口连通形成低浓度废液排放通...

本实用新型公开了一种半自动清洗机的取料机构，包括第一取料杆、第二取料杆以及驱动所述第一取料杆和所述第二取料杆同时相对/相反方向转动的转动结构；所述转动结构包括电机、第一转动块、第二转动块和连杆，所述第一转动块与所述第一取料杆连接，所述第...

本发明公开了一种半导体元件用干冰清洗设备，包括设备架体，安装在所述设备架体上的干冰发生机构、干冰喷射机构、干冰净化机构和清洗室；所述干冰发生机构包括液态二氧化碳存储罐和干冰发生器；所述干冰喷射机构包括用于安装干冰喷嘴的干冰喷头座和驱动所...

本发明公开了一种半导体圆晶清洗设备，包括机架，所述机架由干湿隔断门分隔成湿式清洗区和干式清洗区；所述湿式清洗区包括化学试剂清洗室、纯水清洗室、用于运输花篮的湿式机械手和用于清洗湿式机械手的机械手清洗室；所述干式清洗区包括圆晶甩干室、圆晶...

本实用新型公开了一种可调节的光学薄膜清洗设备，包括支架，所述支架的两侧侧壁之间滑动连接有滑杆，所述支架和滑杆上均固定连接有一组拉紧机构，所述支架的两侧均滑动连接有冲洗盒，所述支架上转动连接有往复丝杠，且往复丝杠上螺纹连接有螺纹块，所述往...

本实用新型公开了一种基于新能源产业的废旧硅片回收用清洗装置，包括安装箱、移动单元、冲洗单元和风干单元，所述安装箱的上侧面上开设有开口，所述安装箱的上侧面上固定有两个相对应的支撑板，所述移动单元包含转轴、电机、齿轮和齿带，所述安装箱的后侧...

本实用新型公开了一种半导体晶圆湿法清洗的治具，包括安装板，所述安装板上固定连接有电机，所述电机的输出轴末端固定连接有螺纹杆，所述螺纹杆的外侧壁螺纹连接有滑块，所述滑块的外侧壁滑动连接有矩形框，所述矩形框的外侧壁套设有套筒，所述套筒的外侧...

本实用新型公开了一种太阳能电池片的自动清洗装置，包括清洗装置本体、第一电机、第二电机、第一伸缩气缸、第三电机、第二伸缩气缸和第四电机，所述清洗装置本体的右侧底端固定连接有第一电机，且第一电机的右侧顶端固定连接有驱动轮，所述清洗装置本体的...

本实用新型公开了一种半导体晶片清洗设备，包括两个水平设置的固定框体，两个所述固定框体之间固定连接有多根竖直设置的连接柱，两个所述固定框体关于连接柱中部的水平对称设置，所述固定框体两相互靠近的内侧壁上转动连接有多个且均匀分布的卡位件，所述...