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苏州华楷微电子有限公司专利技术
苏州华楷微电子有限公司共有7项专利
一种新型硅片甩干机制造技术
本实用新型公开了一种新型硅片甩干机,包括壳体,壳体的前端设置有控制钮,壳体的上端设置有密封盖,壳体的内部设置有用来转动硅片用的转动构件,转动构件的一端固定连接有承接硅片用的盒体固定件,盒体固定件的下端连接有保证盒体固定件转动稳定性的支撑...
一种新型硅片甩干机制造技术
本发明公开了一种新型硅片甩干机,包括壳体,壳体的前端设置有控制钮,壳体的上端设置有密封盖,壳体的内部设置有用来转动硅片用的转动构件,转动构件的一端固定连接有承接硅片用的盒体固定件,盒体固定件的下端连接有保证盒体固定件转动稳定性的支撑件,...
一种公转式半导体蒸发台制造技术
本实用新型公开了一种公转式半导体蒸发台,包括下壳体和上盖,下壳体的内壁上旋转安装有旋转环,该旋转环由旋转动力装置驱动,旋转环上圆周均布若干个载片盖,载片盖的工作面上固定有若干个圆片,载片盖通过自转轴转动安装于固定座上,该固定座通过自锁结...
一种碳化硅片的检测装置制造方法及图纸
本实用新型公开了一种碳化硅片的检测装置,包括滑动安装于机架上的升降座,该升降座由升降动力装置驱动,该升降座上设置有安装板,该安装板上设置有若干各个等间距且平行设置的片材PCB板,位于片材PCB板的外侧设置有花篮PCB板,相邻的片材PCB...
一种公转式半导体蒸发台的蒸发方法技术
本发明公开了一种公转式半导体蒸发台的蒸发方法,S1、设备的前期准备:S11、提供一种公转式蒸发台;S12、启动抽真空装置对蒸发腔内抽真空;S2、取料臂偏转将一个载片盖从旋转环上取下;S3、取料臂偏摆90°使载片盖移动到蒸发工位上;S4、...
一种公转式半导体蒸发台制造技术
本发明公开了一种公转式半导体蒸发台,包括下壳体和上盖,下壳体的内壁上旋转安装有旋转环,该旋转环由旋转动力装置驱动,旋转环上圆周均布若干个载片盖,载片盖的工作面上固定有若干个圆片,载片盖通过自转轴转动安装于固定座上,该固定座通过自锁结构安...
一种碳化硅片的检测装置及检测方法制造方法及图纸
本发明公开了一种碳化硅片的检测装置,包括滑动安装于机架上的升降座,该升降座由升降动力装置驱动,该升降座上设置有安装板,该安装板上设置有若干各个等间距且平行设置的片材PCB板,位于片材PCB板的外侧设置有花篮PCB板,相邻的片材PCB板之...
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