本发明属于半导体加工技术领域，且公开了一种多尺寸半导体干燥装置，包括箱体、密封门，所述箱体内壁的底部安装有电机一，所述箱体的顶部安装有伸缩杆，所述伸缩杆的伸缩端固定安装有电机二，所述电机一的输出端固定安装有支撑盘，所述支撑盘的顶部开设有...

本申请涉及的用于化学液供应系统的软管的整形装置，包括具有口和出口的箱体、设置在箱体内的加热机构、设置在箱体内且具有若干供软管穿过的通道的校直机构、与校直机构连接以调整通道的尺寸的第一调整机构、及与校直机构连接的第二调整机构，若干通道的尺...

本技术涉及一种用于化学液供应系统的PFA软管的直度检测装置，与PFA软管切断机构对接，包括：滚筒输送机构，其包括多个等间距分布的滚筒，所述滚筒由第一输送辊和第二输送辊组成，所述第一输送辊上套有与其焊接连接的第一限位环，所述第二输送辊上套...

本发明属于半导体技术领域，且公开了一种晶圆翘曲度的测量装置，包括外壳，外壳的顶部固定连接有上柱体套，上柱体套的内部固定安装有上控制磁线圈，其上柱体套的的内壁转动安装有转动套，转动套的内壁前后均固定连接有限位板。本发明通过转动油壳使环形套...

本技术涉及一种用于化学液供应系统的PFA软管的冷却装置，包括，竖向校直机构，其包括一组竖向校直辊，以及用于驱动竖向校直辊移动的第一驱动机构；横向校直机构，其包括一组横向校直辊，以及用于驱动横向校直辊移动的第二驱动结构；冷却机构，其包括进...

本技术提供了一种用于化学液供应系统的PFA软管的切断装置，与冷却箱对接，包括，输送机构，其包括计米轮和输送轮，以及与计米轮相配合的第一调节轮，切断机构，其包括对称设置的上夹紧板和下夹紧板，以及与上夹紧板贴合的切刀，与下夹紧板贴合的竖板，...

本申请涉及的一种用于化学液供应系统的软管的送料装置包括至少一个辅助校正机构和压直输送机构，软管经过辅助校正机构对准进入压直输送机构；压直输送机构包括架体、第一输送结构及第二输送结构，第一输送结构和第二输送结构相对设置并形成输送软管的通道...

本发明属于聚集过滤技术领域，且公开了一种半导体用化学品过滤装置，包括底座，转动环底座的顶部固定安装有外壳，还包括聚尘清洁机构，转动环聚尘清洁机构包括过滤装置，转动环过滤装置固定安装在外壳的内部，转动环过滤装置的右侧固定安装有负压装置，转...

本申请公开了一种端子排检测设备，包括：工作台，具有检测台；机械臂抓取待测端子排并将待测端子排移动至检测台；识别总成设置在检测台的一侧，获取被机械臂抓取的待测端子排的图片结果；定位总成设置在检测台，定位总成将待测端子排固定在检测台；检测总...

本申请涉及一种储液桶全自动充填装置及控制方法，其通过在传送线的滚筒下方设置定位机构，利用定位机构抵持在储液桶的底部，并根据识别机构计算的偏差角度控制储液桶进行旋转以调整桶口位置，从而使储液桶与充填机构匹配，实现了自动化充填药液过程，避免...

本申请涉及一种通用端子排的检测系统，其通过可编程控制器控制功能检测模块和耐压检测模块对通用端子排分别进行功能测试和耐压测试，相比于现有技术，本申请在测试时，仅需要检测人员将通用端子排安装固定在检测治具上，可编程控制器控制功能检测模块或耐...

本发明涉及一种半导体制程腔体化学液回收控制装置，包括外壳，外壳下方装有化学液分流机构，化学液分流箱顶部的进液口与外壳内部连通，化学液分流箱内装设有化学液分流板，化学液分流箱外侧安装有化学液分流调整电机，化学液分流板安装于化学液分流调整电...

本发明涉及一种用于

本发明涉及一种半导体晶圆清洗机摆臂机构，包括电机座，电机座上固定连接有机器人关节，机器人关节内部配置有谐波减速器，机器人关节的旋转芯轴上固定有主轴，主轴顶端固定有悬臂固定座，悬臂固定座上固定有管件；电机座下方设有气缸，并与气缸的活塞端相...

本发明涉及一种用于化学液供应系统的管料放料张紧装置及控制方法，该管料放料张紧装置包括放料机构

本发明涉及一种用于半导体设备中的泵与槽直连法兰结构，包括法兰本体，法兰本体直接连接于泵的进液口与槽体之间；法兰本体底端设有阶梯台阶，阶梯台阶上安装有二级密封圈，法兰本体带有阶梯台阶的一侧与泵的进液口端面相连，法兰本体与泵之间通过沉头螺栓...

本发明涉及

本发明涉及一种用于化学供应液系统的管料校直切断装置及控制方法，该管料校直切断装置包括加热校直机构和管料检测机构

本申请提供的一种自动对接系统及对接方法，其自动对接系统通过设置三个分别供应电力资源

本发明涉及一种用于晶圆刷洗的同步旋转升降真空主轴系统，包括大口径毛刷托盘、真空旋转气道、晶圆升降机构和托盘旋转主轴；托盘旋转主轴带动真空旋转气道轴同步旋转，真空旋转气道轴带动安装在其顶部的晶圆升降顶针随着大口径毛刷托盘同步旋转；晶圆升降...