用于在基板上沉积原子层的注入头，包括与连接单元相连的多个条状物。所述条状物具有带有间隔区异形部的、分别与邻近的条状物的侧壁相堆叠以形成多个堆叠的条状物的侧壁。所述条状物包括在条状物的整个长度上延伸的狭槽，所述狭槽与连接单元上相应的狭槽连...

本发明涉及使用包括注入头装置的设备来生产层叠基材，并且包括以下步骤：提供包括气体承载压力器件的注入头装置，以及从气体承载压力器件朝向相对的基材表面注入承载气体，以在注入头装置中在输送平面内使基材无支撑地平衡。重复进行以下步骤：分别使得来...