本发明的手术用披锋刀的控制方法及控制装置可通过比较简单的结构实时监视给患者留下不可逆损伤的大颤及微颤，并同时防止大颤及微颤。

本发明涉及一种薄膜沉积装置，本发明的薄膜沉积装置的特征在于，包括：腔室，其形成有内部空间，在形成上表面的遮断膜的一区域中形成有供沉积对象基板配设的开口部；原料供应部，其在所述腔室的内部空间内移动的同时向所述遮断膜提供沉积原料；及原料收集...

本发明涉及基板旋转对准装置，本发明的基板旋转对准装置为在沉积工艺中在掩模上对准基板的装置，包括：连接柱，与用于安装所述基板的安装部连接；旋转载物台，设置为圆形，用于固定所述连接柱，在外周面上交替形成有向内侧凹陷的凹陷部和向外侧凸出的凸出...

本发明涉及厚度检测装置，本发明的厚度检测装置利用反射光度计(Reflectometer)，其特征在于包括：光源，用于发射光；滤光部，接收从所述光源发射的光后，相对于不同的多个频率选择性地透射所述光而调制为具有强度分布的光，并能调节所述具...

本发明涉及一种能够检测颜色信息的三维形状检测装置，该装置利用干涉光对检测对象的形状进行检测，其特征在于，包括：光源，用于发射光线；光线分割器，用于对从所述光源发射的光线进行反射或对通过检测对象反射的光线进行透射；透镜部，用于使通过所述光...

本发明涉及一种有机发光二极管封装工艺用沉积装置，本发明的有机发光二极管封装工艺用沉积装置，对配置在腔室部内的有机发光二极管基板沉积原料而进行封装(encapsulating)，其特征在于，包括：多个流动部，配置在所述腔室部内，内部形成有...

本发明涉及一种具有防破损功能的基板处理系统，本发明的具有防破损功能的基板处理系统包含：流体罐，可储存流体；腔室，提供从所述流体罐接收流体而处理基板的空间；管道，将所述流体罐与所述腔室彼此连接，从而使所述流体能够流动；和防破损部，应对所述...

本发明涉及一种能够形成图案的沉积装置，本发明的能够形成图案的沉积装置，其为用于在基板上沉积原料的装置，其特征在于，进一步包括：喷嘴部，形成有喷射口，用于向所述基板侧喷射原料；快门部，用于选择性地开闭喷嘴部的喷射口，从而选择性地喷射所述原...

本发明涉及一种具备反射电子检测功能的扫描电子显微镜，本发明的具备反射电子检测功能的扫描电子显微镜将从光源产生的原电子(Primary Electron)射入试样，并且检测在所述原电子射入后从试样发射的发射电子，其特征在于，包括：维恩速度...

本发明涉及扫描电子显微镜及利用它的原电子及次级电子电流量的检测方法，扫描电子显微镜的特征在于包括：镜筒，在内部形成有收容空间；源头，设置在所述镜筒的内部，用于向所述镜筒的外部的试样产生带电的原电子；过滤器，在所述镜筒的内部设置在所述源头...

本发明公开了一种利用数字光学技术的厚度检测装置及其方法。本发明的利用数字光学技术的厚度检测装置及其方法，包括：光源，用于放射光线；光分束器，用于反射从光源放射的光线或者通过被检测对象反射的光线；透镜部，用于将被光分束器反射的光线汇聚到检...

本发明涉及一种利用倾斜驱动的闸门阀，本发明的利用倾斜驱动的闸门阀，用于开闭设置于腔室的开口部，其特征在于，包括：闸门，沿着与上述开口部的表面平行的第一轴或与上述开口部的表面垂直的第二轴中的任一轴移动，以与上述腔室的外壁接触或解除接触来开...

本发明提供真空保持阀门及利用该装置的扫描电子显微镜。本发明的真空保持阀门通过密封形成在腔室上的开口部，将腔室内部保持真空，其特征在于，包括：主体部，从外部接收动力而沿着腔室的壁面进行并进运动；止挡部，位于腔室上，具备旋转辊；阀门部，在与...

本发明涉及一种TSV检测用干涉仪以及利用该干涉仪的检测方法，本发明的TSV检测用干涉仪在检测TSV时，利用可变视场光阑检测TSV的直径及深度，从而能够缩短检测时间，并且减少结果数据容量，其中可变视场光阑将光线的焦点调节到TSV的入口和底...

本发明涉及影像对中方法，包括：登录阶段，用第一倍率光学系拍摄检测对象后在拍摄到的第一倍率图像中设定欲寻找的检测区域位置并登录为原型图像；拍摄阶段，用倍率比第一倍率高的第二倍率光学系按规定顺序拍摄检测对象而获得目标图像；缩小阶段，将在拍摄...

本发明涉及一种三维形貌检测方法。该方法用于检测被检测体，所述被检测体具备基板和配置在所述基板上的焊锡球，其特征是包括：中心部确定步骤，获得焊锡球的图像后确定焊锡球的中心部；图像获得步骤，在被检测体上形成正弦波图纹，并获得同时包括基板上面...

本发明涉及视觉检测系统及利用该系统的坐标转换方法。该系统包括：工作台，支撑被检测体；台架，使工作台在Y轴方向上直线往复运动；多个摄像机，为了获得被检测体或工作台的图像，沿X轴方向相隔配置，其中包括：多个第一标记，沿着与Y轴交叉的X轴方向...

本发明涉及反射度分布曲线建模方法及应用该方法的厚度检测方法、厚度检测反射仪。所述建模方法针对规定厚度的薄膜层建模基于光线波长变化的薄膜层的反射度分布，包括：反射度分布曲线制作步骤，制作用于表示基于光线波长而变化的薄膜层反射度分布的反射度...