本实用新型公开了一种MEMS双轴加速度计，所述加速度计由下到上依次包括：基片、绝缘层、敏感器件层；敏感器件层包括：固定框架、折叠梁、敏感质量块、梳齿组合、锚点；其中，固定框架通过绝缘层固定在基片上，敏感质量块的4个端角分别设有一对折叠梁...

本实用新型公开了一种低温漂基准源电路，所述低温漂基准源电路包括：带隙电压产生核心电路1、负温度系数电流产生电路2、补偿电流产生电路3、启动电路4，补偿电流产生电路3中设有分段电流选择电路5，实现了能够精确补偿带隙电压高阶特性，产生温度系...

本发明公开了一种高阶温度补偿的低温漂基准源电路，所述低温漂基准源电路包括：带隙电压产生核心电路1、负温度系数电流产生电路2、补偿电流产生电路3、启动电路4，补偿电流产生电路3中设有分段电流选择电路5，实现了能够精确补偿带隙电压高阶特性，...

本发明公开了一种电容式MEMS双轴加速度计，所述加速度计由下到上依次包括：基片、绝缘层、敏感器件层；敏感器件层包括：固定框架、折叠梁、敏感质量块、梳齿组合、锚点；其中，固定框架通过绝缘层固定在基片上，敏感质量块的4个端角分别设有一对折叠...

本发明公开了一种新型微机械陀螺仪正交误差补偿结构，补偿结构位于质量块(7)内部空腔中，所述补偿结构包括：动齿(2)、动齿(4)、动齿(5)、动齿(7)、定齿(3)、定齿(6)、连接件(10)；实现了结构设计合理，简单的实现了补偿正交误差...

本发明公开了一种微机械陀螺仪正交误差补偿结构，所述补偿结构包括：2个梳齿结构，梳齿结构包括：定齿、定齿、动齿、连接件，其中，定齿与动齿之间加载有直流电压VDC，实现了结构设计合理，简单的实现了补偿正交误差的技术效果。