本发明公开了一种检波器的性能检测方法及装置。该方法包括：计算输入到至少一个检波器的参考信号的自谱密度；计算至少一个检波器的输出信号的自谱密度；计算参考信号和输出信号的交叉谱密度；根据参考信号的自谱密度、输出信号的自谱密度和交叉谱密度获取...

本发明提供一种电容式ＭＥＭＳ加速度传感器、该加速度传感器的制作方法以及由该加速度传感器组成的加速度传感器组件。该电容式ＭＥＭＳ加速度传感器包括：具有一个上部和一个下部的扭矩弹簧－质量块支撑结构、键合在所述扭矩弹簧－质量块支撑结构上部的上...

本发明涉及一个微机械加工的器件，微涡卷压缩机装配件含动涡卷和定涡卷，完整的内置微马达驱动动涡卷，由静电力侧面驱动。微器件的加工方法。该微装置可以用作为微步进马达，也可用作为生物传感器。

本发明涉及微涡卷叶片及微涡卷基板的制造方法，微涡卷叶片的制造方法包括如下步骤：ａ．ＳＯＩ硅片作为起始材料；ｂ．各向异性的刻蚀硅片形成曲线和涡卷叶片；ｃ．刻蚀在硅的二氧化硅层停止。微涡卷基板的制造方法包括如下步骤：ａ．ＳＯＩ硅片作为起始材...

本发明涉及微定涡卷叶片（涡卷壁）内制造电极的方法，包括如下步骤：ａ．ＳＯＩ硅片作为出发材料，和；ｂ．各向异性的从反面刻蚀，并停留在二氧化硅层；ｃ．各向异性的刻蚀二氧化硅层；ｄ．各向异性硅刻蚀到指定深度形成深洞；ｅ．洞里绝缘层等厚度沉积，...