本发明实施例公开了一种缺陷检测模型确定方法及其装置、一种缺陷检测方法和存储介质。缺陷检测模型确定方法包括：获取多个缺陷图像集；响应于多个缺陷图像集中的目标缺陷图像集的缺陷图像数量不等于缺陷图像数量阈值，对目标缺陷图像集进行缺陷图像数据增...

本申请公开了一种对准系统及方法，可应用于半导体技术领域，其中系统包括：设备前端模块和制程模块；设备前端模块包括机械手臂、第一预对准装置以及第二预对准装置；在取片时，机械手臂用于将晶圆从晶圆盒搬运至第一预对准装置，将托盘从托盘盒搬运至第二...

一种检测设备，包括机台、布置于机台的检测区内的检测装置和移载装置以及横跨机台的检测区与拣料区布置的第一输送装置、第二输送装置和第三输送装置；拣料区内定义有第一上料位、第一下料位和第二下料位，检测区内定义有检测位、第一移载位和第二移载位；...

本申请提供了一种检测设备的对准方法以及检测设备，该对准方法包括以下步骤：使用机械对准模块对待测物进行粗对准，使待测物表面的对准标记位于光学对准模块的视场中；在粗对准之后，使用光学对准模块对待测物进行精对准，使待测物处于预定位置。本申请在...

本发明涉及光源调节，特别涉及一种调节装置及光学检测装置。一种调节装置，包括：基座；以及平移调节组件，平移调节组件包括平移底座和第一光学元件；平移底座被配置为以平移方式在基座上活动，第一光学元件设于平移底座上；第一光学元件沿平移底座的平移...

本申请实施例公开了检测系统，用于消除泵浦光噪声的影响，对样品进行准确检测。本申请实施例方法包括：光源组件，用于发出探测光以及泵浦光；第一分光组件，用于接收泵浦光并将泵浦光分为泵浦信号光以及泵浦参考光，泵浦信号光用于诱发样品的光学特性变化...

本申请公开了一种光学装置倾斜测试的系统及方法，可应用于光学技术领域，其中系统包括：测试组件，测试组件包括自准直仪和导向组件；自准直仪用于发射初始光束和采集反射光束；导向组件设于初始光束的光路上，用于引导初始光束以特定角度入射至待测物形成...

一种成像补偿方法、成像补偿装置以及存储介质，方法包括沿第一预设方向，获取待测件的至少一幅检测图像，第一预设方向平行于扫描工作台的扫描坐标系中的第一坐标轴；待测件的表面对应具有第一坐标系，待测件的表面具有多个沿第一坐标系的第三坐标轴阵列分...

本申请公开了一种干涉系统，该干涉系统包括基准座、测量物镜、分光棱镜、第一调节组件、参考物镜、第二调节组件、反射镜安装座、参考反射镜和第三调节组件。测量物镜连接于基准座，分光棱镜活动设置于基准座内。第二调节组件活动设置于基准座，第二调节组...

本申请公开了一种干涉系统，该干涉系统包括基准座、测量物镜、分光棱镜、第一调节组件、参考物镜、第二调节组件、反射镜安装座、参考反射镜和第三调节组件。第二调节组件包括物镜转动调节件，参考物镜连接于物镜转动调节件，物镜转动调节件具有至少两个调...

本发明涉及零部件位移的调节，具体涉及一种位移调节装置及可调节承载系统。位移调节装置包括：固定件和被调节件；以及驱动件，驱动件包括杆体部和驱动部，驱动部支撑在被调节件远离固定件的一侧，驱动部用于对被调节件施加驱动力以相对固定件进行位移；杆...

本申请提供了一种缺陷来源分析方法、装置、设备和介质，所述缺陷来源分析方法包括：在需要对当前工艺层中的目标缺陷进行缺陷来源分析时，先根据目标缺陷的位置数据和误差容忍度的大小确定疑似缺陷区域，再确定待匹配前层缺陷中是否存在落入所述疑似缺陷区...

本技术公开光学器件调整装置，包括光学器件和调整单元，光学器件具有出射光束的光轴，光轴被配置为坐标系的x方向，调整单元包括调整板、第一调整组件和第二调整组件，光学器件活动设于调整板的上板面，第一调整组件和第二调整组件均设置于调整板；第一调...

本技术公开一种压边装置，包括固定架、第一升降驱动件、第二升降驱动件、第三升降驱动件、第一压边件、第二压边件、第三压边件和控制器，控制器与第一升降驱动件、第二升降驱动件和第三升降驱动件信号连接，控制器被配置为控制第一升降驱动件驱动第一压边...

一种检测方法、系统、终端设备以及存储介质，检测方法包括：对待测件的第一表面进行照明；获取第一表面的第一图像、第二表面的第二图像以及侧面的第三信号；第一表面与第二表面为相对的两个表面；第三信号为待测件的侧面反射的散射光产生的光信号；根据第...

本发明涉及检测技术领域，具体涉及装夹装置、检测设备、装夹方法及检测方法。装夹装置的承载转盘用于带动待测物转动，在被测物安装在承载转盘上时，通过装夹装置的多个夹爪能够使待测物相对承载转盘运动，对被测物的位置进行调节，直到待测物的中心与承载...

一种图像处理方法及系统、设备和存储介质，图像对处理方法，其中，图像处理方法，包括：获取待测物的待测图像和模板图像，所述待测物包括多个周期性排列的待测单元；根据待测图像与模板图像的初始相对位置获取采样位置，并对处于采样位置处的待测图像和模...

本申请公开了一种操作方法、控制器、执行器及电子设备。在上述的方法中，在控制器获取操作任务之后，将操作任务发送至执行器，以便执行器执行预设操作，再接收执行器发送的报告消息，判断报告消息中的运行参数是否符合预设要求，并反馈判断结果。在此过程...

本发明涉及一种固定装置及固定装置使用方法。固定装置包括：固定座，所述固定座上设有光学元件定位结构，所述光学元件定位结构用于将光学元件定位到所述固定座上；以及吹气装置，所述吹气装置包括吹气口，所述吹气口用于向所述光学元件的光线入射端面吹气...

本发明涉及压装固定装置。压装固定装置，包括：固定装置主体，所述固定装置主体上设有第一腔体，所述第一腔体供光线通过并用于安装供光线照射的晶体，所述第一腔体的腔体侧壁上设有轴向定位结构，所述轴向定位结构用于沿所述第一腔体的延伸方向对所述晶体...