本发明公开了一种晶圆一维翘曲程度测量装置、方法及晶圆测量系统，该晶圆一维翘曲程度测量装置包括第一运动平台、图像采集装置、测距模块和控制器，控制器根据图像采集装置定位的待测点控制第一运动平台移动，直至待测点与测距模块在晶圆表面的两个测量点...

本发明涉及一种多自由度运动系统及其操作方法，多自由度运动系统包括五自由度运动台和预校准装置，五自由度运动台包括由下至上依次层叠设置的多个运动台和镂空结构，多个运动台用于带动晶圆沿X方向、Y方向和Z方向平动，以及绕X方向和Z方向转动，镂空...

本发明实施例提供了一种确定峰值的方法及相关装置，用于提升获取峰值数据的便捷性。本发明实施例方法包括：获取待预测的时间幅值序列数据；将所述待预测的时间幅值序列数据执行卡尔曼滤波，以滤除所述待预测的时间幅值序列数据中的噪声；利用寻峰算法在滤...

本申请实施例公开了一种图像对位方法、计算机设备及计算机存储介质。本申请实施例包括：计算机设备可确定目标图像中每个像素对应的梯度，得到目标图像对应的梯度图像，根据梯度参考值对梯度图像中每个像素进行灰度值二值化处理，得到二值化图像，在二值化...

本发明提供了一种半导体晶圆缺陷检测的方法、系统、电子设备及存储介质，该方法为：获取待检测的半导体晶圆图像；将半导体晶圆图像输入缺陷检测模型进行特征提取，得到半导体晶圆图像的特征向量；确定半导体晶圆图像的特征向量与各个缺陷类别对应的归一化...

本发明提供了一种半导体晶圆缺陷检测的模型训练方法、系统、电子设备及存储介质，该方法为：基于训练数据集确定各个缺陷类别被采样到的概率，按照缺陷类别被采样到的概率从训练数据集中确定训练数据流，并利用训练数据流进行模型训练以得到缺陷检测模型，...

本发明实施例提供了一种缺陷检测方法及相关装置，用于根据缺陷相对于第一参考坐标系的第一位置坐标，快速获取缺陷相对于第二参考坐标系的位置坐标。本发明实施例方法包括：获取检测对象中缺陷相对于第一参考坐标系的第一位置坐标，其中，第一参考坐标系设...

本发明提供了一种合成缺陷数据的方法、系统、电子设备及存储介质，该方法为：利用特定噪声生成缺陷掩码；从纹理数据集中随机选取纹理图像；对缺陷掩码和纹理图像取交集，得到纹理局部图像；基于缺陷掩码、纹理局部图像、无缺陷的半导体晶圆图像，合成有缺...

本发明实施例提供了一种获取检测对象光学参数的方法，可以基于检测对象的ncs光谱图像自动生成该检测对象的光学参数，从而提升了从ncs光谱图像到光学参数输出的便捷性。本发明实施例方法包括：获取检测对象的ncs光谱图像，ncs光谱图像表示检测...

本发明涉及光学检测技术领域，尤其涉及一种检测光调制装置以及照明系统，检测光调制装置用于设置在光源与衍射光学元件之间，光源发出的照明光依次经检测光调制装置和衍射光学元件调制后在待检样品上形成长条形光斑；其中，光源发出的照明光经检测光调制装...

本申请实施例公开了一种硅片位置补偿方法、图像处理设备以及计算机可读存储介质，用于提供一种硅片位置补偿方法，以可以通过补偿向量值将硅片的位置纠正到理想位置。本申请实施例方法包括：获得原始硅片图像，将所述原始硅片图像输入预先训练的硅片位置补...

本发明实施例提供了一种确定峰值的方法及相关装置，用于在时间幅值序列数据中，通过神经网络模型的方式，确定时间幅值序列数据中的峰值，从而提升了确定峰值信号的便捷性。本发明实施例方法包括：获取待预测的时间幅值序列数据；将所述待预测的时间幅值序...

本申请实施例公开了一种半导体量测检测机台的温度控制方法、温度控制设备以及计算机可读存储介质，用于在提高半导体量测检测机台的温度控制的精确度的情况下，进行半导体量测检测机台的温度控制。本申请实施例方法包括：将当前温度和目标温度输入温度PI...

本发明公开了一种级联式X射线光源系统及小角X射线散射量测装置，该级联式X射线光源系统包括：多个发射X射线的光源模块，多个光源模块发出的X射线光路共轴，每个光源模块均包括X射线光学器件，X射线光学器件设置于X射线光路所在轴线上，X射线光学...

本申请实施例公开了一种die图像灰度矫正方法、计算机设备及计算机存储介质。本申请实施例包括：分别根据目标die与参考die之间每一对相同行的像素的灰度值确定第一缩放系数，获得m个第一缩放系数，分别根据目标die与参考die之间每一对相同...

本申请涉及晶圆检测技术领域，具体涉及承载装置及检测设备。承载装置包括承载部和限位部，其中，承载部具有用于承载待测物的承载面。限位部与承载部连接并处于承载部的外围，待测物放置在承载部上后，限位部能够对待测物进行止挡，阻止待测物相对承载部滑...

一种电子枪，包括电子枪室、固定于电子枪室的上盖法兰、穿设于上盖法兰的活动座和形变套以及贯穿形变套并固定于活动座的发射组件，其中，形变套的一端与活动座密封固定、另一端与上盖法兰密封固定，发射组件包括位于电子枪室内部的发射源，上盖法兰的内部...

本申请提供的光学检测系统及检测方法，包括共用一物镜的照明光路和成像光路，沿照明光路传输的照明光束经物镜照射待测晶圆并经待测晶圆反射形成成像光束，该成像光束经物镜沿成像光路传输以用于成像，照明光束以与物镜的光轴的不平行或不重合入射并在物镜...

本申请提供的光声膜厚量测系统及方法，通过在量测系统中引入激光偏振调节器件或者晶圆旋转组件，根据量测数据信噪比调节飞秒脉冲激光的偏振态或者晶圆角度，以消除飞秒脉冲激光的偏振方向与晶圆晶格取向失配对量测稳定性的影响，提升了量测信号的信噪比。

本发明公开一种光学调节机构、辅助装置及光学设备，光学调节机构包括支座、角度调节组件、安装平台、第一安装座与第二安装座，其中，角度调节组件设置于支座，安装平台设置于角度调节组件，角度调节组件用于调节安装平台的姿态；第一安装座设置于安装平台...