一种光学装置及光学量测系统，其中，光学装置包括第一镜筒以及布置于镜筒内的第一光学元件、第二光学元件、第一镜座和第二镜座，第一光学元件与第一镜筒连接，第二光学元件设置于第一镜座，第一镜座设置于第二镜座；第二镜座与第一镜筒连接，以隔离第一镜...

本发明涉及光学检测技术领域，尤其涉及一种滤波结构、光学检测系统及光学检测方法，滤波结构包括：第一滤波组件，所述第一滤波组件用于对待检测对象中周期排布的结构单元的次级衍射信号进行滤波；其中，所述第一滤波组件包括平行设置的多个挡光元件，所述...

本发明实施例提供了一种光声探测装置，用于通过模式切换装置在同一探测装置中实现反射探测模式和差分探测模式的切换，也即在同一探测装置中实现了两种测量模式。本发明实施例中的光声探测装置，包括：反射模式探测装置，用于接收探测光束在待测对象的反射...

本发明实施例提供了一种滤波结构、光学检测系统及光学检测方法，用于提升获取待检测对象中缺陷信号的准确性。本发明实施例中的滤波结构，包括：第一滤波结构，用于对待检测对象中周期排布的结构单元的主衍射信号进行滤波；和第二滤波结构，用于对待检测对...

一种光学检测方法及系统、设备及存储介质，用于检测待测物表面的特征部和基准部之间的测量高度差，方法包括：获取待测物的检测图像；获取检测图像的第一感兴趣区域和第二感兴趣区域，第一感兴趣区域包括特征部的图像信息，第二感兴趣区域包括基准部的图像...

本发明涉及光路系统的防护，提供了一种光路系统及光学量测设备。光路系统，包括：光源模块和/或光探测模块；光束处理装置，所述光束处理装置用于对通过的光束进行处理；安装基体，所述安装基体具有安装腔，至少一个所述光束处理装置设置在所述安装腔内，...

本申请实施例公开了一种图像检测方法、图像检测装置以及存储介质，用于图像检测技术领域。本申请中，获取预设物体表面任意两个待测区域的第一灰度图像和第二灰度图像；获取第一灰度图像与第二灰度图像之间的灰度差值图像；将灰度差值图像进行中值滤波，得...

本发明公开了一种用于X射线检测设备的开关装置及X射线检测设备，该开关装置包括：管道组件，管道组件包括设置于两端的进光口和出光口；X射线屏蔽件，X射线屏蔽件套设于管道组件内，X射线屏蔽件的中心处设置有贯穿X射线屏蔽件的通孔；挡片组件，挡片...

一种光学检测方法及系统、设备及存储介质，用于对待测物的特征点的高度进行检测，方法包括：根据待测物的特征点的预估高度获取探测器靶面的感兴趣区域；利用探测器对待测物进行成像，获取特征点在探测器靶面的感兴趣区域的成像光斑的位置；根据感兴趣区域...

本发明涉及半导体量测技术领域，具体提供一种3D NAND量测系统及方法，在现有的CD‑SAXS量测光路中，基于Talbot效应或分数Talbot效应设计用于增强记忆孔结构散射信号的相位光栅和用于增强深槽结构散射信号的相位光栅，并根据量测...

本发明涉及半导体量测技术领域，具体提供一种量测3D NAND中深槽蚀刻结构的系统及方法，旨在于对传统CD‑SAXS量测单元进行改进，在探测光入射至被测样品之前的光路上设计了相位光栅，基于Talbot效应和分数Talbot效应，相位光栅与...

本发明涉及半导体检测技术领域，具体提供一种匀光棒的装调装置及应用于半导体检测的照明光路，其中，装调装置包括非对称设计的上夹持件和下夹持件，下夹持件通过容纳槽底部的弧状凸起点对匀光棒下表面进行支撑，匀光棒的上表面通过压簧进行支撑，压簧的中...

一种转换关系获取方法、检测方法和相关设备，所述转换关系获取方法包括：提供探测部件，探测部件能够绕预设的旋转轴进行旋转；提供标定物，标定物具有特征点；在探测部件绕旋转轴旋转之前，通过探测部件对标定物进行检测，获取特征点在第一坐标系下的第一...

本申请实施例提供了一种校准系统及校准方法，校准系统包括检测装置、分束器、第一光学元件、第二光学元件、第三光学元件、第一相机和第二相机，第二光学元件与测量物镜用于获取测量光束，并根据测量光束将校准标记成像至第一相机以形成第一图像；第三光学...

本发明一个实施例提供一种光学测量方法、装置、系统及计算机可读介质，测量方法包括：参数确定步骤，根据待测物的尺寸参数确定参数信息；其中，参数信息包括目标干涉模式和目标光阑直径；干涉模式选自测量倍率互不相同的多种干涉模式；测量结果获取步骤，...

本发明公开了一种涉及图像处理技术领域，特别是涉及一种图像处理方法、装置、设备及计算机可读存储介质，通过接收待测物的待测图像；将所述待测图像与预存储的模板图像进行模板匹配，确定所述待测图像中的初始匹配区域及对应的匹配关联度；将所述匹配关联...

本发明公开了一种吸盘、承载装置及吸附方法，其中吸盘包括本体，本体具有吸附面、气道和排气孔，吸附面上设有至少两种横截面积不同的抽气孔，横截面积较大的抽气孔相较横截面积较小的抽气孔更靠近于吸附面的中心，抽气孔通过气道与排气孔连通，抽气孔用于...

一种光致发光检测系统以及检测方法，系统包括：光源，被配置为发射检测光；光学整形单元，被配置为对检测光进行整形以产生检测光斑；检测光斑用于照射待测件并使待测件上的待测特征光致发光；光谱仪，被配置为检测待测特征在检测光斑的照射下通过光致发光...

一种用于光学检测系统的光路切换装置，包括：第一离轴反射镜，被配置为安装在光源的出光光路上，第二离轴反射镜，被配置为安装在光源的出光光路上，且与第一离轴反射镜所覆盖的光源的出光光路不重叠。本申请通过两个出光光路不重叠的两个离轴反射镜，可以...

本发明实施例提供了一种光学检测系统，用于提升获取到照明光束中照明光强的准确性。本发明实施例方法包括：照明光学系统，用于发射照明光束，并将照明光束照射至检测对象；聚焦光学系统包括检测光发射装置和调节装置，其中，检测光发射装置用于向检测对象...