一种用于光学检测系统的光路切换装置，包括：第一离轴反射镜，被配置为安装在光源的出光光路上，第二离轴反射镜，被配置为安装在光源的出光光路上，且与第一离轴反射镜所覆盖的光源的出光光路不重叠。本申请通过两个出光光路不重叠的两个离轴反射镜，可以...

本发明实施例提供了一种光学检测系统，用于提升获取到照明光束中照明光强的准确性。本发明实施例方法包括：照明光学系统，用于发射照明光束，并将照明光束照射至检测对象；聚焦光学系统包括检测光发射装置和调节装置，其中，检测光发射装置用于向检测对象...

本申请涉及光学机械技术领域，公开了一种适用于工业相机的转接装置，其包括外部转接套筒，用于安装于工业相机的接口，所述接口具有向内延伸的装配空间；调节组件，设置于所述接口的装配空间中，且与所述外部转接套筒螺纹连接，所述调节组件具有光学通道，...

本发明实施例公开了一种金属膜厚度测量方法、装置和系统，所述金属膜厚度测量方法包括：根据具有第一频率的第一参考信号对泵浦光进行频率调制得到调制后泵浦光；根据具有第二频率的第二参考信号对探测光进行频率调制得到调制后探测光，其中所述第二频率与...

本发明实施例公开的一种调节镜架例如包括：第一调节盘；第二调节盘，与第一调节盘相对设置；调节组件，包括第一调节件和第二调节件，第一调节与第二调节件均设置有固定部和活动部，活动部可以相对于固定部伸缩，固定部连接第一调节盘和第二调节盘之一，活...

本发明涉及半导体关键尺寸量测技术领域，具体提供一种兼容关键尺寸小角X射线散射量测与X射线反射率量测的装置，包括：量测点相同的SAXS光源单元和XRR光源单元、SAXS探测单元、XRR探测单元，以及用于承载样品并驱动样品转动的多自由度样品...

一种膜厚测量装置以及检测设备，膜厚测量装置包括：光源模块，被配置为提供预设波长范围的照明光束；反射组件，被配置为部分切入照明光束，将照明光束的部分反射；传输组件，被配置为接收反射组件反射的照明光束，并输出至待测件；接收待测件反射照明光束...

本申请实施例公开了一种缺陷验证方法，该方法包括：获得第一待验证图像与第二待验证图像；第一待验证图像与第二待验证图像包括缺陷像素点；在第一待验证图像划分像素区域，获得第一区域，在第二待验证图像的相同位置划分相同大小的像素区域，获得第二区域...

本技术公开光探测装置及光学设备，包括相装配的第一框架与光收集器、相装配的第二框架与光探测器以及第一调控组件，其中，光收集器用于收集来自于待测对象的信号光；光探测器用于接收光收集器传输的信号光；第一调控组件与第一框架以及第二框架相连接，第...

一种位移执行器件的偏角检测系统、方法以及偏角补偿方法，偏角检测系统包括：参考组件，设于位移执行器件的运动部上，用于跟随运动部从第一位置运动至第二位置；参考组件具有至少一个参考面，参考面与位移执行器件的理论运动轴向之间具有预设角度；测量装...

本发明实施例公开了一种缺陷检测模型确定方法及其装置、一种缺陷检测方法和存储介质。缺陷检测模型确定方法包括：获取多个缺陷图像集；响应于多个缺陷图像集中的目标缺陷图像集的缺陷图像数量不等于缺陷图像数量阈值，对目标缺陷图像集进行缺陷图像数据增...

本发明一个实施例提供的一种检测模型训练方法，包括：获取多个训练数据；所述多个训练数据对应多种工件类别；对所述多个训练数据进行归集处理，确定与所述多种工件类别一一对应的多个训练数据集；基于所述多个训练数据集进行模型训练得到检测模型。本发明...

一种特征尺寸参数提取方法、系统、终端设备以及存储介质，方法包括：提供待测特征的多个特征尺寸及特征尺寸对应的仿真光谱；将特征尺寸与仿真光谱作为神经网络模型的数据集，对神经网络模型进行训练，直至神经网络模型的训练误差小于预设阈值，确定神经网...

本发明实施例公开了一种缺陷检测模型确认方法及其装置和系统，一种缺陷检测方法和存储介质。缺陷检测模型确认方法包括：获取多个缺陷图像集；对多个缺陷图像集进行图像数据标注，得到多个标注后缺陷图像集；响应于多个标注后缺陷图像集的多个缺陷图像数量...

本发明一个实施例提供的一种检测模型确定方法，包括：获取样本图像集，所述样本图像集包括多个样本图像；利用所述样本图像集对检测模型进行迭代处理；其中，所述迭代处理的每次迭代包括：利用所述检测模型获取所述多个样本图像一一对应的多个损失值；对所...

本申请公开了一种对准系统及方法，可应用于半导体技术领域，其中系统包括：设备前端模块和制程模块；设备前端模块包括机械手臂、第一预对准装置以及第二预对准装置；在取片时，机械手臂用于将晶圆从晶圆盒搬运至第一预对准装置，将托盘从托盘盒搬运至第二...

一种检测设备，包括机台、布置于机台的检测区内的检测装置和移载装置以及横跨机台的检测区与拣料区布置的第一输送装置、第二输送装置和第三输送装置；拣料区内定义有第一上料位、第一下料位和第二下料位，检测区内定义有检测位、第一移载位和第二移载位；...

本申请提供了一种检测设备的对准方法以及检测设备，该对准方法包括以下步骤：使用机械对准模块对待测物进行粗对准，使待测物表面的对准标记位于光学对准模块的视场中；在粗对准之后，使用光学对准模块对待测物进行精对准，使待测物处于预定位置。本申请在...

本发明涉及光源调节，特别涉及一种调节装置及光学检测装置。一种调节装置，包括：基座；以及平移调节组件，平移调节组件包括平移底座和第一光学元件；平移底座被配置为以平移方式在基座上活动，第一光学元件设于平移底座上；第一光学元件沿平移底座的平移...

本申请实施例公开了检测系统，用于消除泵浦光噪声的影响，对样品进行准确检测。本申请实施例方法包括：光源组件，用于发出探测光以及泵浦光；第一分光组件，用于接收泵浦光并将泵浦光分为泵浦信号光以及泵浦参考光，泵浦信号光用于诱发样品的光学特性变化...