本发明涉及一种基于图结构学习确定异常的方法，包括：获取多变量时序数据，所述时序数据为半导体制造过程中设备的多个传感器产生的数据；根据图结构学习模型获取所述多个传感器对应的最终嵌入向量，所述最终嵌入向量用于表征所述多个传感器之间的关联关系...

本发明涉及一种基于重构和预测联合确定异常的方法，包括：获取多变量时序数据，所述时序数据为半导体制造过程中设备的多个传感器产生的数据；将所述时序数据中对应于第一时间窗的第一目标子序列输入到重构模型中，得到对于所述第一时间窗的重构数据，所述...

本发明涉及一种基于晶圆图去噪的识别缺陷方法，包括：获取晶圆图数据，所述晶圆图数据中包含有缺陷晶圆图和无缺陷晶圆图；基于各个晶圆图上缺陷点的连通性，对所述缺陷点进行聚合，得到若干个缺陷聚簇；去除掉所述晶圆图上的噪点聚簇，所述噪点聚簇为所述...

本说明书实施例提供了一种训练晶圆图像的多缺陷分割模型的方法和装置。该方法的一具体实施方式包括：获取包含m个缺陷的样本晶圆图像，以及针对所述m个缺陷分别标注的m个缺陷区域；基于所述m个缺陷区域，确定包含多个通道的标签图像，其中，单个通道的...

本发明涉及一种基于图注意力机制确定异常的方法，包括：获取多变量时序数据，所述时序数据为半导体制造过程中设备的多个传感器产生的数据；根据图结构学习模型获取所述多个传感器对应的最终嵌入向量，所述最终嵌入向量用于表征所述多个传感器之间的关联关...

本发明涉及一种基于多变量时序数据重构确定异常的方法，包括：获取多变量时序数据，所述时序数据为半导体制造过程中设备的多个传感器产生的数据；使用变分自编码器VAE的编码器，对所述时序数据中对应于目标时间窗的目标子序列进行编码，得到隐空间中的...

本发明涉及一种基于SPC数值序列数据生成知识点的方法，包括：从半导体制造中产出的统计过程控制SPC数据中获取目标数值序列；对所述目标数值序列进行特征提取，得到特征向量序列；将所述特征向量序列输入到训练完成的机器学习模型中，得到若干项异常...

本发明涉及一种基于晶圆图检测数据生成知识点的方法，包括：获取晶圆图数据，所述晶圆图为半导体制造过程中包含缺陷的晶圆图；根据所述晶圆图对应的像素阵列，对所述晶圆图进行分割，得到若干包含单个晶圆缺陷的缺陷子图；将所述若干缺陷子图中的目标缺陷...

本发明涉及一种知识图谱可视化的方法，包括：获取知识图谱配置信息，所述知识图谱包括节点及其间的关系边；所述配置信息中包括区域划分信息以及各区域各自对应的布局方式；根据所述区域划分信息，将知识图谱所在的平面划分为若干个区域；对于所述若干个区...