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深圳威镓芯材半导体科技有限公司专利技术
深圳威镓芯材半导体科技有限公司共有3项专利
一种防粘改进型氮化镓反应釜制造技术
本实用新型公开了一种防粘改进型氮化镓反应釜,属于氮化镓生长设备,其包括釜盖、釜体和衬套,所述釜体内部通过衬套围合形成生长空间,所述釜盖开设充氨通道,并通过充氨通道向生长空间充氨,所述釜体中空的内壁与衬套之间设置有润滑材料;解决的技术问题...
一种具备氨泄漏检测功能的氮化镓晶体生长装置制造方法及图纸
本实用新型公开了一种具备氨泄漏检测功能的氮化镓晶体生长装置,属于氮化镓晶体生长领域,其包括内部设置热区的热等静压工作缸、置于热区中的生长容器,以及用于检测氨泄漏的检测装置,氮化镓晶体的生长在生长容器中完成;检测装置包括氨气检测仪,检测装...
一种氮化镓高压釜的固定装置及固定装置组制造方法及图纸
本实用新型公开了一种氮化镓高压釜的固定装置及固定装置组,属于氮化镓生产技术领域,其包括底盘,以及两个设置于底盘且开口相对的半环柱,两个半环柱形成用于容置高压釜底部的容置空间;高压釜的底面开设有若干定位缺口,底盘在容置空间处设有若干与定位...
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