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深圳特斯特半导体设备有限公司专利技术
深圳特斯特半导体设备有限公司共有9项专利
一种用于划片机的视觉检测机构制造技术
本实用新型公开了一种用于划片机的视觉检测机构,包括连接于Y轴装配座的视觉检测机构,所述视觉检测机构包括:连接于所述Y轴装配座一侧的连接件;设于所述连接件背离所述Y轴装配座一侧的装配座和支撑座,所述支撑座背离所述连接件的一侧设置有与横向直...
一种划片机真空固定盘制造技术
本申请公开了一种划片机真空固定盘,包括固定盘本体,所述固定盘本体包括:不锈钢圆盘,所述不锈钢圆盘的顶面设置有圆形的装配槽,所述装配槽的四周设置有环形密封槽和第一环形定位槽,所述第一环形定位槽设于所述环形密封槽和所述装配槽之间,且所述第一...
一种用于半导体晶圆划片机的真空吸附盘制造技术
本申请公开了一种用于半导体晶圆划片机的真空吸附盘,包括真空吸附盘本体,包括不锈钢方盘,所述不锈钢方盘的正面设置有四个工作区,每个所述工作区设置有多个吸气孔,且所述吸气孔的四周设置有避让槽,所述避让槽的一侧通过排气槽与所述不锈钢方盘的侧壁...
一种双视觉检测机构及划片机制造技术
本实用新型公开了一种双视觉检测机构及划片机,包括:连接于主轴支撑块的装配座;设于所述装配座上的防护罩;竖直设于所述防护罩内、并与所述装配座连接的低倍视觉组件和高倍视觉组件,所述防护罩的底部设置有对应所述低倍视觉组件和所述高倍视觉组件的检...
一种切片机用工作盘制造技术
本实用新型公开了一种切片机用工作盘,包括工作盘本体;所述工作盘本体上表面设置有若干吸真空副孔,所述工作盘本体下端面设置有一吸真空主孔,若干所述吸真空副孔通过工作盘本体内部的若干通孔与所述吸真空主孔相连接,使通孔内的空气均汇聚至吸真空主孔...
一种划片自动上下料机构制造技术
本实用新型公开了一种划片自动上下料机构,包括工作台,所述工作台设置有第一通孔,其特征在于,还包括:上料组件,所述上料组件设置在所述第一通孔一侧,所述上料组件包括上料驱动件和上料推杆,所述上料驱动件和上料推杆连接,所述上料驱动件带动所述上...
一种划片机的刀片高度测量机构制造技术
本实用新型公开了一种划片机的刀片高度测量机构,包括工作台;工件承载盘,设置在所述工作台上;主轴,设置于主轴移动机构上,并与划片刀连接;还包括测高装置,所述测高装置设置在工件承载盘的任一边角处,所述测高装置包括测高面,所述测高面与工件承载...
适用于机群式分布的自动化划片机制造技术
本发明公开了一种适用于机群式分布的自动化划片机,包括机台,机台上依次设有上下料机构、划片机构及载片平台,载片平台能在移动机构作用下在上下料机构、划片机构之间往复移动。上下料机构包括上下料工位、理料工位、移料组件,上下料工位、理料工位分设...
划片机刀片主轴结构制造技术
本发明公开了划片机刀片主轴结构,包括壳体、转轴和排气挤压装置,转轴转动连接在壳体内,且能沿沿其轴向前后移动。壳体的前端设置有套接在转轴外的角接触球轴承。排气挤压装置包括固定在壳体前端的前壳,转轴的一端延伸出前壳,转轴位于前壳内的部分沿周...
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