本申请实施例公开了一种晶圆图像扫描方法、装置、终端设备和可读存储介质，上述方法包括：检测承载在运动台上的待扫描晶圆的晶圆离焦高度，以获得对待扫描晶圆进行追焦的基准高度；基于晶圆对焦校准数据中包括的各个特征点的位置信息生成第一运动轨迹，并...

本申请实施例公开了一种晶圆图像处理方法、装置和晶圆扫描系统，方法包括在基于光源对目标晶圆进行照明的情况下，控制相机对目标晶圆以行扫描方式进行多次批量扫描。每次批量扫描包括以行扫描的方式扫描一行或多行像素以获取本次批量扫描的原始扫描图像，...

本申请实施例公开了一种互锁电路、电子设备和互锁系统，上述互锁电路包括：互锁输入模块、控制模块、二极管矩阵和互锁输出模块；互锁输入模块用于在检测到互锁触发信号时，通过互锁输入模块的第一输出端输出第一输出信号，并通过互锁输入模块的第二输出端...

本申请实施例公开了一种量测设备的图像采集系统和方法，上述系统包括：第一离焦确定模组，用于确定目标物的第一离焦量；第二离焦确定模组，用于确定目标物的第二离焦量；第一移动控制模组，用于根据第一离焦量控制量测物镜与目标物在第一方向上相对移动以...

本申请涉及磁集成器件和变换器，磁集成器件包括第一磁芯、第二磁芯、第一磁柱至第四磁柱、两个第一绕组及两个第二绕组；第一磁芯和第二磁芯间隔设置，第一磁柱至第四磁柱均固定连接于第一磁芯和第二磁芯之间；第一磁柱的横截面的面积与第二磁柱的横截面的...

本申请实施方式提供一种用于夹持工件的夹持装置、承载设备及半导体检测系统。夹持装置包括气浮卡盘、自锁凸轮及夹爪，自锁凸轮安装于气浮卡盘的一侧，气浮卡盘背离自锁凸轮的一侧用于吹出气体以使工件悬浮在气浮卡盘背离自锁凸轮一侧的上方。自锁凸轮设有...

本申请实施例公开了一种耦合器及电子设备，该耦合器可包括：接地层、多个介质层、以及相互耦合的主传输线和耦合线。其中，主传输线包括层叠设置的多条第一信号线，如此设置，可以将主传输线设置为多层信号线结构，保证主传输线的通流与阻抗性能，提高耦合...

一种调节组件，涉及精密运动台技术领域，其中，调节组件包括沿第一方向依次设置的连接架、底座、第一滑块和第二滑块；调节组件还包括第一滑动机构和第二滑动机构,第一滑动机构连接底座和第二滑块，底座和第二滑块通过第一滑动机构在第二方向产生相对位移...

本申请提供一种调平装置、调平设备和调平设备的调平方法，可以实现高效调平。调平装置包括底板、多个柔性调平件、承载件和多个调平紧固件，底板具有第一面，多个柔性调平件均安装于第一面，每一柔性调平件可沿柔性调平件的高度方向发生弹性变形，每一柔性...

本申请公开了一种晶圆对焦系统，包括：追焦传感器、对焦控制器、光电采集板、精调电机和电机控制器；对焦控制器用于从追焦传感器获取目标晶圆的离焦高度模拟信号以生成并输出预测合焦位置模拟信号至电机控制器；电机控制器用于基于预测合焦位置模拟信号控...

本申请提供了一种调平装置及机械设备，调平装置包括底座、被调板和调平组件。沿第一方向，底座与被调板间隔相对，调平组件设置于底座与被调板之间。调平组件包括驱动件和连接件，沿第一方向，驱动件的一端连接底座，驱动件的另一端连接被调板，连接件的一...

本申请涉及光学设备技术领域，尤其涉及到一种反射结构、热辐射单元及加热装置。反射结构具有容纳槽，容纳槽具有第一侧壁、第二侧壁和与所述第一侧壁和所述第二侧壁连接的底壁，所述第一侧壁包括第一抛物面，所述第二侧壁包括第二抛物面，所述底壁包括第三...

本申请实施例提供一种深紫外物镜及光学系统。所述深紫外物镜包括前组透镜及后组透镜；所述前组透镜靠近物面设置，所述前组透镜具正屈光度；所述后组透镜具负屈光度。所述前组透镜包括折射透镜与至少一个衍射光学元件，以消除色差。

本申请提供一种光束变换装置及光学加工设备，光束变换装置用于对第一光束进行光束变换，其中，光束变换装置包括沿第一光束光轴设置的衍射光学模组和折射光学模组，上述衍射光学模组和折射光学模组用于共同对第一光束进行光束变换，输出第二光束，其中，第...

本申请实施例提供一种具有偏振选择功能的偏振分束装置，该偏振分束装置包括波片和偏振分束镜，波片的出射端面与偏振分束镜的入射端面胶合，此时波片与偏振分束镜之间没有间隙。其中，波片用于对入射光的偏振方向进行调整，并向偏振分束镜输出线偏振光。进...

本申请涉及工艺处理设备技术领域，尤其涉及到一种进气分流器、吹扫结构及工艺腔室。该进气分流器包括分流器本体；分流器本体具有第一端面、第二端面以及位于第一端面和第二端面之间的侧面；分流器本体设置有换向通道和导流通道，换向通道连通于侧面与第一...

本申请涉及工艺处理技术领域，特别涉及一种工艺腔室及工艺处理设备。该工艺腔室包括腔体和载盘，腔体具有沿第一方向分布的反应腔和支撑腔，载盘可转动地设置于腔体内，载盘的转动中心平行于第一方向。腔体设置有基板装载通道、气体导入通道以及气体导出通...

本申请实施例提供了一种物镜镜头和光学设备。光学设备包括光源和物镜镜头。物镜镜头包括前镜组和后镜组，从物侧到像侧，前镜组与后镜组依次排布；前镜组具有正光焦度，后镜组具有负光焦度；前镜组包括多个第一透镜，多个第一透镜中的至少一个第一透镜具有...

本申请涉及热处理技术领域，尤其涉及到一种加热装置及工艺处理设备。加热装置可用于对待加热器件进行加热，待加热器件放置在可绕中心轴旋转的支撑部件上，加热装置包括多组周向热辐射单元，多组周向热辐射单元由中心轴向所述中心轴外周扩散，每组周向热辐...

成像装置及成像系统，成像装置包括：照明模块、成像模块、光路切换模块和多个物镜均收容在外壳所封闭包围的内腔中，多个物镜分别嵌设在外壳上并穿设外壳，多个物镜的倍率均不同；照明模块用于发射照明光束，光路切换模块用于将照明光束切换到不同的物镜上...