本发明公开一种光路机构、光路装置和激光刻划设备。光路机构包括第一反射镜，第一反射镜用于将沿第一方向的光束反射至沿第二方向，第一方向与第二方向呈角度；第一驱动装置，第一驱动装置与第一反射镜驱动连接，第一驱动装置用于驱动第一反射镜沿第一方向...

本申请提供了一种卷料传输结构、设备及图案生成系统，一种卷料传输结构，包括沿所述卷料传输方向依次设置的第一牵引装置、储料装置和第二牵引装置，并且所述储料装置能够相对于所述第一牵引装置和第二牵引装置移动；以及当所述第一牵引装置处于工作状态时...

本申请提供了一种防扰动装置、传输设备及图案生成系统，设置于工件的传输路径上，所述防扰动装置包括腔室，所述腔室设置有供所述工件通过的通道，所述腔室内设置有雾化机构，所述雾化机构使所述腔室内产生雾状颗粒，所述雾状颗粒用于提高所述腔室内的湿度...

本申请提供了一种图案填充设备、方法及图案生成系统，用于将浆料填充至基材中的沟槽内，包括：基座，其配置成在对所述沟槽填充浆料时，至少对具有沟槽部分的所述基材进行支撑；刮料件，其配置成在所述基材移动时，将浆料填充至所述沟槽内；以及移动件，位...

本申请适用于电池技术领域，提供一种翻转装置、设备及托盘，该翻转装置用于翻转托盘，包括安装座、安装架、多个第一输送轴、多个第二输送轴和多个抓取组件，安装架可转动地设置于安装座；第一输送轴和第二输送轴均可转动地设置于安装架，并均沿第一方向间...

本申请适用于镀膜技术领域，提供一种托盘机构、镀膜装置及镀膜方法，该托盘机构应用于真空镀膜工艺，包括托盘本体、弹性组件和多个支撑条，支撑条相互平行设置；托盘本体设置于支撑条上，托盘本体上设置有用于放置产品的放置位；弹性组件连接于支撑条与托...

本申请适用于真空镀膜技术领域，提供一种气相沉积装置及气相沉积设备，该气相沉积装置包括安装座、基座、供气管、多个电极组件和多个射频电源，电极组件安装于安装座，任意两个电极组件之间绝缘设置；基座的顶部与电极组件的底部间隔且平行设置，基座的顶...

本实用新型公开一种PECVD双电极连接结构，包括第一A舟电极、第二A舟电极、A舟电极连接块、B舟电极舟耳连接块、第一B舟电极、第二B舟电极、B舟、A舟、炉门，所述第一A舟电极从炉门引入一直延伸至A舟的末端并且与A舟末端的舟脚相连接，所述...