本实用新型公开一种扩散炉，其包括炉体柜及于所述炉体柜的外侧设置有与其相贯通的冷却风道，所述冷却风道的入口设有用于输送冷风的风机，其中，所述炉体柜包括多个炉体及沿着每个炉体的周围环绕而成的冷凝器。通过增加与炉体柜相贯通的冷却风道，以使炉体...

本发明公开一种扩散炉及其炉门密闭装置，该装置包括：与炉管的端口面可活动密闭连接的炉门；和支撑旋转杆；将炉门与支撑旋转杆的一端部可转动连接的活动关节；支撑旋转杆的中端部通过第一驱动杆连接有控制炉门开关的开关机构；支撑旋转杆的另一端部通过第...

本实用新型公开了一种温度控制系统，其包括依次连接的上位机和PLC，所述PLC通过总线分别与多个温控仪连接，多个温控仪通过功率控制器分别与多段炉丝一一对应连接，其中，所述PLC将所述上位机所输入的预设目标温度值发送至所述温控仪，并通过所述...

本实用新型涉及一种碳化硅浆软着陆装卸载装置，包括用于连接碳化硅浆的固定件和基体，基体上设置有用于驱动固定件沿竖直方向运动的升降运动机构和用于驱动升降运动机构和固定件一起沿水平方向运动的水平运动机构；水平运动机构包括两条设置在基体上的水平...

本发明涉及一种用于PECVD设备的自动上下料装置，包括控制模块和支座；支座上设置有用于放置石墨舟的储舟位、小车和桨位，以及设置有用于完成石墨舟在储舟位、小车和桨位上存取的机械手；支座上还设置有用于控制机械手在水平方向运动的水平运动单元，...