本实用新型涉及一种片式集成电路材料表面处理设备用的吸夹料装置，包括机架以及设置在所述机架上可沿第一方向往复移动的夹料机械手；所述夹料机械手包括第一支撑架、设置在所述第一支撑架上可沿第二方向相互靠近或远离以夹持或松开片料的一对夹料组件。该...

本实用新型涉及一种集成电路材料表面处理设备用的吸盘装置，用于吸取集成电路材料，包括吸盘主体；所述吸盘主体包括吸合片料的吸合面以及设置在所述吸盘主体上的若干吸嘴；还包括设置在所述吸盘主体上可操作性夹持片料的至少一个夹手组件,该集成电路材料...

本实用新型涉及蚀刻设备及其卷料承载装置，该卷料承载装置包括支撑座、转轴、一对螺套、若干对连接杆以及若干横杆；转轴一端可转动地设置在支撑座上；转轴上设有外螺纹，外螺纹包括第一外螺纹和第二外螺纹；第一外螺纹和第二外螺纹沿着转轴轴向分布且旋转...

本发明涉及集成电路材料表面处理设备用的上下料装置，包括支架、第一送料装置、第一升降装置、推料装置、以及上料输送装置；该支架上设有放料口；该第一送料装置设置在该支架上，且与该放料口对应设置，以输送从该放料口放进的带有工件的料盒；该第一升降...

本实用新型公开了一种选择电镀设备及其选择电镀模具，该选择电镀模具包括滚轮状模具本体，所述模具本体上开设有电镀孔；其还包括与该模具本体相连接的联接机构，该联接机构用于将该模具本体与驱动机构相联接，以使得该模具本体能够随着驱动机构绕其自身的...

本实用新型公开了一种选择电镀设备及其选择电镀模具，该选择电镀模具包括滚轮状模具本体，该模具本体上开设有选择电镀孔；该选择电镀模具还包括至少一个加强支撑机构，所述至少一个加强支撑机构与该模具本体的至少一侧相连接，为该模具本体提供径向的支撑...

本实用新型公开了一种蚀刻设备及其废膜回收装置，该废膜回收装置包括用于过滤废膜的至少一个过滤单元、用以接收废膜过滤后的药水的水槽单元以及用以回收废膜渣的回收单元；所述过滤单元包括壳体、可转动地设置于该壳体内的过滤筒、以及用以驱动过滤筒转动...

本发明公开了一种选择电镀设备及其选择电镀模具，该选择电镀模具包括滚轮状模具本体，所述模具本体上开设有电镀孔；其还包括与该模具本体相连接的联接机构，该联接机构用于将该模具本体与驱动机构相联接，以使得该模具本体能够随着驱动机构绕其自身的中心...

本实用新型公开了一种蚀刻设备及其片式收料装置，该片式收料装置包括机架以及设置于机架上的输送装置、第一存料装置、拾取装置和第一驱动装置；所述输送装置用于输送片料至预定位置，所述第一存料装置位于所述输送装置的一侧，以收纳片料；所述拾取装置可...

本实用新型公开了一种蚀刻设备及其卷式收料装置，该卷式收料装置包括机架以及安装于该机架上的至少一个收料单元，该至少一个收料单元包括第一滚轮、第二滚轮、第三滚轮以及第一驱动装置；该第一滚轮、第二滚轮以及第三滚轮呈三角形布置，而界定出一个卷盘...

本实用新型公开了一种蚀刻设备及其卷式放料装置，该卷式放料装置包括料卷承载装置包括支承座、转轴、螺筒、操作柄、一对螺套、若干对连接杆以及若干个横杆；该转轴以一端可转动地安装在该支撑座上；该螺筒可转动地套设于该转轴上并具有外螺纹；该操作柄与...

本实用新型公开了一种蚀刻设备及其蚀刻装置，该蚀刻装置包括机架以及喷液装置，该机架包括用于收容蚀刻液的蚀刻腔以及水平贯穿该蚀刻腔的输送通道，该喷液装置安装于该机架内与该输送通道正对；该喷液装置包括上喷液单元以及与该上喷液单元连成一体的下喷...

本实用新型公开了一种蚀刻设备及其显影装置，该显影装置包括架体、传送装置、以及至少一个与所述传送装置相对设置在所述架体上的喷淋装置，所述喷淋装置包括至少一个喷淋单元，所述喷淋单元包括至少一个纵长的出水部，所述出水部长度方向与该传送装置的传...

本实用新型公开了一种蚀刻设备及其拉料装置，该拉料装置包括支架以及安装于该支架中的下辊组件、上辊组件、该下辊组件用于提供拉料动力，该上辊组件可上下移动地设置于下辊组件的上方，用于与该下辊组件配合，夹紧料带。本实用新型中，由于在蚀刻设备中设...

本实用新型公开了一种蚀刻设备及其吸水装置，该吸水装置包括支架以及至少两个吸水辊组，该至少两个吸水辊组前后并排安装在该支架上；每一吸水辊组包括下吸水辊以及设置于该下吸水辊正上方的上吸水辊。本实用新型中，通过前后并排布置的至少两个吸水辊组能...

本实用新型公开了一种蚀刻设备及其校平装置，包括支架以及平行间隔地安装于支架中的若干个下辊组件和若干个上辊组件，该若干个上辊组件布置于该若干下辊组件的上方，并与该若干下辊组件交错排布，在该若干个下辊组件和若干个上辊组件之间形成供料带穿过的...

本实用新型公开了一种蚀刻设备及其导正输送装置，该导正输送装置包括输送装置以及导正装置，所述输送装置包括机架以及安装于该机架中的辊道；所述导正装置包括导轨、两个导正件以及导正件驱动装置；该导轨安装在所述机架上，并横跨在所述辊道的上方；该两...

本实用新型公开了一种用于电镀的吸水设备，其包括用于吸水的至少一个吸水装置，以及用于支撑该吸水装置的相对两支撑件。该吸水装置包括吸水组件，该吸水组件包括上下紧邻且两端分别可转动地设置于该两支撑件上的上吸水辊和下吸水辊。该上吸水辊的两端还分...

本实用新型公开了一种带有屏蔽装置的电镀槽，其包括用于容纳电镀液的槽体、与电源相连的电极结构。该电镀槽还包括设置在该槽体内的一对屏蔽件，该电极结构包括分别设置在该一对屏蔽件的外侧的一对电极板；且该一对屏蔽件在该槽体内沿水平方向间隔布置，该...

本实用新型公开了一种用于电镀的吹风设备，包括具有进料口和出料口的箱体以及设置于该箱体内的至少一排风刀，该至少一排风刀沿料带的行进方向间隔排列；该箱体还包括第一上盖以及第二上盖，该第一上盖可拆卸地设置在该至少一排风刀的上方，该第二上盖可拆...