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深圳格芯集成电路装备有限公司专利技术
深圳格芯集成电路装备有限公司共有62项专利
一种物料拾放装置制造方法及图纸
本发明涉及物料抓放设备技术领域,公开了一种物料拾放装置,包括X轴移动机构、Y轴移动机构、Z轴移动机构以及吸嘴组件,X轴移动机构包括X向驱动件、X向滑轨和X向滑块,Y轴移动机构包括Y向驱动件、固定升降导杆座、移动升降导杆座和移动导杆,Z轴...
一种晶圆盘贴标设备及方法技术
本发明涉及半导体技术领域,公开了一种晶圆盘贴标设备及方法,其中,贴标设备包括上料装置、抓料装置、托料装置、旋转装置、视觉检测装置和贴标装置;所述上料装置包括第一升降机构和用于放置晶圆盘的料盒;所述抓料装置用于在所述料盒和所述托料装置之间...
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