本实用新型涉及一种多用镀膜机，具体而言，特别涉及一种集蒸发镀膜以及磁控镀膜于一体的多用镀膜机。其包括钟形罩体，所述钟形罩体上方设置真空罩顶端法兰，所述钟罩下部连接真空系统，所述钟罩内部设置有基片架、蒸发源以及第一挡板，所述基片架通过基片...

本实用新型属于磁控溅射技术领域，尤其是涉及一种镀膜机的磁控溅射矩形靶。包括靶和磁铁，所述的磁铁固定在靶的下方，靶和磁铁的外圈罩有一屏蔽罩，该屏蔽罩的顶部内壁上固定有一阳极基片，磁铁的下方吸附有一磁钢，该磁钢的下方固定有一移动块，移动块的...

本实用新型公开了一种镀膜机超声波纠偏机构，包括放卷辊和收卷辊，所述的放卷辊和收卷辊之间设置有纠偏装置，所述的纠偏装置两端分别设置有超声波感应器。本实用新型利用超声波感应器无接触检测，通过控制器控制电机转动调整纠偏板，实现收卷过程中的自动...

本实用新型提供了一种真空镀膜机的磁控溅射靶装置，属于磁控溅射技术领域。它包括进出水通道法兰、靶材和阳极框，所述的靶材基座机构包括水冷背板和基座垫环，所述的水冷背板固定在基座垫环的上方，所述的基座垫环的筒壁上设有两个与壁厚平行且成180度...

本实用新型涉及一种镀膜机，其包括钟形罩体，罩体上方设置真空罩顶端法兰，罩体下部连接真空系统，罩体内部设置有基片架旋转轮圈、蒸发源以及挡板，基片架旋转轮圈通过传动杆与罩体底部相连，蒸发源设置于挡板下方，挡板通过蒸发挡板转动杆与所述罩体底部...