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绍兴同芯成集成电路有限公司专利技术
绍兴同芯成集成电路有限公司共有101项专利
一种用于晶圆与环形玻璃载板的蚀刻装置制造方法及图纸
本发明公开了一种用于晶圆与环形玻璃载板的蚀刻装置,属于蚀刻设备领域。一种用于晶圆与环形玻璃载板的蚀刻装置,包括:底座;支撑盘,水平布置于所述底座上,并与所述底座转动连接,用于放置工件;夹具,固定安装在所述支撑盘上,用于夹紧所述工件;腐蚀...
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