上海优尊真空设备有限公司专利技术

上海优尊真空设备有限公司共有25项专利

  • 本实用新型公开了一种应用于半导体低温泵电机轴承与气缸底座装置,包括底座本体,底座本体包括连接段、阶梯段以及驱动盘,驱动盘和连接段分别位于阶梯段上、下两侧,连接段与阶梯段同心分布,驱动盘与阶梯段偏心分布,驱动盘的上表面还固定连接有连接销,...
  • 本实用新型公开的属于低温泵气缸辅助装置技术领域,具体为一种应用于半导体低温泵气缸底部固定装置,包括支撑板,至少四个所述支撑板位于半导体低温泵气缸底部四周,所述支撑板底部通过减震组件接触地面,所述减震组件包括有位于所述支撑板下方的底板,所...
  • 本实用新型公开了一种应用于半导体低温泵模块安全保护装置,包括:防护架,所述防护架的内壁设置有滑动槽且滑动槽的内设置有滑动杆,所述滑动杆的表面设置有下安装板和上安装板且上安装板和下安装板的两侧均设置有滑动块,所述上安装板和下安装板之间设置...
  • 本实用新型公开了一种应用于半导体低温泵氮气流向装置,包括氮气导流装置,氮气导流装置从下到上依次设置有进气盘、氮气导流筒和喷头,进气盘的底部开设有安装口,安装口内设置有流量调节盘,流量调节盘包括固定于安装口内的半圆形遮挡盘和活动设置于半圆...
  • 本实用新型公开了一种应用于半导体低温泵氦气气缸,包括:法兰盘、连接柱、连接管和气缸,所述气缸安装在连接管的上端,所述连接管的下端与连接柱一体成型,所述连接柱的末端与法兰盘连接,所述法兰盘的表面开设有通孔,所述通孔内安装有氦气管,所述氦气...