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上海盛剑微电子有限公司专利技术
上海盛剑微电子有限公司共有16项专利
一种光刻胶剥离液及其制备方法和应用技术
本发明公开了一种光刻胶剥离液及其制备方法和应用,涉及光刻胶技术领域。通过混合使用烷醇胺类和脂环胺类化合物,配合质子极性溶剂、非质子极性溶剂、金属保护剂和表面活性剂,并对各组分用量进行调整,使光刻胶剥离液能够有效剥离固化的光刻胶,在基板上...
蚀刻液及其在对铜制造技术
本发明实施例公开了蚀刻液及其在对铜
光刻胶剥离液及其制备方法和光刻胶的剥离方法技术
本发明涉及光刻胶的去除技术领域,具体而言,涉及光刻胶剥离液及其制备方法和光刻胶的剥离方法,光刻胶剥离液包括醇醚类物质40.00%
一种湿法制程装置及产线模拟系统制造方法及图纸
本实用新型的实施例提供了一种湿法制程装置及产线模拟系统,涉及湿法制程领域。该湿法制程装置包括壳体、输送件、第一喷出件和第二喷出件;其中,输送件、第一喷出件以及第二喷出件设置于壳体,第一喷出件和第二喷出件分别设置于输送件的两侧,第一喷出件...
掩膜版设计方法及掩膜版技术
本发明提供一种掩膜版设计方法及掩膜版,涉及掩膜版设计技术领域。方法包括:S1:获取掩膜版上设计的图形;S2:判断掩膜版上图形的各个区域的图形密度相对于所有区域中图形密度的最大值的差值是否在预设范围内;预设范围为0~30%;若判定各个区域...
一种光致抗蚀剂剥离液及其制备方法与应用技术
本发明公开了一种光致抗蚀剂剥离液及其制备方法与应用,属于光致抗蚀剂清洗技术领域。按质量份数计,光致抗蚀剂剥离液包括40.00份
一种化学品供液装置制造方法及图纸
本实用新型实施例提供的一种化学品供液装置,涉及化学品输送技术领域。化学品供液装置包括支架及流路组件。支架包括四个支撑腿、侧台以及底台,四个支撑腿与底台连接,侧台与底台远离支撑腿的一侧连接,支撑腿、侧台及底台形成的支架大致呈“太师椅”状,...
一种混配设备制造技术
本实用新型的实施例提供了一种混配设备,涉及化学品混配技术领域。该混配设备包括混配储罐、至少两个计量罐及至少两个原料桶,每个计量罐和混配储罐均连通,每个原料桶和每个计量罐连通,其中,每个原料桶装可以装有不同的化学品,并将不同化学品分别输送...
一种蚀刻剂、其制备方法及应用技术
本发明公开了一种蚀刻剂、其制备方法及应用,涉及蚀刻用组合物技术领域。蚀刻剂中含有过氧化氢、氟化物、蚀刻抑制剂、螯合剂、蚀刻稳定剂和角度改善剂,通过组成和配比的优化,能够同时蚀刻铜和钼铌金属层,简化蚀刻步骤,提高生产效率;该蚀刻剂随着金属...
一种储罐安装装置制造方法及图纸
本实用新型实施例提供了一种储罐安装装置,设计大型装置安装运输技术领域。储罐安装装置包括安装座及支撑件。安装座用于固定储罐,支撑件与安装座连接且与安装座共同限定出供货叉插入的连接空间。在需要将储罐搬运时,可以先将储罐固定安装在安装座上,进...
一种存放玻璃的机架制造技术
本实用新型的实施例提供了一种存放玻璃的机架,涉及机架技术领域。该存放玻璃的机架包括底座以及支架,支架设置于底座上,支架上设置有至少两个用于支撑玻璃的放置杆,至少一个放置杆沿竖向可移动地设置于支架上,其能够提升机架的适配度,以减少机架所占...
一种智能防护服制造技术
本实用新型公开了一种智能防护服,涉及化工防护服技术领域。该智能防护服包括防护头盔、防护鞋、防护手套及连体衣裤,防护头盔设置有气体传感器及扬声器,气体传感器用于检测空气中的目标气体信息,防护鞋设置有液体传感器及报警灯,液体传感器用于检测地...
吸液耙及废液处理系统技术方案
本实用新型的实施例提供了一种吸液耙及废液处理系统,涉及液体处理领域。该吸液耙包括盖挡件、传导件以及至少两个侧挡件;其中,至少两个侧挡件可拆卸连接于盖挡件,以使侧挡件和盖挡件围合形成集液腔,传导件设置有传导腔,传导腔用于外接负压发生器,并...
一种储液装置制造方法及图纸
本实用新型的目的在于提供一种储液装置,涉及储存设备技术领域。开闭组件包括连杆以及挡板。连杆可转动地设置于罐体,且连杆的一端设置于腔体内,另一端设置于罐体外,挡板与连杆位于腔体内的一端连接,挡板用于关闭或导通出液口。通过在连杆的带动下使挡...
一种剥离液废液处理系统技术方案
本实用新型提供一种剥离液废液处理系统,涉及废液回收技术领域。光刻胶剥离液处理系统包括依次连接的第一缓冲装置、回收装置以及第二缓冲装置。第一缓冲装置用于使由剥离液作用于光刻胶生成的废液依次经过回收装置以及第二缓冲装置,其中,回收装置用于过...
剥离液废液的回收处理方法技术
本发明涉及半导体、平板显示器技术领域,公开了剥离液废液的回收处理方法。回收处理方法包括:向剥离液废液中加入水,使剥离液废液中溶解的树脂沉淀至水中得到固液混合物;对固液混合物进行固液分离去除固体得到初级处理液;去除初级处理液中的微小树脂颗...
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