本发明的实施例提供了一种温控设备及温控方法，涉及半导体加工技术领域。该温控设备包括制冷系统和循环系统，制冷系统包括压缩机、冷凝器、第一膨胀阀、储液器、蒸发器和气液分离器，压缩机的出口与冷凝器的入口连通，冷凝器的出口与储液器的入口连通，储...

本技术公开了一种泵送装置，包括上泵和下泵，所述上泵设在所述下泵的上方；连接通道，所述连接通道分别与所述上泵的排气口和所述下泵的进气口连通；至少一减震部件，所述上泵和所述连接通道之间以及所述下泵与所述连接通道之间中至少一处设有所述减震部件...

本申请公开了一种干式真空泵及废气处理系统，所述干式真空泵包括泵体和氮气吹扫装置，泵体具有多个氮气注入口，氮气吹扫装置包括分配器、多个单向限流件以及多条配气管路，单向限流件安装于分配器的出气口并连通在出气口与配气管路之间，多个配气管路分别...

本申请涉及一种真空泵组及废气处理系统。该真空泵组包括主泵、前级泵以及连通主泵与前级泵的泵间连接机构；主泵与前级泵呈卧式布置，主泵位于前级泵的上方，且主泵与前级泵平行；主泵包括一主泵输出口，前级泵包括一前级泵吸入口，主泵输出口与前级泵吸入...

本申请公开了一种用于废气处理设备的水箱组件和废气处理设备，所述水箱组件包括：水箱，所述水箱顶壁设有与废气处理设备的废气处理单元连通的进气口；过滤斜板，所述过滤斜板倾斜设在所述水箱内且位于所述进气口的下方，以用于过滤从所述进气口进入的粉尘...

本技术公开了一种真空泵和具有其的泵送装置，所述真空泵包括：泵体，所述泵体两端分别设有第一油箱和第二油箱，所述第一油箱设有第一接口，所述第二油箱设有第二接口；第一冷却器，所述第一冷却器从所述第一接口伸入至所述第一油箱内以用于对所述第一油箱...

本申请提供了一种可调式换热器、温控系统及控制方法，涉及换热器技术领域。该可调式换热器包括外壳、换热件、滑阀、温度检测装置和滑阀控制系统，换热件设置于外壳内，换热件将外壳分隔为第一换热空间和第二换热空间，热流体入口和滑阀伸出口通过第一换热...

本申请提供了一种废气处理设备，包括端盖，端盖设有废气入口和点火器；反应釜，反应釜连接于端盖的下方，反应釜包括多级反应腔体，多级反应腔体内限定出沿上下方向层叠设置且与废气入口连通的多级反应腔，每级反应腔体包括外腔体和内腔体，内腔体的上端部...

本申请提出了一种温控系统及其温控方法，所述温控系统包括制冷系统和循环系统，其中，制冷系统包括依次串联形成制冷回路的压缩机、冷凝器、储液器、电子膨胀阀组、蒸发器的第一侧以及气液分离器，电子膨胀阀组包括并联设置的第一电子膨胀阀和第二电子膨胀...

本申请提供了一种半导体温控装置和半导体温控方法，所述半导体温控装置包括制冷系统和循环系统，制冷系统包括压缩机、过热器、冷凝器、过冷器、蒸发器和第一电子膨胀阀，压缩机的出口、过热器的降温端和冷凝器依次连接，冷凝器的出口分别与过冷器的升温端...

本申请提出了一种真空泵组及泵送系统，该真空泵组包括主泵和前级泵；主泵输出口与前级泵吸入口上下对齐设置；主泵包括转子轴、泵体、两个轴承板和两个油箱；两个轴承板沿转子轴轴向分别设置于泵体的轴向两端；两个轴承板的轴向外侧分别固定连接有一油箱；...

本技术提供了一种罗茨转子及真空泵，涉及真空技术领域。罗茨转子包括两个型线相同的转子；转子包括转子本体和旋转轴，第一圆弧段或第二圆弧段上设置有叶峰点，转子本体沿轴向的多个端面型线上的叶峰点连接形成叶峰线，叶峰线呈螺旋状；在转子本体靠近旋转...

本技术提供了一种溢流装置及废气处理设备，涉及气体处理领域。该溢流装置包括内筒、外筒、底板以及盖板；其中，外筒套设于内筒，底板抵持于内筒的侧壁并用于密封外筒的底端，盖板盖设于外筒的顶端并与内筒的顶端相间隔，内筒的顶端和盖板之间形成有溢流口...

本申请提供了一种配合装置以及真空泵，涉及真空泵领域。具体地，其包括主轴、转子以及连接件，连接件两端分别与主轴和转子配合，且连接件开设有用于与安装工具连接的定位孔。基于此，当需要对配合装置进行拆卸时，先将转子与连接件拆分，转子从主轴上取下...

本技术提供了一种压装装置，具体而言，涉及压装领域。详细地，该压装装置包括压装支座、连接杆组件以及压装板。压装板与压装支座之间形成用于放置待压工件的容置空间，压装板开设有压装槽，压装槽用于供压装杆穿插，且压装杆能够在压装槽内移动。因此，当...

本技术的实施例提供了一种废气处理设备，涉及泛半导体领域。废气处理设备，其包括：第一处理模块和第二处理模块；其中，第一处理模块包括依次连通的第一进气管、第一主管和第一反应筒，第二处理模块包括依次连通的第二进气管、第二主管和第二反应筒；第一...

本技术提供了一种转子固定结构及真空泵，涉及真空技术领域。该转子固定结构包括转子、转轴以及轴套；其中，转子开设有中置孔，轴套容置于中置孔，转轴贯穿设置于轴套，轴套沿轴向开设有缺口，轴套的内侧抵持于转轴，轴套的外侧抵持于中置孔。上述技术方案...

本技术提供了一种工装，涉及机械安装领域。具体而言，该工装包括安装座、滑块以及旋进组件。主轴被套设至安装座所开设的安装孔实现定位，连接件放置入滑槽内，也即位于滑块与安装孔之间。滑块在旋进组件的推动作用下，推动连接件朝着靠近主轴的方向滑动，...

本申请的实施例提供了一种废气处理装置，涉及废气处理技术领域。该废气处理装置包括装置本体、进口管、出口管以及至少两个分流管；装置本体内间隔设置有至少两个吸附腔，每个吸附腔内均设置有吸附剂；进口管和出口管均设置于装置本体上，所有的分流管均连...

本技术实施例提供了一种废气处理装置，涉及废气处理技术领域。废气处理装置包括塔体，塔体设置有进风口及出风口，进风口与出风口之间还设置有相连通的缓冲腔及吸附腔，吸附腔填充有第一吸附件，第一吸附件用于吸收废气，缓冲腔相对吸附腔远离出风口，缓冲...