本发明的实施例提供了一种温控系统及温控方法，涉及半导体温控技术领域。本温控系统包括制冷系统、载冷系统和循环系统。制冷系统包括制冷主路和连接于制冷主路的并联设置的第一支路和第二支路。循环系统包括循环主路和连接于循环主路的并联设置的第三支路...

本申请公开了一种半导体温控装置，涉及半导体温控技术领域。本半导体温控装置包括制冷系统和循环系统。制冷系统包括压缩机、冷凝器、储液分离器和蒸发器。储液分离器包括储液进口、储液出口、分离进口和气体出口。储液分离器用于储液和气液分离。压缩机的...

本发明的实施例提供了一种真空泵及其控制方法，涉及真空泵设备技术领域。本真空泵包括泵体、冷却装置、温度传感器和压力传感器。泵体上设置有进气口和出气口。泵体内设置有腔体。进气口和出气口分别和腔体连通。腔体内设置有转子组件。泵体的一端设置有用...

本申请提出了一种反应腔顶盖板和废气处理装置，所述反应腔顶盖板内部形成有中空的冷却腔，所述冷却腔内设置有限定出流体通道的若干导流翅片，所述顶盖板上设有与所述冷却腔流体连通的进口和出口。通过向冷却腔内持续通入低温流体，经由导流翅片对低温流体...

本技术提供了一种用于真空泵的密封结构及真空泵，涉及真空设备领域。该用于真空泵的密封结构包括第一密封件和第二密封件；其中，第一密封件用于设置于第一密封面，第二密封件用于设置于第二密封面，第一密封面与第二密封面相交错，第一密封件的端部设置有...

本技术公开了一种用于真空泵的轴承板及具有其的真空泵和泵送装置，所述轴承板包括：板体，板体包括具有轴孔的轴承凸台和环绕轴承凸台的固定座，在沿轴孔的轴向上，轴承凸台的宽度大于固定座的宽度，在轴承凸台凸出固定座的一侧，轴承凸台与固定座之间形成...

本发明公开了铝合金表面缺陷修复的方法其应用，涉及铝合金表面修复技术领域，铝合金表面缺陷修复用组合物包括氧化镁粉末和铝碳酸镁粉末。采用本申请实施方式中的铝合金表面缺陷修复用组合物对铝合金件表面进行修复，可以在缺陷处生成棒状与层片状镶嵌存在...

本申请涉及一种真空泵组及废气处理系统。该真空泵组包括主泵和前级泵，主泵与前级泵呈卧式布置，主泵位于前级泵的上方，且主泵与前级泵平行；主泵包括一主泵输出口，前级泵包括一前级泵吸入口；主泵输出口与前级泵吸入口上下对齐设置，并通过法兰结构直接...

本技术涉及一种控温系统及半导体设备，涉及控温系统领域。本实施例提出的一种控温系统，包括第一微通道扁管组件、半导体制冷片组件、回液管、供液管、供水管、出水管和压缩机。通过设置半导体制冷片组件，利用冷通道段对第一冷却液进行降温，还通过设置第...

本申请提供了一种温控系统及控制方法，涉及半导体温控技术领域。该温控系统包括制冷制热系统和循环系统，循环系统包括可变换热器、循环泵和膨胀箱，可变换热器的第一出口与循环泵的进口连通，循环泵的出口用于与负载的入口端连通，膨胀箱用于与负载的出口...

本申请提出了一种温控系统，包括制冷系统、循环冷却系统，其中，制冷系统包括压缩机、冷凝器、经济器、辅助电子膨胀阀、储液器、蒸发换热系统以及气液分离器；蒸发换热系统包括至少两条并联连接的蒸发换热支路，每条蒸发换热支路上沿制冷剂流向依次设有主...

本发明的实施例提供了一种温控设备及温控方法，涉及半导体加工技术领域。该温控设备包括制冷系统和循环系统，制冷系统包括压缩机、冷凝器、第一膨胀阀、储液器、蒸发器和气液分离器，压缩机的出口与冷凝器的入口连通，冷凝器的出口与储液器的入口连通，储...

本技术公开了一种泵送装置，包括上泵和下泵，所述上泵设在所述下泵的上方；连接通道，所述连接通道分别与所述上泵的排气口和所述下泵的进气口连通；至少一减震部件，所述上泵和所述连接通道之间以及所述下泵与所述连接通道之间中至少一处设有所述减震部件...

本申请公开了一种干式真空泵及废气处理系统，所述干式真空泵包括泵体和氮气吹扫装置，泵体具有多个氮气注入口，氮气吹扫装置包括分配器、多个单向限流件以及多条配气管路，单向限流件安装于分配器的出气口并连通在出气口与配气管路之间，多个配气管路分别...

本申请涉及一种真空泵组及废气处理系统。该真空泵组包括主泵、前级泵以及连通主泵与前级泵的泵间连接机构；主泵与前级泵呈卧式布置，主泵位于前级泵的上方，且主泵与前级泵平行；主泵包括一主泵输出口，前级泵包括一前级泵吸入口，主泵输出口与前级泵吸入...

本申请公开了一种用于废气处理设备的水箱组件和废气处理设备，所述水箱组件包括：水箱，所述水箱顶壁设有与废气处理设备的废气处理单元连通的进气口；过滤斜板，所述过滤斜板倾斜设在所述水箱内且位于所述进气口的下方，以用于过滤从所述进气口进入的粉尘...

本技术公开了一种真空泵和具有其的泵送装置，所述真空泵包括：泵体，所述泵体两端分别设有第一油箱和第二油箱，所述第一油箱设有第一接口，所述第二油箱设有第二接口；第一冷却器，所述第一冷却器从所述第一接口伸入至所述第一油箱内以用于对所述第一油箱...

本申请提供了一种可调式换热器、温控系统及控制方法，涉及换热器技术领域。该可调式换热器包括外壳、换热件、滑阀、温度检测装置和滑阀控制系统，换热件设置于外壳内，换热件将外壳分隔为第一换热空间和第二换热空间，热流体入口和滑阀伸出口通过第一换热...

本申请提供了一种废气处理设备，包括端盖，端盖设有废气入口和点火器；反应釜，反应釜连接于端盖的下方，反应釜包括多级反应腔体，多级反应腔体内限定出沿上下方向层叠设置且与废气入口连通的多级反应腔，每级反应腔体包括外腔体和内腔体，内腔体的上端部...

本申请提出了一种温控系统及其温控方法，所述温控系统包括制冷系统和循环系统，其中，制冷系统包括依次串联形成制冷回路的压缩机、冷凝器、储液器、电子膨胀阀组、蒸发器的第一侧以及气液分离器，电子膨胀阀组包括并联设置的第一电子膨胀阀和第二电子膨胀...