本发明涉及压力传感器技术领域，公开了一种高精度、低功耗的电容式MEMS轮胎压力传感器，包括硅基板，作为传感器的底部电极；硅薄膜，作为压力传感元件，通过硅‑硅直接键合工艺与硅基板结合；真空腔，位于硅薄膜与硅基板之间，用于检测压力变化；上电...